[實(shí)用新型]大面積鈣鈦礦薄膜的制備設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720227718.3
• 申請(qǐng)日: 2017-03-10
• 公開（公告）號(hào): CN206680573U
• 公開（公告）日: 2017-11-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 丁建寧;王書博;袁寧一;賈旭光
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 常州大學(xué)
• 主分類號(hào): C23C16/448
• 分類號(hào): C23C16/448;C23C16/455;C23C16/40
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種大面積鈣鈦礦薄膜的制備設(shè)備，其特征是，包括真空腔（1），所述真空腔（1）內(nèi)設(shè)置有用于放置襯底的襯底加熱器（2）；

所述襯底加熱器（2）的下方真空腔（1）內(nèi)設(shè)置有第一蒸發(fā)殼（3）和第二蒸發(fā)殼（4），所述第一蒸發(fā)殼（3）的上端呈開口狀，所述第二蒸發(fā)殼（4）的上端面豎直設(shè)置有多根氣管（42），所述第一蒸發(fā)殼（3）套嵌在第二蒸發(fā)殼（4）的上端，各氣管（42）的上端從第一蒸發(fā)殼（3）的底面穿過后伸出第一蒸發(fā)殼（3）；所述第一蒸發(fā)器和襯底加熱器（2）之間設(shè)置有可做開合運(yùn)動(dòng)的擋板（7）；

所述第一蒸發(fā)殼（3）的底部設(shè)置有用于對(duì)第一蒸發(fā)殼（3）底面進(jìn)行加熱的第一加熱器（5），所述第一蒸發(fā)殼（3）連接有第一載氣管道（31），所述第一載氣管道（31）與外部的載氣氣源連通；

所述第二蒸發(fā)殼（4）的底部設(shè)置有用于對(duì)第二蒸發(fā)殼（4）底面進(jìn)行加熱的第二加熱器（6），所述第二蒸發(fā)殼（4）連接有第二載氣管道（41），所述第二載氣管道（41）與外部的載氣氣源連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大面積鈣鈦礦薄膜的制備設(shè)備，其特征是，所述第一載氣管道（31）的管路上設(shè)置有第一氣體預(yù)熱器（11），所述第二載氣管道（41）的管路上設(shè)置有第二氣體預(yù)熱器（12）。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的大面積鈣鈦礦薄膜的制備設(shè)備，其特征是，氣體預(yù)熱器包括金屬加熱體，所述金屬加熱體內(nèi)開設(shè)有皮亞諾曲線結(jié)構(gòu)氣流通道。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大面積鈣鈦礦薄膜的制備設(shè)備，其特征是，所述第一蒸發(fā)殼（3）上端開口上設(shè)置有噴孔板（9），所述噴孔板（9）上開設(shè)有若干個(gè)第一氣孔（91）和第二氣孔（92），所述的第一氣孔（91）用于通過經(jīng)氣化的固體蒸發(fā)源1，所述的第二氣孔（92）用于通過經(jīng)氣化的固體蒸發(fā)源2，各第一氣孔（91）和第二氣孔（92）交替間隔分布；所述第二蒸發(fā)殼（4）的各個(gè)氣管（42）上端與第二氣孔（92）連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大面積鈣鈦礦薄膜的制備設(shè)備，其特征是，所述真空腔（1）的下端設(shè)置有真空泵組，所述真空泵組與真空腔（1）的內(nèi)腔連通，所述真空泵組的進(jìn)口設(shè)置有蝶閥；所述真空腔（1）內(nèi)設(shè)置有檢測(cè)襯底厚度的膜厚計(jì)（8）。

6.一種大面積鈣鈦礦薄膜的制備設(shè)備，其特征是，包括真空腔（1），所述真空腔（1）內(nèi)設(shè)置有用于放置襯底的襯底加熱器（2）；

所述襯底加熱器（2）的下方真空腔（1）內(nèi)設(shè)置有第一蒸發(fā)殼（3）和第二蒸發(fā)殼（4），所述第一蒸發(fā)殼（3）的上端呈開口狀，所述第二蒸發(fā)殼（4）的上端面豎直設(shè)置有多根氣管（42），所述第一蒸發(fā)殼（3）套嵌在第二蒸發(fā)殼（4）的上端，各氣管（42）的上端從第一蒸發(fā)殼（3）的底面穿過后伸出第一蒸發(fā)殼（3）；所述第一蒸發(fā)器和襯底加熱器（2）之間設(shè)置有可做開合運(yùn)動(dòng)的擋板（7）；

所述的第一蒸發(fā)殼（3）連接有第一載氣管道（31），所述第一載氣管道（31）與外部的載氣氣源連通，所述第一載氣管道（31）的管路上設(shè)置有第一原料加熱箱（13），所述第一原料加熱箱（13）連接第一原料推送裝置（15）；所述的第二蒸發(fā)殼（4）連接有第二載氣管道（41），所述第二載氣管道（41）的管路上設(shè)置有第二原料加熱箱（14），所述第二原料加熱箱（14）連接第二原料推送裝置（16）；原料推送裝置用于對(duì)原料箱進(jìn)行原料添加。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的大面積鈣鈦礦薄膜的制備設(shè)備，其特征是，所述第一原料加熱箱（13）上游的第一載氣管道（31）的管路上設(shè)置有第一氣體預(yù)熱器（11），所述第二原料加熱箱（14）上游的第二載氣管道（41）的管路上設(shè)置有第一氣體預(yù)熱器（11）；

所述真空腔（1）內(nèi)還設(shè)置有伴熱加熱器（17），所述伴熱加熱器（17）包裹在第一蒸發(fā)殼（3）和第二蒸發(fā)殼（4）的外部。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的大面積鈣鈦礦薄膜的制備設(shè)備，其特征是，氣體預(yù)熱器包括金屬加熱體，所述金屬加熱體內(nèi)開設(shè)有皮亞諾曲線結(jié)構(gòu)氣流通道。