[實用新型]一種晶圓花籃

有效

• 申請號: 201720243645.7
• 申請日: 2017-03-14
• 公開（公告）號: CN206541812U
• 公開（公告）日: 2017-10-03
• 發明（設計）人: 程思義
• 申請（專利權）人: 無錫龍奕科技有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L31/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶圓花籃，包括花籃主體，其特征在于：所述的花籃主體包括前側面、后側面和兩個相對的側壁，兩側壁上開設有若干列相對應的插槽，插槽垂直走向均勻分布在側壁上，花籃主體的前側面和后側面與兩側壁一體成型，所述花籃主體的四角設有立柱，兩側壁分別位于立柱外側并向外成一定弧度，花籃主體的底邊沿、上邊沿和兩側壁成梯形結構。

2.如權利要求1所述的晶圓花籃，其特征在于：所述的花籃主體的兩側壁上沿向外凸出平行設置有托邊，托邊的外沿中間位置設有半圓形缺口。

3.如權利要求1所述的晶圓花籃，其特征在于：所述的花籃主體的前側面和后側面下部設有向上開口的半圓形缺口。

4.如權利要求3所述的晶圓花籃，其特征在于：所述的前側面和后側面的上沿分別設有橫梁，前側面橫梁的高度為后側面橫梁高度的一半，前側面橫梁和后側面橫梁與兩側壁之間分別連接有加強柱。