[實(shí)用新型]納米氧化鋅連續(xù)式制備裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720246433.4
• 申請(qǐng)日: 2017-03-14
• 公開（公告）號(hào): CN206645831U
• 公開（公告）日: 2017-11-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳明山
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 福建中翔納米科技有限公司
• 主分類號(hào): C01G9/02
• 分類號(hào): C01G9/02;B82Y30/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.納米氧化鋅連續(xù)式制備裝置，其特征在于：包括納米氧化鋅晶體生長(zhǎng)襯底制作槽(1)、噴霧裝置(2)、機(jī)械手(3)、氣動(dòng)爪(4)、納米氧化鋅高壓反應(yīng)釜(5)、馬弗爐(6)和自動(dòng)控制器(7)，所述噴霧裝置(2)通過支架固定安裝在納米氧化鋅晶體生長(zhǎng)襯底制作槽(1)的頂部，所述機(jī)械手(3)設(shè)置在納米氧化鋅晶體生長(zhǎng)襯底制作槽(1)一側(cè)，且機(jī)械手(3)的活動(dòng)范圍覆蓋納米氧化鋅晶體生長(zhǎng)襯底制作槽(1)，所述納米氧化鋅高壓反應(yīng)釜(5)設(shè)有A電動(dòng)蓋(5-1)，所述馬弗爐(6)設(shè)有B電動(dòng)蓋(6-1)，所述納米氧化鋅高壓反應(yīng)釜(5)和馬弗爐(6)分別設(shè)置在機(jī)械手(3)的兩側(cè)，且位于機(jī)械手(3)的活動(dòng)臂的活動(dòng)范圍內(nèi)，所述自動(dòng)控制器(7)分別與噴霧裝置(2)、A電動(dòng)蓋(5-1)、B電動(dòng)蓋(6-1)、機(jī)械手(3)和氣動(dòng)爪(4)的執(zhí)行器控制相連。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述納米氧化鋅連續(xù)式制備裝置，其特征在于：還有一組溫度傳感器(8)，所述一組溫度傳感器(8)分別監(jiān)測(cè)米氧化鋅晶體生長(zhǎng)襯底制作槽(1)、納米氧化鋅高壓反應(yīng)釜(5)和馬弗爐(6)的溫度，并與自動(dòng)控制器(7)通信相連。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述納米氧化鋅連續(xù)式制備裝置，其特征在于：所述自動(dòng)控制器(7)是基于PLC的自動(dòng)控制器，所述自動(dòng)控制器(7)上設(shè)有計(jì)時(shí)單元、機(jī)械手控制單元和測(cè)溫單元。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述納米氧化鋅連續(xù)式制備裝置，其特征在于：所述機(jī)械手(3)是五軸伺服機(jī)械手。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述納米氧化鋅連續(xù)式制備裝置，其特征在于：還有監(jiān)控?cái)z像頭(9)，所述監(jiān)控?cái)z像頭(9)監(jiān)測(cè)納米氧化鋅各生產(chǎn)設(shè)備的工作情況。