[實用新型]一種大尺寸固晶板放置裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720252381.1
• 申請日: 2017-03-15
• 公開（公告）號: CN206639777U
• 公開（公告）日: 2017-11-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 周忠洪;梁振輝
• 申請（專利權(quán)）人: 珠海經(jīng)濟(jì)特區(qū)億控智能自動化有限公司
• 主分類號: H01L21/60
• 分類號: H01L21/60;H01L21/683
• 代理公司: 廣州市紅荔專利代理有限公司44214
• 代理人: 王賢義

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種大尺寸固晶板放置裝置。

背景技術(shù)

目前在微型集成電路板（IC板）的生產(chǎn)制造中，其中一項要采用固晶機(jī)來對產(chǎn)品進(jìn)行安裝晶片。以往進(jìn)行該項固晶工序的產(chǎn)品的放置器都是四個圓形放置板為一組，每個放置板的直徑基本都是4寸，待固晶的產(chǎn)品放置在該四個圓形放置板上，然后在固晶機(jī)內(nèi)逐個完成固晶。但現(xiàn)在由于技術(shù)的進(jìn)步，普通4寸的固晶板已經(jīng)不能滿足客戶對于大面積產(chǎn)品的需求，所以，企業(yè)需要在不改變現(xiàn)有固晶機(jī)的前提下研發(fā)一種符合客戶實際要求的大尺寸固晶板放置器。

實用新型內(nèi)容

本實用新型所要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種設(shè)計合理、結(jié)構(gòu)簡單、成本低廉的能夠放置大面積固晶產(chǎn)品并同時能夠適用于現(xiàn)有固晶機(jī)的大尺寸固晶板放置裝置。

本實用新型所采用的技術(shù)方案是：本實用新型包括大尺寸圓環(huán)圈板以及定位連接板，所述大尺寸圓環(huán)圈板上適配設(shè)置有呈圓形的晶體板放置槽位，所述晶體板放置槽位的圓周直徑為8寸，所述大尺寸圓環(huán)圈板的基部固定設(shè)置在所述定位連接板的上表面上，所述定位連接板上設(shè)置有三點式定位連接螺紋孔組，所述定位連接板的下端設(shè)置有若干個連接彈簧。

所述大尺寸圓環(huán)圈板內(nèi)部中空，所述大尺寸圓環(huán)圈板的中空部呈圓形且與所述晶體板放置槽位互為同心圓，所述大尺寸圓環(huán)圈板的中空部的直徑小于所述晶體板放置槽位的直徑。

所述大尺寸圓環(huán)圈板的下部通過螺栓固定設(shè)置在所述定位連接板的上表面的中部，所述三點式定位連接螺紋孔組設(shè)置在所述定位連接板的上部并置于所述大尺寸圓環(huán)圈板的中空部的下方。

所述三點式定位連接螺紋孔組包括三個螺紋通孔，三個所述螺紋通孔呈等邊三角形頂點排列。

所述連接彈簧的個數(shù)為三個，三個所述連接彈簧的首端均固定設(shè)置在所述定位連接板的下端。

本實用新型的有益效果是：在本實用新型中，由于晶體板放置槽位的圓周直徑為8寸，又由于在定位連接板上設(shè)置有三點式定位連接螺紋孔組，所以只需通過螺絲就能夠?qū)⒈緦嵱眯滦凸潭ㄔ诂F(xiàn)有固晶機(jī)的工作臺上，所以本實用新型能夠在現(xiàn)有固晶機(jī)上為面積為8寸的大面積固晶產(chǎn)品進(jìn)行固晶加工。

又由于大尺寸圓環(huán)圈板內(nèi)部中空，所以其整體加工材料得到了節(jié)省，從而為企業(yè)節(jié)省了材料成本；

又由于三點式定位連接螺紋孔組是由三個呈等邊三角形頂點排列的螺絲孔組成，所以使得本實用新型在固晶機(jī)上的放置更加牢固。

附圖說明

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

如圖1所示，本實用新型包括大尺寸圓環(huán)圈板1以及定位連接板2，所述大尺寸圓環(huán)圈板1上適配設(shè)置有呈圓形的晶體板放置槽位11，所述晶體板放置槽位11的圓周直徑為8寸，大尺寸待固晶產(chǎn)品適配放置在所述晶體板放置槽位11上。所述大尺寸圓環(huán)圈板1的基部固定設(shè)置在所述定位連接板2的上表面上，所述定位連接板2上設(shè)置有三點式定位連接螺紋孔組3，所述定位連接板2的下端設(shè)置有若干個連接彈簧4，所述連接彈簧4的個數(shù)為三個，三個所述連接彈簧4的首端均固定設(shè)置在所述定位連接板2的下端。所述三點式定位連接螺紋孔組3包括三個螺紋通孔，三個所述螺紋通孔呈等邊三角形頂點排列，即三個所述螺紋通孔依次連線呈一個等邊三角形。工作人員通過三個螺絲依次穿過所述螺紋通孔以及固晶機(jī)工作臺的螺絲孔，從而將所述定位連接板2固定設(shè)置在固晶機(jī)工作臺上。三個所述連接彈簧4的末端連接在固晶機(jī)工作臺的側(cè)邊上，用以進(jìn)一步固定所述定位連接板2。

所述大尺寸圓環(huán)圈板1內(nèi)部中空，所述大尺寸圓環(huán)圈板1的中空部呈圓形且與所述晶體板放置槽位11互為同心圓，所述大尺寸圓環(huán)圈板1的中空部的直徑小于所述晶體板放置槽位11的直徑。

所述大尺寸圓環(huán)圈板1的下部通過螺栓固定設(shè)置在所述定位連接板2的上表面的中部，所述三點式定位連接螺紋孔組3設(shè)置在所述定位連接板2的上部并置于所述大尺寸圓環(huán)圈板1的中空部的下方。

本實用新型適用于集成電路加工生產(chǎn)領(lǐng)域。