[實用新型]一種激光修復系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720219773.8
• 申請日: 2017-03-07
• 公開（公告）號: CN206509633U
• 公開（公告）日: 2017-09-22
• 發(fā)明（設計）人: 李飛;袁洪光;胡巖;蔣冬華;張宇;劉備;馮星;王恒;王偉;賀珍發(fā);劉晨亮;楊劍波
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: B23K26/142
• 分類號: B23K26/142;B23K26/36
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司11274
• 代理人: 申健

技術領域

本實用新型涉及顯示技術領域，尤其涉及一種激光修復系統(tǒng)。

背景技術

目前，在顯示基板的制造過程中，可能會由于工藝的原因出現(xiàn)一些不良，例如在形成源極或漏極時，常會出現(xiàn)刻蝕不完全的問題，這時就需要對顯示基板進行修復以將多余的部分去除掉。

現(xiàn)有技術中常利用如圖1所示的激光發(fā)射器10對顯示基板(待修復基板)20進行修復，激光發(fā)射器10包括激光發(fā)射頭101，然而由于顯示基板20中大多數(shù)膜層都是金屬材料，金屬材料在激光發(fā)射頭101發(fā)出的激光的熱效應下容易濺射，而濺射的碎屑201會污染顯示基板20，從而又會引起二次不良。

實用新型內容

本實用新型的實施例提供一種激光修復系統(tǒng)，可在修復待修復基板的過程中，避免污染待修復基板。

為達到上述目的，本實用新型的實施例采用如下技術方案：

本實用新型實施例提供一種激光修復系統(tǒng)，包括：激光發(fā)射器，所述激光發(fā)射器上設置有激光發(fā)射頭；吹氣裝置，所述吹氣裝置具有吹氣口，用于朝向所述激光發(fā)射頭的照射位置進行吹氣；吸氣裝置，所述吸氣裝置具有吸氣腔室，所述吸氣腔室具有吸氣口，所述吸氣口用于朝向所述激光發(fā)射頭的照射位置進行吸氣；其中，所述吹氣口與所述吸氣腔室互不連通。

優(yōu)選的，所述吸氣裝置和所述吹氣裝置封裝在一殼體內，所述吹氣裝置的吹氣口和所述吸氣裝置的吸氣口露出于所述殼體。

優(yōu)選的，所述激光修復系統(tǒng)還包括：通道集成裝置；所述通道集成裝置包括光通道、吸氣通道和吹氣通道；所述光通道用于使所述激光發(fā)射頭發(fā)射的光通過，所述吹氣通道與所述吹氣口通過管道相連通，所述吸氣通道與所述吸氣口通過管道相連通；其中，所述光通道的光出口和所述吹氣通道的出氣口位于所述通道集成裝置的同一個端面上。

優(yōu)選的，所述吸氣通道的入氣口、所述光通道的光出口和所述吹氣通道的出氣口位于所述通道集成裝置的同一個端面上。

進一步優(yōu)選的，所述吹氣通道的出氣口相對所述吸氣通道的入氣口靠近所述光通道的光出口。

優(yōu)選的，所述吹氣通道分為入氣段和出氣段，所述吹氣通道的出氣段向靠近所述光通道的光出口處傾斜。

優(yōu)選的，所述通道集成裝置還包括用于密封所述光通道的光入口和光出口的透明遮擋件。

優(yōu)選的，所述通道集成裝置包括多個吹氣通道和多個吸氣通道，所述多個吹氣通道圍繞所述光通道設置，所述多個吸氣通道圍繞多個吹氣通道設置。

優(yōu)選的，所述吹氣裝置包括第一氣壓調節(jié)閥，用于調節(jié)所述吹氣口的吹氣壓力；和/或所述吸氣裝置包括第二氣壓調節(jié)閥，用于調節(jié)所述吸氣口的吸氣壓力。

優(yōu)選的，所述激光發(fā)射器具有一個激光出射口，所述激光發(fā)射器包括多個激光發(fā)射頭，所述多個激發(fā)光射頭均可移動至所述激光出射口；其中，所述激光出射口正對所述通道集成裝置中的光通道。

本實用新型實施例提供一種激光修復系統(tǒng)，由于激光修復系統(tǒng)除包括激光發(fā)射器外，還包括吹氣裝置和吸氣裝置，當激光發(fā)射器的激光發(fā)射頭對待修復基板中的待修復位置進行修復時，吹氣裝置對激光照射位置進行吹氣，從而可以使濺射的碎屑處于懸浮狀態(tài)，這樣碎屑就不會粘結在待修復基板上，吸氣裝置對激光照射位置進行吸氣時，可以吸附懸浮的碎屑，這樣便避免了碎屑落在待修復基板上，減少了修復過程對待修復基板的污染，從而減小了二次不良的產生。此外，吸附裝置還可以對空氣中的顆粒進行吸附，防止空氣中的顆粒落在待修復基板上，以進一步減小對待修復基板的污染，保證了待修復基板的潔凈度。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為現(xiàn)有技術提供的一種激光發(fā)射器的結構示意圖；

圖2(a)為本實用新型實施例提供的一種激光修復系統(tǒng)的結構示意圖一；

圖2(b)為本實用新型實施例提供的一種激光修復系統(tǒng)的結構示意圖二；

圖3(a)為本實用新型實施例提供的一種激光修復系統(tǒng)的結構示意圖三；

圖3(b)為本實用新型實施例提供的一種激光修復系統(tǒng)的結構示意圖四；

圖3(c)為本實用新型實施例提供的一種激光修復系統(tǒng)的結構示意圖五；

圖4為本實用新型實施例提供的一種激光修復系統(tǒng)的結構示意圖六；