[實用新型]取晶車

有效

• 申請號: 201720230088.5
• 申請日: 2017-03-09
• 公開（公告）號: CN206579686U
• 公開（公告）日: 2017-10-24
• 發明（設計）人: 孟宗興;孟橙宏;呂宇軒;趙宇琦;孟贊
• 申請（專利權）人: 北京宏興恒業精密機械有限公司
• 主分類號: B62B3/10
• 分類號: B62B3/10;B62B3/04
• 代理公司: 北京維正專利代理有限公司11508
• 代理人: 鄭博文

技術領域

本實用新型涉及單晶制造輔助設備，特別涉及一種取晶車。

背景技術

單晶硅的制作工藝其中一步是拉晶，所謂拉晶就是用拉晶爐把多晶硅加熱融化，再用子晶向上拉引，慢慢形成一個長筒狀的單晶棒，在單晶棒從單拉晶爐中出來的時候需要采用取晶車進行接送。

取晶車通常包括車架，在車架上會設置有接收晶棒的支撐架，所述支撐架呈長條狀設置，在支撐架的底部設置有用于定位晶棒的支撐座，所述支撐架整體可以沿車架從平行于車架的方向旋轉至垂直于車架方向，在支撐架垂直于車架的時候，所述車架上還設置有用于推動支撐架在垂直方向上升降的升降機構，在支撐架上升至與拉晶爐高度相仿處將晶棒承接住后，支撐架再退回至原位，在旋轉至與車架平行的狀態，通過外部的液壓機械手將晶棒從支撐架內取出。

如申請號為201520065572.8公開的一種晶棒裝卸車，該專利中記載了晶棒框通過滾珠絲杠的方式進行動力傳動，滾珠絲杠是一種高精度精密傳送件，而且滾珠絲杠在造價上高昂并不是適用于大量市場推廣。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種取晶車，保證原有的功能前提下，降低造價成本，便于推廣。

本實用新型的上述技術目的是通過以下技術方案得以實現的：

一種取晶車，包括車架以及用于存放晶棒的支撐架，其特征是，所述車架上設置有帶動支撐架升降的驅動組件，所述驅動組件包括有座體以及設置于座體上的導槽，所述支撐架朝向座體一側端面設置有與導槽配合的導軌，所述導軌沿支撐架的長度方向延伸，所述座體上還設置有齒輪以及驅動齒輪轉動的驅動電機，所述支撐架朝向座體一側端面上設置有與齒輪配合的齒條，所述齒條固定于支撐架上且所述齒條沿支撐架的長度方向設置。

進一步的，所述座體上設置有軸承座，所述軸承座之間軸向定位有轉軸，所述齒輪固定于轉軸上，所述轉軸與驅動電機之間設置有二級齒輪減速器。

進一步的，所述導軌的數量為兩條，兩條所述導軌沿支撐架的寬度方向間隔設置，所述齒條位于兩條導軌之間，對應于每一條導軌設置有兩條導槽，四條導槽位于座體的端部。

進一步的，所述座體上設置有行程開關，所述行程開關位于齒輪的上方，所述支撐架在其長度方向的頂部設置有與行程開關配合的抵觸部。

采用上述結構，晶棒在輸送過程中在軸向方向受到晶棒的重力作用，另外的需要晶棒在運輸過程中比較慢速平穩，所以采用驅動電機通過二級齒輪減速器給齒輪所在的轉軸輸出低轉速高扭矩，從而達到了上述要求，另外也解決了滾珠絲杠造價高昂的問題。

附圖說明

圖1是立體結構示意圖；

圖2是另一個視角的立體結構示意圖；

圖3是去除車架部分的結構示意圖。

圖中，1、支撐架；11、定位板；12、底座；2、連接組件；21、槽鋼；22、連接桿；3、支撐座；4、驅動組件；41、座體；42、導槽；43、軸承座；44、轉軸；45、齒輪；46、齒條；47、行程開關；48、抵觸部；5、導軌；6、二級齒輪減速器；7、驅動電機。

具體實施方式

一種取晶車，包括車架以及用于存放晶棒的支撐架1，所述車架上設置有帶動支撐架1升降的驅動組件4，所述驅動組件4包括有座體41以及設置于座體41上的導槽42，所述支撐架1包括有底座12以及定位板11，所述底座12與定位板11之間通過設置連接組件2形成一體，所述連接組件2包括有焊接于底座12上的槽鋼21以及固定于槽鋼21上的連接桿22，所述連接桿22一端固定于槽鋼21上另一端固定于定位板11上，所述底座12、定位板11以及連接組件2之間形成有用于放置晶棒的空間，所述定位板11與底座12之間設置有用于支撐晶棒的支撐座3，所述支撐座3固定于定位板11上，所以帶動底座12運動便可以帶動支撐架1整體升降，所述底座12朝向驅動組件4一側設置有導軌5，所述導軌5的數量為兩條，每一條導軌5均沿座體41的長度方向設置，兩條所述導軌5之間沿座體41的寬度方向間隔布置，兩個導軌5之間設置有齒條46，對應于齒條46，所述座體41上設置有與齒條46嚙合的齒輪45，所述座體41上設置有兩個間隔設置的軸承座43，所述軸承座43上軸向定位有轉軸44，所述齒輪45固定于該轉軸44上，所述轉軸44的其中一個軸端伸出軸承座43與驅動電機7相聯動，所述驅動電機7與該轉軸44的軸端之間還增設有二級齒輪減速器6，所述二級齒輪減速器6包括有錐齒輪組和斜齒輪組，所述錐齒輪組作為第一級進行換向，所述錐齒輪組與驅動電機7聯動，所述錐齒輪組另一端與斜齒輪組連接，所述斜齒輪組實現了減速并將動力輸送至轉軸44上。