[實用新型]一種電容式傳感器電極

有效

• 申請號: 201720239456.2
• 申請日: 2017-03-13
• 公開（公告）號: CN206618428U
• 公開（公告）日: 2017-11-07
• 發明（設計）人: 付俊;戴煊龍;常偉;籍慶校;任萬偉
• 申請（專利權）人: 寶力馬（蘇州）傳感技術有限公司
• 主分類號: G01D5/24
• 分類號: G01D5/24
• 代理公司: 蘇州市中南偉業知識產權代理事務所(普通合伙)32257
• 代理人: 李廣

1.一種電容式傳感器電極，包括襯底和置于所述襯底上的敏感電容，其特征在于：所述敏感電容包括置于所述襯底上的電容一和疊置于所述電容一上的電容二，所述電容一為設置在襯底上的下電極，所述下電極呈叉指狀設置有公共叉指電極和非公共叉指電極，所述公共叉指電極與非公共叉指電極之間涂有敏感介質，所述電容二包括所述公共叉指電極和位于所述敏感電極最外端呈平板狀的上電極，所述上電極向下設有延伸部，所述公共叉指電極上覆蓋有絕緣層，所述上電極的延伸部與非公共叉指電極導通，所述上電極與所述下電極之間設有敏感介質層。

2.根據權利要求1所述的一種電容式傳感器電極，其特征在于：所述襯底還設有位于其兩側的第一焊盤和第二焊盤，所述第一焊盤和/或第二焊盤采用磁控濺射和刻蝕相結合的方式制備而成。

3.根據權利要求2所述的一種電容式傳感器電極，其特征在于：所述公共叉指電極和所述非公共叉指電極中，其中一個與所述第一焊盤連接，另一個與所述第二焊盤連接。

4.根據權利要求1所述的一種電容式傳感器電極，其特征在于：所述上電極具有供外界環境與敏感介質導通的網狀微孔結構。

5.根據權利要求1所述的一種電容式傳感器電極，其特征在于：所述襯底采用陶瓷襯底或藍寶石襯底。

6.根據權利要求1所述的一種電容式傳感器電極，其特征在于：所述敏感介質的設置方式為旋涂或噴涂。

7.根據權利要求2所述的一種電容式傳感器電極，其特征在于：所述第一焊盤與所述第二焊盤的材料為Pt、Cr或Au。