[實(shí)用新型]用于剝離兩基板的裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201720211320.0 | 申請(qǐng)日: | 2017-03-06 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN206546833U | 公開(kāi)(公告)日: | 2017-10-10 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 林大修 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 盟立自動(dòng)化股份有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | H01L51/56 | 分類(lèi)號(hào): | H01L51/56 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 用于 剝離 兩基板 裝置 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及剝離兩基板的領(lǐng)域,特別涉及一種用于剝離兩基板的裝置。
背景技術(shù)
環(huán)視眾多平面顯示器中,未來(lái)有機(jī)會(huì)對(duì)液晶顯示裝置造成實(shí)質(zhì)的威脅,便是有機(jī)發(fā)光顯示器(Organic Light Emitting Display,OLED)。OLED是一種基本上以有機(jī)化合物為構(gòu)成材料的顯示器。OLED具有著多項(xiàng)液晶顯示裝置所欠缺的優(yōu)點(diǎn),比如:對(duì)比強(qiáng)、亮度高、視角廣、速度快、耗電少、輕薄短小、可卷曲等。
在制造OLED的一階段中,是將一玻璃基板(非柔性基板)上的鍍層透過(guò)轉(zhuǎn)印技術(shù)而轉(zhuǎn)印至一柔性基板中間的有效區(qū)域上,所述柔性基板周?chē)臒o(wú)效區(qū)域上具有一與所述玻璃基板相互粘結(jié)且環(huán)繞于所述柔性基板的周?chē)糠值恼辰Y(jié)層(可參見(jiàn)圖11中的粘結(jié)層4)。所述鍍層于轉(zhuǎn)印至所述柔性基板后,以往的技術(shù)是以切割的方式直接切除對(duì)應(yīng)于所述無(wú)效區(qū)域的所述柔性基板與所述玻璃基板,而后分離所述柔性基板與所述玻璃基板,所述柔性基板再進(jìn)行下一階段的加工。
然而,這樣的切割再分離兩基板的過(guò)程,難免會(huì)凹折所述柔性基板,使得所述柔性基板上的鍍層中的部件受損傷,以致降低良率。因此,有必要提供一種新穎的用于剝離兩基板的裝置,以解決現(xiàn)有技術(shù)所存在的問(wèn)題。
實(shí)用新型內(nèi)容
有鑒于此,本實(shí)用新型目的在于提供一種用于剝離兩基板的裝置,其是通過(guò)至少一刀片插入至柔性基板與非柔性基板之間的粘結(jié)層,而后切割全部的粘結(jié)層,使得所述柔性基板與所述非柔性基板兩者分離。本實(shí)用新型的用于剝離兩基板的裝置于兩基板分離后不會(huì)凹折到所述柔性基板,因此可提升良率。
用于實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型提供一種用于剝離兩基板的裝置,所述兩基板包含一柔性基板和一非柔性基板,所述柔性基板與所述非柔性基板之間具有一粘結(jié)層,所述用于剝離兩基板的裝置包含:
一下載座,用于承載所述兩基板,所述下載座包含一底座和多個(gè)環(huán)繞于所述底座的吸嘴,所述多個(gè)吸嘴是用于吸持所述柔性基板;
一上載座,用于吸持所述非柔性基板,其中所述上載座與所述下載座可于垂直方向相對(duì)靠近與相對(duì)遠(yuǎn)離;
至少一刀具,所述至少一刀具對(duì)應(yīng)地包含至少一刀片、至少一夾持臂及至少一移動(dòng)臂,所述至少一刀片對(duì)應(yīng)地夾持于所述至少一夾持臂的一端,所述至少一夾持臂的另一端對(duì)應(yīng)地固定于所述至少一移動(dòng)臂,所述至少一移動(dòng)臂可使所述至少一刀片在X、Y、Z三個(gè)軸向進(jìn)行移動(dòng),所述至少一刀片是用于侵入至所述柔性基板與所述非柔性基板之間的所述粘結(jié)層;以及
一載座傾斜部件,設(shè)置于所述下載座的其中一角的下方或所述上載座的其中一角的上方,所述載座傾斜部件是用于使所述下載座的其中一角向下傾斜或者使所述上載座的其中一角向上傾斜。
在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中,所述用于剝離兩基板的裝置還包含一離子風(fēng)產(chǎn)生器,所述離子風(fēng)產(chǎn)生器是用于產(chǎn)生離子風(fēng)并將所述離子風(fēng)吹進(jìn)至所述兩基板之間的間隙中,所述間隙是通過(guò)所述至少一刀片插入至所述粘結(jié)層,且水平切割所述粘結(jié)層,接續(xù)使所述下載座的其中一角向下傾斜或使所述上載座的其中一角向上傾斜所形成的。
在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中,所述至少一刀片的一端具有一平刃邊及至少一斜刃邊,所述平刃邊是垂直于所述至少一刀片的長(zhǎng)邊,所述至少一斜刃邊與所述平刃邊之間具有一鈍角,所述平刃邊是用于插入至所述粘結(jié)層,所述至少一斜刃邊是用于水平切割所述粘結(jié)層,所述至少一斜刃邊所設(shè)置的方向是相同于所述至少一刀片于水平切割所述粘結(jié)層時(shí)所移動(dòng)的方向。
在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中,所述至少一刀片的水平度是介于0微米(um)至正50微米之間。
在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中,所述至少一刀片的水平度是正20微米。
在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中,當(dāng)所述載座傾斜部件是設(shè)置于所述下載座的其中一角的下方時(shí),所述向下傾斜的角度是介于-1度至-3度之間;當(dāng)所述載座傾斜部件是設(shè)置于所述上載座的其中一角的上方時(shí),所述向上傾斜的角度是介于1度至3度之間。
在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中,當(dāng)所述載座傾斜部件是設(shè)置于所述下載座的其中一角的下方時(shí),所述向下傾斜的角度是-2度;當(dāng)所述載座傾斜部件是設(shè)置于所述上載座的其中一角的上方時(shí),所述向上傾斜的角度是2度。
在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中,所述多個(gè)吸嘴的間距是小于或等于40毫米。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類(lèi)目中不包括的電固體器件
H01L51-00 使用有機(jī)材料作有源部分或使用有機(jī)材料與其他材料的組合作有源部分的固態(tài)器件;專(zhuān)門(mén)適用于制造或處理這些器件或其部件的工藝方法或設(shè)備
H01L51-05 .專(zhuān)門(mén)適用于整流、放大、振蕩或切換且并具有至少一個(gè)電位躍變勢(shì)壘或表面勢(shì)壘的;具有至少一個(gè)電位躍變勢(shì)壘或表面勢(shì)壘的電容器或電阻器
H01L51-42 .專(zhuān)門(mén)適用于感應(yīng)紅外線輻射、光、較短波長(zhǎng)的電磁輻射或微粒輻射;專(zhuān)門(mén)適用于將這些輻射能轉(zhuǎn)換為電能,或者適用于通過(guò)這樣的輻射進(jìn)行電能的控制
H01L51-50 .專(zhuān)門(mén)適用于光發(fā)射的,如有機(jī)發(fā)光二極管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料選擇
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