[實用新型]一種硅片表面磨蝕架及表面磨蝕裝置

有效

• 申請號: 201720206096.6
• 申請日: 2017-03-03
• 公開（公告）號: CN207087593U
• 公開（公告）日: 2018-03-13
• 發明（設計）人: 朱勝利
• 申請（專利權）人: 朱勝利
• 主分類號: B24B31/10
• 分類號: B24B31/10;B24B31/12;B24B41/06
• 代理公司: 西安智邦專利商標代理有限公司61211
• 代理人: 陳廣民

1.一種硅片表面磨蝕架，其特征在于：包括固定架、驅動裝置、吸附盤和磨蝕盤；

所述磨蝕盤的正面為磨蝕面，磨蝕盤的背面與吸附盤扣合形成吸附空腔，所述磨蝕盤上還設置有多個與吸附空腔連通的吸附孔；

所述吸附盤通過驅動裝置安裝于固定架上，所述吸附盤上還設置有多個與固定架相配合的限位裝置；

所述吸附空腔通過吸附盤上設置的吸附管道與負壓產生裝置連通。

2.根據權利要求1所述的硅片表面磨蝕架，其特征在于：所述磨蝕面為平面結構或者外凸的弧面結構。

3.根據權利要求1或2所述的硅片表面磨蝕架，其特征在于：還包括由柔性材料制作而成的密封保護套，所述密封保護套一端安裝于磨蝕盤上，密封保護套的另一端安裝于固定架上。

4.根據權利要求3所述的硅片表面磨蝕架，其特征在于：所述限位裝置是在吸附盤上對稱分布的至少兩個限位塊或限位柱或彈性限位片或彈性限位板，所述固定架上設置有與限位裝置相適配的限位槽。

5.根據權利要求4所述的硅片表面磨蝕架，其特征在于：所述驅動裝置為電力驅動裝置、電磁驅動裝置、液壓驅動裝置或者波頻振蕩驅動裝置。

6.根據權利要求5所述的硅片表面磨蝕架，其特征在于：所述電力驅動裝置采用皮帶傳動驅動吸附盤或采用減速機驅動吸附盤或采用直驅的方式驅動吸附盤。

7.根據權利要求6所述的硅片表面磨蝕架，其特征在于：所述電力驅動裝置為直流電動機、交流電動機、調頻電動機、步進電動機、伺服電動機或者直線電動機。

8.根據權利要求5所述的硅片表面磨蝕架，其特征在于：所述電磁驅動裝置為磁力驅動器或者磁致伸縮裝置。

9.根據權利要求5所述的硅片表面磨蝕架，其特征在于：所述波頻振蕩驅動裝置為聲波振蕩器或次聲波振蕩器或超聲波振蕩器。

10.一種硅片表面磨蝕裝置，其特征在于：包括磨蝕槽和通過懸臂安裝在磨蝕槽內兩個相對設置的硅片表面磨蝕架；所述磨蝕槽內填充有磨蝕顆粒懸浮液。

11.一種硅片表面磨蝕裝置，其特征在于：包括磨蝕槽和通過懸臂安裝在磨蝕槽內兩個相對設置的硅片表面磨蝕架以及懸浮液加注裝置；所述懸浮液加注裝置包括懸浮液儲罐以及加注管道；加注管道入口與懸浮液儲罐連通，加注管道出口垂直設置在兩個硅片表面磨蝕架的磨蝕面之間空隙的上方。