[實用新型]一種鑄造多晶硅頂側分開控制的加熱控制系統

有效

• 申請號: 201720238490.8
• 申請日: 2017-03-13
• 公開（公告）號: CN206783821U
• 公開（公告）日: 2017-12-22
• 發明（設計）人: 李建俊;宋麗平;張澤興;黃林;洪炳華;許楨
• 申請（專利權）人: 江西旭陽雷迪高科技股份有限公司
• 主分類號: C30B28/06
• 分類號: C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 南昌新天下專利商標代理有限公司36115
• 代理人: 李炳生

1.一種鑄造多晶硅頂側分開控制的加熱控制系統，包括人機界面(1)、配電柜(10)，所述人機界面(1)連接工控機(2)，工控機(2)連接控制柜(3)，其特征在于，所述控制柜(3)內設有控制模塊(4)，控制模塊(4)連接可控硅（5），所述可控硅（5）一路經頂部信號線(6)連接頂部控制可控硅(8)，可控硅（5）另一路經側部信號線(7)連接有側部控制可控硅(9)，所述側部信號線(7)和頂部信號線(6)均連接至配電柜(10)，配電柜(10)通過兩個相并聯的變壓器(11)連接外部供電器(12)，所述頂部控制可控硅(8)和側部控制可控硅(9)均包括有三個經水纜電纜(13)連接的加熱電極(14)。

2.根據權利要求1所述的一種鑄造多晶硅頂側分開控制的加熱控制系統，其特征在于，所述工控機(2)與可控硅（5）通過網線聯網對接，達到可控硅（5）能夠控制各個模塊并且各模塊之間能夠實現單獨計算，從而實現各個工藝參數的監控。