[實(shí)用新型]干涉儀測(cè)量系統(tǒng)定位測(cè)頭

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720248088.8
• 申請(qǐng)日: 2017-03-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN206618382U
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-11-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王文革;鄒惠瑩;王杰;李超;陸巍群;魏佳勇
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 長(zhǎng)春繼珩精密光學(xué)技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01B9/02
• 分類(lèi)號(hào): G01B9/02;G01B11/14
• 代理公司: 長(zhǎng)春市吉利專(zhuān)利事務(wù)所22206
• 代理人: 李曉莉

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種干涉儀測(cè)量系統(tǒng)定位測(cè)頭，屬于光學(xué)加工技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

現(xiàn)有的干涉儀測(cè)量系統(tǒng)間距無(wú)法達(dá)到預(yù)期測(cè)量效果和精度，達(dá)到測(cè)量精度的測(cè)量系統(tǒng)成本過(guò)高。以帶有補(bǔ)償器的非球面檢測(cè)為例，搭建光路時(shí)需要確定補(bǔ)償器鏡面和非球面的頂點(diǎn)的準(zhǔn)確距離，目前現(xiàn)有的技術(shù)是通過(guò)激光跟蹤儀來(lái)搭建三維虛擬模型，使用跟蹤球頭來(lái)定位補(bǔ)償器鏡面和非球面頂點(diǎn)的空間坐標(biāo)，來(lái)計(jì)算兩點(diǎn)之間的距離，這種方法不僅成本高昂，而且使用方法復(fù)雜，測(cè)量過(guò)程繁復(fù)。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型為了解決現(xiàn)有干涉儀測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量復(fù)雜且成本高的問(wèn)題，提供一種干涉儀測(cè)量系統(tǒng)定位測(cè)頭。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案是：

干涉儀測(cè)量系統(tǒng)定位測(cè)頭，其特征是，其包括雙觸頭測(cè)量表、表架和六維調(diào)整架，表架上表面設(shè)置凹槽，雙觸頭測(cè)量表設(shè)置在表架的凹槽內(nèi)，表架的下端與六維調(diào)整架螺紋連接，六維調(diào)整架可調(diào)整表架的精確位置。

六維調(diào)整架與干涉儀導(dǎo)軌上的光柵尺載物臺(tái)螺紋連接。

本實(shí)用新型中的干涉儀測(cè)量系統(tǒng)定位測(cè)頭，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制作成本低廉，并且能夠保證干涉儀測(cè)量定位系統(tǒng)的精度需求，最主要的是可以保證在干涉儀測(cè)量定位中的廣泛適應(yīng)性。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型干涉儀測(cè)量系統(tǒng)定位測(cè)頭的側(cè)視圖；

圖中：1、雙觸頭測(cè)量表；2、表架；3、六維調(diào)整架；4、光柵尺載物臺(tái)。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的描述。

如圖1所示，干涉儀測(cè)量系統(tǒng)定位測(cè)頭，包括雙觸頭測(cè)量表1、表架2和六維調(diào)整架3。表架2上表面設(shè)置凹槽，雙觸頭測(cè)量表1設(shè)置在表架2的凹槽內(nèi)，表架2的下端設(shè)有螺紋，其與六維調(diào)整架3螺紋連接，六維調(diào)整架3可調(diào)整表架的精確位置。應(yīng)用時(shí)，六維調(diào)整架3與干涉儀導(dǎo)軌上的光柵尺載物臺(tái)4以螺紋連接，保證位置不變。

所述的雙觸頭測(cè)量表1具有系統(tǒng)定位所需要的精度。

表架2為304不銹鋼材質(zhì)。

以有補(bǔ)償器的非球面檢測(cè)為例，將本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)裝在臥式干涉儀的導(dǎo)軌上，導(dǎo)軌本身設(shè)有測(cè)量用的光柵尺，當(dāng)光柵尺載物臺(tái)移動(dòng)到補(bǔ)償鏡鏡面附近時(shí)，雙觸頭測(cè)量表的一端接觸補(bǔ)償鏡鏡面，記下測(cè)量表上的數(shù)值，在將光柵尺載物臺(tái)移動(dòng)到非球面的頂點(diǎn)附近，以雙觸頭測(cè)量表的另一端接觸非球面頂點(diǎn)，通過(guò)光柵尺讀數(shù)以及雙觸頭測(cè)量表讀數(shù)構(gòu)成閉合的尺寸鏈，從而得到補(bǔ)償器鏡面距離非球面的頂點(diǎn)之間的距離。