[實用新型]一種一體化真空鍍膜機

有效

• 申請號: 201720237304.9
• 申請日: 2017-03-10
• 公開（公告）號: CN206538471U
• 公開（公告）日: 2017-10-03
• 發明（設計）人: 郭艷平
• 申請（專利權）人: 中山天譽真空科技有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/24
• 代理公司: 中山市銘洋專利商標事務所(普通合伙)44286
• 代理人: 鄒常友

技術領域

本實用新型涉及一種真空設備，特別是一種一體化真空鍍膜機。

背景技術

利用真空蒸發技術在工件表面鍍保護膜的技術，已經成熟應用于工業生產?，F有的真空鍍膜機在安裝運輸時，均是把鍍膜機拆成很多個部分，打包運輸，到現場后又全部拆開，再連接起來，各個部件不僅分散而且管道彎曲行程長，不僅耗時耗力，大大增加了人力的消耗及影響了工作的連續性，而且占用場地大，導致工作效率降低、綜合成本高。

發明內容

為了克服現有技術的不足，本實用新型提供一種一體化真空鍍膜機。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：

一種一體化真空鍍膜機，包括真空室體、擴散泵、羅茨泵、機械泵以及電氣柜，其特征在于：包括四方形框架，該方形框架包括底架及頂架，底架上從左至右順序安裝有真空室體、擴散泵、機械泵以及電氣柜，所述真空室體通過真空閥門連接擴散泵，所述頂架上焊有垂直于頂架的側架，所述側架上安裝有羅茨泵，且羅茨泵位于機械泵上方，且所述羅茨泵的排氣口與機械泵的入氣口正對并通過豎直的金屬管連接，所述羅茨泵的進氣管與真空閥門和擴散泵的排氣管連接，所述真空室體的半圓球形門位于框架的左外側。

所述電氣柜內設有報警指示燈和緊急停止開關。

所述擴散泵、羅茨泵、機械泵均通過螺釘安裝于焊于方形框架上的安裝板上。

所述進氣管平行于頂架上方設置，所述排氣管位于擴散泵與羅茨泵間且垂直于進氣管。

本實用新型的有益效果是：該真空鍍膜機采用方形框架結構，使得設備內零散的結構成為一個立體的整體，如此，不僅解決了運輸時的不便，并且在機器要搬離及挪動時，免去了繁重的拆裝工作，大大提高了工作效率，而且占用空間小，真空室體、擴散泵、羅茨泵、機械泵間的連接管道能夠實現最短化，從而也大大節約了成本。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型的正視圖；

圖2是本實用新型的側視圖。

具體實施方式

參照圖1、圖2，本實用新型公開了一種一體化真空鍍膜機，包括真空室體1、擴散泵2、羅茨泵3、機械泵4以及電氣柜5，包括四方形框架6，該方形框架6包括底架61及頂架62，底架61上從左至右順序安裝有真空室體1、擴散泵2、機械泵4以及電氣柜5，所述真空室體1通過真空閥門(圖中未顯示出)連接擴散泵2，所述頂架62上焊有垂直于頂架62的側架63，所述側架63上安裝有羅茨泵3，且羅茨泵3位于機械泵4上方，且所述羅茨泵3的排氣口與機械泵4的入氣口正對并通過豎直的金屬管連接，所述羅茨泵3的進氣管與真空閥門和擴散泵2的排氣管連接，所述真空室體1的半圓球形門位于框架6的左外側，所述進氣管平行于頂架62上方設置，所述排氣管位于擴散泵2與羅茨泵3間且垂直于進氣管，上述結構的設計均是為了實現立體式一體化結構，這樣不僅在搬離及挪動時方便，而且占用空間最小，且管道間能夠實現規范排布，不僅美觀而且距離最短，節約成本。

所述真空室體1與羅茨泵3和擴散泵2間的通斷均通過該真空閥門控制，通過上述結構能夠實現低真空和高真空要求間的切換，當真空閥門切斷擴散泵2與真空室體1間的連通時，而導通真空室體1與羅茨泵3間的連通時，擴散泵2不工作，本設備為低真空要求狀態；真空室體1通過羅茨泵3和機械泵4順序抽氣；當所述真空閥門開啟時，本設備為高真空要求狀態，真空室體1通過羅茨泵3、機械泵4及擴散泵2抽氣。

所述電氣柜5內設有報警指示燈和緊急停止開關。

所述擴散泵2、羅茨泵3、機械泵4均通過螺釘安裝于焊于方形框架6上的安裝板上，便于上述泵體的安裝。且真空閥門、擴散泵2、羅茨泵3、機械泵4均為現有技術制造，因而具體結構不詳述。

以上對本實用新型實施例所提供的一種一體化真空鍍膜機，進行了詳細介紹，本文中應用了具體個例對本實用新型的原理及實施方式進行了闡述，以上實施例的說明只是用于幫助理解本實用新型的方法及其核心思想；同時，對于本領域的一般技術人員，依據本實用新型的思想，在具體實施方式及應用范圍上均會有改變之處，綜上所述，本說明書內容不應理解為對本實用新型的限制。