[實(shí)用新型]一種太陽(yáng)能電池酸制絨噴液裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201720234865.3 | 申請(qǐng)日: | 2017-03-10 | 
| 公開(公告)號(hào): | CN206672903U | 公開(公告)日: | 2017-11-24 | 
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 葉晉;董智勇;方綠萍;呂永根 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 浙江龍柏光伏科技有限公司 | 
| 主分類號(hào): | H01L21/67 | 分類號(hào): | H01L21/67;H01L31/0236;H01L31/18 | 
| 代理公司: | 杭州知通專利代理事務(wù)所(普通合伙)33221 | 代理人: | 姚宇吉 | 
| 地址: | 312300 浙江省*** | 國(guó)省代碼: | 浙江;33 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 太陽(yáng)能電池 酸制絨噴液 裝置 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及一種噴液裝置,具體的說(shuō)是涉及一種太陽(yáng)能電池片制作流水線中,用來(lái)對(duì)硅片表面進(jìn)行酸制絨工藝過(guò)程中的酸液噴射裝置。
背景技術(shù)
晶體硅太陽(yáng)能電池片制作工藝通常包括制絨、擴(kuò)散、刻蝕、沉積減反射膜和印刷電極等步驟,多晶制絨步驟通常采用低溫酸腐蝕方法。現(xiàn)有的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)中,制絨步驟是在一個(gè)制絨槽體內(nèi)進(jìn)行的,槽體內(nèi)設(shè)有一條傳送帶,硅片放置在傳送帶上從槽體的進(jìn)料品緩慢傳送到出料口,硅片在傳送的過(guò)程中浸沒(méi)在酸溶液內(nèi),為了使酸溶液與硅片表面的制絨反應(yīng)更均勻和完全,在槽體的底部會(huì)設(shè)置若干個(gè)噴液管,每個(gè)噴液管的頂部設(shè)有若干個(gè)噴液口,噴液口對(duì)準(zhǔn)傳送帶進(jìn)行酸液噴射的同時(shí),也攪動(dòng)槽體內(nèi)的酸液。但在實(shí)際應(yīng)用中發(fā)現(xiàn),由于噴液口噴出的酸液濃度較高,高濃度酸液與槽體內(nèi)低濃度酸液的溫度也會(huì)有一定的差異,與硅片表面進(jìn)行反應(yīng)的酸液在濃度與溫度上都有一定的差異,硅片表面的制絨反應(yīng)也有一定的差異,造成硅片表面絨面不均勻,同時(shí)硅片與傳送帶接觸面還會(huì)有制絨軌道,使得產(chǎn)品的質(zhì)量無(wú)法保證,直接影響了最終太陽(yáng)能電池組件的性能。
實(shí)用新型內(nèi)容
為克服上述缺陷,本實(shí)用新型旨在提供一種能有效控制噴液的均勻性以及最大限度保證槽體內(nèi)低濃度酸液的溫度一致的酸液噴射裝置。
為達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為:一種太陽(yáng)能電池酸制絨噴液裝置,包括一個(gè)反應(yīng)槽體,所述反應(yīng)槽體內(nèi)設(shè)有一條循環(huán)傳送帶,所述傳送帶的下方設(shè)有若干個(gè)噴液管,所述噴液管與一個(gè)循環(huán)泵相連通,所述噴液管的底部設(shè)有若干個(gè)主噴口,所述噴液管的頂部設(shè)有若干個(gè)細(xì)噴口。
所述每根噴液管上的主噴口為均勻分布的2-4排,所述主噴口分別置于噴液底部中軸線的二側(cè);所述每根噴液管上的細(xì)噴口為均勻分布的2-3排,所述細(xì)噴口分別置于噴液管頂部中軸線的二側(cè)。
采用了本實(shí)用新型的太陽(yáng)能電池酸制絨噴液裝置,由于把主噴口設(shè)置到噴液管的底部,大部分高濃度酸液先噴向反應(yīng)槽體的底部后,再流向反應(yīng)槽體的頂部,結(jié)合細(xì)噴口噴出的少量高濃度酸液,使得反應(yīng)槽體的酸液在被充分?jǐn)噭蚝笤倥c硅片表面反應(yīng),同時(shí),反應(yīng)槽體的酸液在不斷的攪動(dòng)中,使得硅片的每個(gè)部分都接受濃度與溫度一致的酸液侵蝕,保證了絨面的均勻性。
附圖說(shuō)明
圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖2是本實(shí)用新型的噴液管底部結(jié)構(gòu)示意圖;
圖3是本實(shí)用新型的噴液管剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中:1-反應(yīng)槽體,2-傳送帶,3-噴液管,4-主噴口,5-細(xì)噴口,6-硅片。
具體實(shí)施方式
如圖1所示,本實(shí)用新型公開了一種太陽(yáng)能電池酸制絨噴液裝置,包括一個(gè)反應(yīng)槽體1,所述反應(yīng)槽體1內(nèi)設(shè)有一條循環(huán)傳送帶2,所述傳送帶2的下方設(shè)有若干個(gè)噴液管3,所述噴液管3與一個(gè)循環(huán)泵相連通,硅片6在傳送帶2的帶動(dòng)下,從反應(yīng)槽體1的進(jìn)料口進(jìn)入,并浸沒(méi)在制絨酸液中,同時(shí),噴液管3不斷噴出高濃度酸液,使得反應(yīng)槽體1內(nèi)的低濃度酸液保持一定的濃度。綜上所述,與現(xiàn)有的普通太陽(yáng)能電池酸制絨噴液裝置的結(jié)構(gòu)形式基本一致。
本實(shí)用新型的創(chuàng)新點(diǎn)主要在于所述噴液管3的底部設(shè)有若干個(gè)主噴口4,所述噴液管3的頂部設(shè)有若干個(gè)細(xì)噴口5。這樣,大部分高濃度酸液通過(guò)主噴口4往反應(yīng)槽體1的底部高速噴出,在碰到底部后速度減慢并向上返流,迅速與反應(yīng)槽體1內(nèi)的低濃度酸液混合均勻,與細(xì)噴口5噴出的少量高濃度酸液結(jié)合后形成流向傳送帶2的酸液流,對(duì)置于傳送帶上的硅片6進(jìn)行反應(yīng)。
實(shí)施例一:如圖2和圖3所示,本實(shí)新型所述的太陽(yáng)能電池酸制絨噴液裝置的所述每根噴液管3上的主噴口4為均勻分布的2-4排,所述主噴口4分別置于噴液管3底部中軸線的二側(cè);在實(shí)際操作中,如果采用2排或4排主噴口4,則在噴液管3底部中軸線二側(cè)分別對(duì)設(shè)置1排或2排主噴口4,如果采用3排主噴口3,則在噴液管3底部中軸線二側(cè)分別對(duì)設(shè)置1排主噴口,則噴液管3的底中中軸線上設(shè)置1排主噴口,每排與噴液管3的軸線平行,同時(shí),所述每根噴液管3上的細(xì)噴口5為均勻分布的2-3排,所述細(xì)噴口5分別置于噴液管3頂部中軸線的二側(cè)。在實(shí)際應(yīng)用中,如果采用2排細(xì)噴口5,則在噴液管3頂部中軸線的二側(cè)分別對(duì)稱設(shè)置1排細(xì)噴口5,如果采用3排細(xì)噴口5,則除了在噴液管3頂部中軸線的二側(cè)分別對(duì)稱設(shè)置1排細(xì)噴口5外,在噴液管3頂部中軸線上設(shè)置1排細(xì)噴口5,每排細(xì)噴口5與噴液管3的軸線相平行。
通過(guò)以上主噴口4與細(xì)噴口5的設(shè)置,使得從主噴口4噴出的大部分高濃度酸液,分別從噴液管3底部軸線的二邊傾斜著流向反應(yīng)槽體1的底部,再回流向傳送帶2,整個(gè)液流呈回旋狀,使得可以均勻的對(duì)硅片6的頂面和底面分別進(jìn)行酸液沖擊,再加上細(xì)噴口5噴出的少量高濃度酸液的補(bǔ)充,使得整個(gè)反應(yīng)槽體1內(nèi)的酸液在均勻的攪動(dòng)中,保證了硅片6二個(gè)面的制絨一致性。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





