[實用新型]一種鈍化接觸全背電極太陽電池結構

有效

• 申請號: 201720229879.6
• 申請日: 2017-03-10
• 公開（公告）號: CN206595264U
• 公開（公告）日: 2017-10-27
• 發明（設計）人: 李華;魯偉明;李中蘭
• 申請（專利權）人: 泰州隆基樂葉光伏科技有限公司
• 主分類號: H01L31/0224
• 分類號: H01L31/0224;H01L31/18
• 代理公司: 南京正聯知識產權代理有限公司32243
• 代理人: 王素琴

1.一種鈍化接觸全背電極太陽電池結構，其特征在于：包括硅片襯底，在硅片襯底正面設置金字塔絨面，硅片襯底背面形成拋光面，在硅片襯底背面設置遂穿氧化層，在遂穿氧化層上交替排列N型多晶硅層和P型多晶硅層，N型多晶硅層和P型多晶硅層中間通過本征多晶硅層隔離開來，N型多晶硅層和P型多晶硅層上分別設置對應的N區金屬接觸電極和P區金屬接觸電極。

2.如權利要求1所述的一種鈍化接觸全背電極太陽電池結構，其特征在于：在N型多晶硅層、P型多晶硅層以及本征多晶硅層上設置背面鈍化膜，在背面鈍化膜上對應N區金屬接觸電極的位置設置有N區接觸孔，在背面鈍化膜上對應P區金屬接觸電極的位置設置有P區接觸孔，然后在N區接觸孔中設置對應的N區金屬接觸電極，在P區接觸孔中設置對應的P區金屬接觸電極，并且N區金屬接觸電極的上端伸出N區接觸孔，P區金屬接觸電極的上端伸出P區接觸孔，其中背面鈍化膜結構為AlO_x/SiN_x或者SiO₂/AlO_x/SiN_x的疊層膜組合。

3.如權利要求1或2所述的一種鈍化接觸全背電極太陽電池結構，其特征在于：所述硅片襯底為N型硅片襯底，金字塔絨面上還設置有前表面場，在前表面場外側設置正面鈍化減反膜。

4.如權利要求1或2所述的一種鈍化接觸全背電極太陽電池結構，其特征在于：遂穿氧化層的厚度為0.5-5nm，多晶硅層厚度為20-300nm 。