[實用新型]一種光刻膠涂布機

有效

• 申請號: 201720243106.3
• 申請日: 2017-03-14
• 公開（公告）號: CN206532079U
• 公開（公告）日: 2017-09-29
• 發明（設計）人: 張俊余;柳曉暖
• 申請（專利權）人: 昆山龍騰光電有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及半導體器件的制造技術領域，且特別是涉及一種光刻膠涂布機。

背景技術

目前市場上半導體器件通常是一種多層結構，每一層結構面上都具有特定的圖案。這些特定的圖案往往是通過在基材上涂布光刻膠、曝光、顯影和蝕刻等方式在每一層結構面上形成的。

在半導體器件制作過程中，通常需要使用光刻膠涂布機去涂布光刻膠。圖1a為現有的一種光刻膠涂布機的結構示意圖，圖1b為沿圖1a中A-A′方向的局部剖視圖。如圖1a和1b所示，光刻膠涂布機包括加熱臺01′和頂桿02′；在加熱臺01′上均勻地分布著貫穿加熱臺01′的通孔011，通孔011的形狀為圓柱體。頂桿02′的形狀為圓柱體，并且其直徑小于通孔011的孔徑。頂桿02′穿過通孔011并在通孔011內進行升降活動。圖2a和圖2b為圖1a中所提供的光刻膠涂布機的工作示意圖；如圖2a和圖2b所示，上述光刻膠涂布機的具體工作過程為：頂桿02′穿出通孔011并且頂桿的接觸端021′高于加熱臺01′所在平面，將基材03放置于頂桿的接觸端021′上表面(如圖2a)后，頂桿02′降落，使得基材03與加熱臺01′相接觸，并且頂桿02′會繼續向下運動，直至頂桿的接觸端021′與基材03相分離(如圖2b)；在對該基材03加熱完畢后，頂桿02′向上運動，待頂桿的接觸端021′與該基材03接觸后，繼續向上運動并將該基材03頂起，使得該基材03與加熱臺01′相分離。

利用現有的光刻膠涂布機對基材進行加熱的過程中，頂桿的接觸端的溫度與加熱臺的溫度不一致，導致基材上的光刻膠在冷熱不均的情況下出現壞點。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型提供一種光刻膠涂布機，通過將活動頂桿的基材接觸端設置為三角錐形，使得基材和活動頂桿的基材接觸端的接觸面積縮小，從來減少基材上的受熱量，減少基材上的光刻膠出現壞點。

本實用新型實施例提供的光刻膠涂布機，包含加熱盤和活動頂桿，所述加熱盤上設置至少一個貫穿所述加熱盤的通孔，所述活動頂桿在所述通孔內沿所述通孔延伸的方向進行升降運動。

所述活動頂桿的基材接觸端的形狀為三角錐形，所述通孔的形狀為柱體，并且所述基材接觸端的底端與所述通孔的形狀以及尺寸相匹配。

進一步地，所述加熱盤靠近所述通孔的周圍設置一擋塊和收縮部。

進一步地，所述收縮部一端與所述加熱盤相連接，另一端與所述擋塊相連接。

進一步地，所述擋塊的橫截面為兩個倒直角三角形，且所述兩個倒直角三角形的斜邊分別與所述基材接觸端相接觸的位置相對設置。

進一步地，所述加熱盤的上表面與所述基材接觸端頂端平齊時，所述擋塊與所述基材接觸端相互配合無縫對接。

進一步地，所述基材接觸端設置有一嵌套結構。

進一步地，所述嵌套結構可嵌套于所述基材接觸端內。

進一步地，所述收縮部內設置有彈性材料。

進一步地，所述收縮部內設置的彈性材料為彈簧。

進一步地，所述彈簧的數量為多個，且所述彈簧等距離地圍繞在所述通孔的周圍。

綜上所述，本實用新型提供的光刻膠涂布機，將活動頂桿的基材接觸端設置為三角錐形，使得基材和活動頂桿的基材接觸端的接觸面積縮小，從來減少基材上的受熱量，防止基材上的光刻膠出現壞點。

為讓本實用新型的上述和其他目的、特征和優點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，并配合所附圖式，作詳細說明如下。

附圖說明

圖1a為現有的一種光刻膠涂布機的結構示意圖；

圖1b為沿圖1a中A-A′方向的局部剖視圖；

圖2a和圖2b為圖1a中所提供的光刻膠涂布機的工作示意圖；

圖3為本實用新型第一實施例中光刻膠涂布機的剖面圖；

圖4為本實用新型第一實施例中光刻膠涂布機中活動頂桿將基材頂起時的剖面圖；

圖5本實用新型第二實施例中光刻膠涂布機的剖面圖；

圖6為本實用新型第二實施例中光刻膠涂布機中活動頂桿將基材頂起時的剖面圖。

附圖標記說明：

01′、加熱臺；02′、頂桿；021′、頂桿的接觸端；100、光刻膠涂布機；01、加熱盤；02、活動頂桿；011、通孔；021、基材接觸端；03、基材；012、收縮部；013、擋塊；022、嵌套結構。

具體實施方式