[實(shí)用新型]藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐置換坩堝裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720242453.4
• 申請(qǐng)日: 2017-03-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN206538503U
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-10-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐永亮;于海群
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 內(nèi)蒙古恒嘉晶體材料有限公司
• 主分類號(hào): C30B29/20
• 分類號(hào): C30B29/20;C30B17/00
• 代理公司: 北京弘權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11363
• 代理人: 逯長(zhǎng)明,許偉群

1.一種藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐置換坩堝裝置，其特征在于，所述裝置包括：晶體生長(zhǎng)室(100)和坩堝置換室(200)；

所述晶體生長(zhǎng)室(100)設(shè)置于所述坩堝置換室(200)的頂部；

所述晶體生長(zhǎng)室(100)的底部與所述坩堝置換室(200)連通，所述晶體生長(zhǎng)室(100)與所述坩堝置換室(200)相連通的區(qū)域設(shè)置有開(kāi)合部件(101)；

所述坩堝置換室(200)內(nèi)部設(shè)置有冷卻平臺(tái)(201)、換料平臺(tái)(202)、上下料平臺(tái)(205)以及坩堝運(yùn)送組件；

所述上下料平臺(tái)(205)、所述冷卻平臺(tái)(201)以及所述換料平臺(tái)(202)在所述坩堝置換室(200)內(nèi)部沿同一方向依次設(shè)置，所述上下料平臺(tái)(205)位于所述晶體生長(zhǎng)室(100)的底部，所述坩堝運(yùn)送組件設(shè)置于所述上下料平臺(tái)(205)、所述冷卻平臺(tái)(201)以及所述換料平臺(tái)(202)的一側(cè)。

2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述坩堝運(yùn)送組件包括：沿水平方向設(shè)置的滑軌(203)，以及與所述滑軌(203)滑動(dòng)連接的機(jī)械手(204)，所述滑軌(203)的長(zhǎng)度大于所述上下料平臺(tái)(205)與所述換料平臺(tái)(202)之間的距離。

3.如權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述滑軌(203)包括主干軌道(2030)，以及分別與所述主軌道(2030)連接的第一分支軌道(2031)、第二分支軌道(2032)以及第三分支軌道(2033)；

所述主干軌道(2030)與所述上下料平臺(tái)(205)、所述冷卻平臺(tái)(201)以及所述換料平臺(tái)(202)的排布方向平行；

所述第一分支軌道(2031)朝向所述上下料平臺(tái)(205)的方向延伸，所述第二分支軌道(2032)朝向所述冷卻平臺(tái)(201)的方向延伸，所述第三分支軌道(2033)朝向所述換料平臺(tái)(202)的方向延伸。

4.如權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，所述主干軌道(2030)兩端設(shè)置有豎直滑軌(2034)，所述主干軌道(2030)兩端與所述豎直滑軌(2034)滑動(dòng)連接，所述主干軌道(2030)底部設(shè)置有升降氣缸(2035)。

5.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括真空泵(206)，所述真空泵(206)與所述坩堝置換室(200)連接。

6.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述開(kāi)合部件(101)是法蘭盤(pán)。

7.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述冷卻平臺(tái)(201)、所述換料平臺(tái)(202)以及所述上下料平臺(tái)(205)為液壓式升降平臺(tái)。