[實(shí)用新型]芯片智能檢查機(jī)的廢料處理裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720253624.3
• 申請日: 2017-03-15
• 公開（公告）號: CN206631978U
• 公開（公告）日: 2017-11-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張安彬;孫慶勘;劉培
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫百立德自動(dòng)化有限公司
• 主分類號: B07C5/36
• 分類號: B07C5/36
• 代理公司: 無錫市匯誠永信專利代理事務(wù)所(普通合伙)32260
• 代理人: 張歡勇

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體顆粒檢測技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種芯片智能檢查機(jī)的廢料處理裝置。

背景技術(shù)

芯片智能檢查機(jī)包括機(jī)座和主控制器，機(jī)座上設(shè)有檢測半導(dǎo)體產(chǎn)品表面特征的檢測設(shè)備，自動(dòng)放置料盤的放料裝置、自動(dòng)收取檢測后料盤的下料裝置、用于移動(dòng)和定位料盤的料盤移動(dòng)裝置、取放料機(jī)械手，料盤移動(dòng)裝置的移動(dòng)步距與待檢測的料盤上的器件之間的間距相同，通過放料裝置和取放料機(jī)械手將料盤輸送至移動(dòng)平臺上，在移動(dòng)平臺上定位后固定，此后便可對料盤進(jìn)行檢測，可節(jié)省大量人工操作，每檢測完料盤上的一個(gè)器件后，料盤移動(dòng)平臺會移動(dòng)一個(gè)步距對下一個(gè)器件進(jìn)行檢測，實(shí)現(xiàn)對料盤進(jìn)行流水線式檢測。

檢測到廢料后需要對廢料進(jìn)行剔除，且需要對廢料進(jìn)行歸類收集。而現(xiàn)有的料盒大多缺少分類功能。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是解決上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種歸類方便的廢料處理裝置。

為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：芯片智能檢查機(jī)的廢料處理裝置，包括設(shè)有真空吸頭的機(jī)械臂、用于收集廢料的廢料盒組件以及支撐廢料盒組件的機(jī)架，機(jī)架上還設(shè)置上滑軌和電機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂在上滑軌上移動(dòng)，機(jī)架底部設(shè)置下滑軌，廢料盒組件的底部設(shè)置一個(gè)與下滑軌相配合的第一滑塊，廢料盒組件在第一滑塊作用下可以在下滑軌上滑動(dòng)，所述廢料盒組件上方設(shè)置擋板，擋板上與真空吸頭對應(yīng)位置設(shè)置一個(gè)過孔用于落料，廢料盒組件包括一個(gè)盒體，盒體的頂板設(shè)置多個(gè)間隔設(shè)置的落料孔，落料孔的正下方設(shè)置廢料儲料盒，廢料儲料盒與盒體之間為活動(dòng)連接。

進(jìn)一步的，所述廢料儲料盒由磁性材料制成，盒體的內(nèi)側(cè)壁與廢料儲料盒對應(yīng)位置固定設(shè)置多個(gè)永磁體，廢料儲料盒與永磁體吸合固定。

進(jìn)一步的，所述盒體內(nèi)還設(shè)置觸控開關(guān)用于檢測廢料儲料盒位置是否偏移，所述觸控開關(guān)與廢料儲料盒一一對應(yīng)。

進(jìn)一步的，所述盒體的外側(cè)壁還設(shè)置第二滑塊，機(jī)架上設(shè)置一個(gè)水平滑桿，第二滑塊套裝在水平滑桿上且可在滑桿上滑動(dòng)。

從上述技術(shù)方案可以看出本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)：廢料盒組件根據(jù)PLC的控制信號移動(dòng)相應(yīng)的步距，每個(gè)廢料儲料盒對應(yīng)一種類型的廢料，實(shí)現(xiàn)對廢料的歸類，同時(shí)，每個(gè)單獨(dú)的廢料儲料盒拆卸方便，只需要用力將其與永磁體分離即可，當(dāng)廢料滿時(shí)，無需將整個(gè)廢料盒組件拆下清理，只需拆下對應(yīng)的廢料儲料盒即可；設(shè)置第二滑塊和滑桿可以防止盒體在滑動(dòng)過程中發(fā)生側(cè)翻。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型中廢料盒組件的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式做詳細(xì)說明。

如圖1、2所示，芯片智能檢查機(jī)的廢料處理裝置，包括設(shè)有真空吸頭5的機(jī)械臂6、用于收集廢料的廢料盒組件以及支撐廢料盒組件的機(jī)架9，機(jī)架9上還設(shè)置上滑軌7和電機(jī)8驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂6在上滑軌7上的移動(dòng)，機(jī)架底部設(shè)置下滑軌11，廢料盒組件的底部設(shè)置一個(gè)與下滑軌11相配合的第一滑塊10，廢料盒組件在第一滑塊10作用下可以在下滑軌11上滑動(dòng)，廢料盒組件上方設(shè)置擋板2，擋板2上與真空吸頭5對應(yīng)位置設(shè)置一個(gè)過孔4用于落料，廢料盒組件包括一個(gè)盒體1，盒體1的頂板設(shè)置多個(gè)間隔設(shè)置的落料孔12，落料孔12的正下方設(shè)置廢料儲料盒3，廢料儲料盒3由磁性材料制成，盒體1的內(nèi)側(cè)壁與廢料儲料盒3對應(yīng)位置固定設(shè)置多個(gè)永磁體14，廢料儲料盒3與永磁體14吸合固定。

廢料盒組件根據(jù)PLC的控制信號移動(dòng)相應(yīng)的步距，每個(gè)廢料儲料盒對應(yīng)一種類型的廢料，實(shí)現(xiàn)對廢料的歸類，同時(shí)，每個(gè)單獨(dú)的廢料儲料盒拆卸方便，只需要用力將其與永磁體分離即可，當(dāng)廢料滿時(shí)，無需將整個(gè)廢料盒組件拆下清理，只需拆下對應(yīng)的廢料儲料盒即可。

在盒體內(nèi)還設(shè)置觸控開關(guān)13用于檢測廢料儲料盒位置是否偏移，所述觸控開關(guān)與廢料儲料盒一一對應(yīng)，觸控開關(guān)13可以與系統(tǒng)的PLC系統(tǒng)連接，當(dāng)廢料儲料盒發(fā)生偏移時(shí)，可以向系PLC系統(tǒng)發(fā)送偏移信號，當(dāng)廢料儲料盒與觸控開關(guān)13相抵時(shí)，表示廢料儲料盒位置正確。

盒體的外側(cè)壁還設(shè)置第二滑塊(圖中未畫出)，機(jī)架上設(shè)置一個(gè)水平滑桿14，第二滑塊套裝在水平滑桿上且可在滑桿上滑動(dòng)。該結(jié)構(gòu)可以防止盒體在滑動(dòng)過程中發(fā)生側(cè)翻。