[實用新型]基于壓電效應的MEMS同振型球形振子矢量水聽器有效
| 申請號： | 201720234569.3 | 申請日： | 2017-03-10 |
| 公開（公告）號： | CN206670783U | 公開（公告）日： | 2017-11-24 |
| 發明（設計）人： | 徐方良;穆繼亮;丑修建;石樹正;胡磊;張輝;何劍;耿文平;侯曉娟;薛晨陽;張文棟 | 申請（專利權）人： | 中北大學 |
| 主分類號： | G01H3/12 | 分類號： | G01H3/12;G01H11/08 |
| 代理公司： | 北京彭麗芳知識產權代理有限公司11407 | 代理人： | 彭麗芳 |
| 地址： | 030051 山*** | 國省代碼： | 山西;14 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 壓電效應 mems 球形 矢量 水聽器 | ||
1.基于壓電效應的MEMS同振型球形振子矢量水聽器，其特征在于，包括框型基座、橫梁、環形連接體、球形聚乙烯拾振單元、PZT壓電薄膜；所述球形聚乙烯拾振單元固定于環形連接體上，所述環形連接體通過橫梁連接于框型基座的中心處，每根橫梁的外側生長有PZT壓電薄膜，PZT壓電薄膜下面為下電極，且每根橫梁的下電極與其它橫梁以及框型基座上的電極相互獨立；每個PZT壓電薄膜上表面均濺射有相互獨立的上電極。
2.如權利要求1所述的基于壓電效應的MEMS同振型球形振子矢量水聽器，其特征在于，橫梁和環形連接體經ICP正面刻蝕以及DRIE背腔刻蝕加工而成；所述的PZT壓電薄膜為通過溶膠-凝膠的方法制得厚度1μm厚的壓電層。
3.如權利要求1所述的基于壓電效應的MEMS同振型球形振子矢量水聽器，其特征在于，所述的框型基座外邊長5000μm，內邊長3500μm；橫梁長900μm，寬120μm，厚30μm。
4.如權利要求1所述的基于壓電效應的MEMS同振型球形振子矢量水聽器，其特征在于，所述環形連接體外徑1700μm，內徑1500μm，厚度30μm；球形振子直徑為1500μm。
5.如權利要求1所述的基于壓電效應的MEMS同振型球形振子矢量水聽器，其特征在于，所述下電極為Pt/Ti層，所述上電極為Au層。
6.如權利要求1所述的基于壓電效應的MEMS同振型球形振子矢量水聽器，其特征在于，所述下電極、PZT壓電薄膜、上電極Au長均為600μm，寬均為120μm，厚度分別為150nm、1μm、150nm。
7.如權利要求1所述的基于壓電效應的MEMS同振型球形振子矢量水聽器，其特征在于，所述球形聚乙烯拾振單元采用密度與水相同或接近球形聚乙烯。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于中北大學，未經中北大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201720234569.3/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種稱量設備
- 下一篇：基于壓電效應的MEMS三維同振型矢量水聽器
