[實(shí)用新型]一種抗光衰爐

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720216697.5
• 申請(qǐng)日: 2017-03-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN206584944U
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-10-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蘇金財(cái);王軍濤;何鳳濤
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 東莞市科隆威自動(dòng)化設(shè)備有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L31/18
• 分類(lèi)號(hào): H01L31/18
• 代理公司: 深圳市智圈知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)44351
• 代理人: 韓紹君

1.一種抗光衰爐，其特征在于，包括爐支架和多個(gè)恒流源，所述爐支架上設(shè)有循環(huán)輸送硅片的輸送裝置，所述爐支架沿所述輸送裝置入料端至出料端依次設(shè)有預(yù)熱區(qū)、光照區(qū)和冷卻區(qū)，所述光照區(qū)的正上方設(shè)有若干組并排設(shè)置的LED燈光照模組，每組所述LED燈光照模組由多個(gè)具有水冷作用的LED燈條組成，每個(gè)所述LED燈條均由一個(gè)所述恒流源獨(dú)立控制。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗光衰爐，其特征在于，所述爐支架位于所述光照區(qū)的位置設(shè)有爐腔，所述爐腔的空腔內(nèi)側(cè)壁上間隔設(shè)有多個(gè)風(fēng)孔，所述爐腔的下腔設(shè)有輔助加熱裝置，所述爐腔的正上方與所述LED燈光照模組之間采用透光的隔板隔開(kāi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的抗光衰爐，其特征在于，所述輸送裝置包括設(shè)置在爐支架左右兩端的滾筒，其中一個(gè)所述滾筒由電機(jī)驅(qū)動(dòng)，兩個(gè)所述滾筒采用金屬網(wǎng)狀輸送帶連接，所述金屬網(wǎng)狀輸送帶帶動(dòng)硅片依次經(jīng)過(guò)預(yù)熱區(qū)、光照區(qū)和冷卻區(qū)，硅片經(jīng)過(guò)所述預(yù)熱區(qū)時(shí)的預(yù)熱溫度在200℃～500℃，硅片經(jīng)過(guò)所述光照區(qū)時(shí)，所述LED燈光照模組對(duì)硅片進(jìn)行光照處理，所述爐腔的溫度降低到一定程度時(shí)，所述輔助加熱裝置對(duì)爐腔進(jìn)行輔助加熱。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗光衰爐，其特征在于，所述爐支架上設(shè)有總循環(huán)水管進(jìn)和總循環(huán)水管出，每組所述LED燈光照模組由四個(gè)具有水冷作用的LED燈條組成，四個(gè)LED燈條上均設(shè)有進(jìn)水口和出水口，四個(gè)LED燈條的進(jìn)水口和出水口依次連通，一個(gè)LED燈條的進(jìn)水口連通總循環(huán)水管進(jìn)，一個(gè)LED燈條的出水口連通總循環(huán)水管出。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的抗光衰爐，其特征在于，所述LED燈條包括LED燈散熱水箱，該LED燈散熱水箱中的LED燈的電流電壓由恒流源調(diào)節(jié)控制，所述LED燈散熱水箱的正面一端設(shè)有用于連接正電極座的正電極安裝孔，所述LED燈散熱水箱的正面另一端設(shè)有用于連接負(fù)電極座的負(fù)電極安裝孔，所述正電極座連接所述恒流源的正電極，所述負(fù)電極座連接所述恒流源的負(fù)電極，所述LED燈散熱水箱的正面采用液態(tài)金屬焊接的方式連接有一金屬電路板，所述金屬電路板的表面裝有測(cè)溫探頭，所述測(cè)溫探頭與所述恒流源電連接，所述LED燈散熱水箱的背面設(shè)有進(jìn)水口和出水口，所述金屬電路板的表面間隔設(shè)有若干個(gè)LED芯片。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的抗光衰爐，其特征在于，所述LED燈散熱水箱的空腔內(nèi)對(duì)應(yīng)所述LED燈散熱水箱的背面一側(cè)間隔設(shè)有多片散熱翅片，每片所述散熱翅片沿所述LED燈散熱水箱的長(zhǎng)度方向上延伸、并與所述LED燈散熱水箱的空腔長(zhǎng)度相同。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的抗光衰爐，其特征在于，每片所述散熱翅片的高度相同，所述散熱翅片的高度小于所述LED燈散熱水箱的空腔的高度，所述LED燈散熱水箱的兩端分別設(shè)有用于連接L形支架的支架連接孔，所述LED燈散熱水箱為鋁構(gòu)件，所述金屬電路板為銅構(gòu)件。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗光衰爐，其特征在于，所述恒流源內(nèi)設(shè)有核心電路板、前整流板、后整流板、電源板、風(fēng)扇電源板、接口板、驅(qū)動(dòng)板和控制面板，所述前整流板、后整流板、電源板、風(fēng)扇電源板、接口板、驅(qū)動(dòng)板和控制面板均與所述核心電路板連接，所述電源板輸入220V交流電壓經(jīng)過(guò)前整流板整流成310V直流電、并輸出至LC串聯(lián)諧振逆變電路轉(zhuǎn)換成20KHZ交流電，再經(jīng)過(guò)電感和電解電容轉(zhuǎn)換成直流電輸出。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的抗光衰爐，其特征在于，所述控制面板上設(shè)有溫度顯示器、電壓顯示器、電流顯示器、功率顯示器、用于調(diào)節(jié)電壓的電壓調(diào)節(jié)器和用于調(diào)節(jié)電流的電流調(diào)節(jié)器，所述控制面板上還設(shè)有電源開(kāi)關(guān)；

所述恒流源內(nèi)還設(shè)有兩個(gè)鋁散熱片、三個(gè)風(fēng)扇、變壓器、電感、兩個(gè)交流電源，三個(gè)風(fēng)扇均連接風(fēng)扇電源板；所述恒流源外殼側(cè)面和正面均設(shè)有散熱網(wǎng)孔，所述恒流源外殼的正面兩端分別設(shè)有多個(gè)U形卡扣和腰形安裝孔；

所述核心板由TMS320F28335、LC4064V核心芯片構(gòu)成，通過(guò)TMS320F28335芯片的SPWM功能,實(shí)現(xiàn)全橋型零電壓開(kāi)關(guān)PWM控制，SPWM功能：就是在PWM的基礎(chǔ)上改變了調(diào)制脈沖方式，脈沖寬度時(shí)間占空比按正弦規(guī)律排列，這樣輸出波形經(jīng)過(guò)適當(dāng)?shù)臑V波可以做到正弦波輸出。

10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的抗光衰爐，其特征在于，所述爐支架的后側(cè)間隔設(shè)有多個(gè)用于帶走所述爐腔熱量的爐腔散熱風(fēng)機(jī)，所述爐支架的上端間隔設(shè)有多個(gè)上散熱風(fēng)機(jī)；所述爐支架的前側(cè)設(shè)有控制電箱；

所述預(yù)熱區(qū)上設(shè)有上預(yù)熱爐和下預(yù)熱爐，所述上預(yù)熱爐和下預(yù)熱爐上均間隔設(shè)有多個(gè)加熱燈管，所述上預(yù)熱爐和下預(yù)熱爐之間具有供金屬網(wǎng)狀輸送帶通過(guò)的通道，所述上預(yù)熱爐和所述下預(yù)熱爐上均設(shè)有至少一個(gè)感溫探頭；

所述冷卻區(qū)上間隔設(shè)有多個(gè)向下吹風(fēng)的散熱風(fēng)扇和向下吸風(fēng)的風(fēng)機(jī)裝置。