[實用新型]一種蒸發(fā)速率可控的電子束蒸發(fā)源

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720229355.7
• 申請日: 2017-03-10
• 公開（公告）號: CN206692720U
• 公開（公告）日: 2017-12-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 徐永兵;何亮;劉文卿;賴柏霖
• 申請（專利權(quán)）人: 南京大學(xué)
• 主分類號: C23C14/30
• 分類號: C23C14/30;C23C14/54;C30B23/00
• 代理公司: 南京瑞弘專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙)32249
• 代理人: 陳建和

1.超高真空系統(tǒng)中的電子束蒸發(fā)源，其特征是包括棒狀金屬源材料即金屬源棒、正高壓電源、遮板(8)和生長速率計(9)的組合體、離子收集片(7)、燈絲(5)、定位孔柱即絕緣陶瓷(4)、金屬源棒(3)外圍為冷卻水罩(6)，燈絲支架的金屬柱(1)以及線性驅(qū)動器(2)，正高壓電源施加金屬源棒正高壓，陰極燈絲發(fā)射的熱電子，由燈絲通電(I_f)加熱產(chǎn)生的熱電子，金屬源棒被熱電子轟擊加熱發(fā)射出金屬源原子束成為蒸發(fā)源，蒸發(fā)源上設(shè)有一個遮板(8)，在停止蒸發(fā)的時候遮擋蒸發(fā)束，遮板上設(shè)有一個同心孔，在遮板打開薄膜生長的時候讓蒸發(fā)束通過；陶瓷耐熱材料制備的定位孔柱來活絡(luò)限定源棒在軸向的進(jìn)動，并使源棒在調(diào)整位置的時候也始終在蒸發(fā)源豎直中心上，蒸發(fā)源發(fā)射路徑上有一個離子收集片，其上有一個同心孔供蒸發(fā)束通過，離子收集片探測到蒸發(fā)原子電離產(chǎn)生的蒸發(fā)束電流。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子束蒸發(fā)源，其特征是在樣品架上的襯底生長薄膜位置設(shè)有薄膜生長速率計，薄膜生長速率計信息輸出可編程控制系統(tǒng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子束蒸發(fā)源，其特征是離子收集片上加一可變負(fù)電壓。