[實用新型]激光器及其倍頻模組

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720204131.0
• 申請日: 2017-03-03
• 公開（公告）號: CN206774872U
• 公開（公告）日: 2017-12-19
• 發(fā)明（設計）人: 任戩;劉猛;劉健
• 申請（專利權）人: 深圳市杰普特光電股份有限公司
• 主分類號: H01S3/105
• 分類號: H01S3/105;H01S3/109
• 代理公司: 廣州華進聯(lián)合專利商標代理有限公司44224
• 代理人: 吳平

技術領域

本實用新型涉及激光的技術領域，特別涉及一種激光器及其倍頻模組。

背景技術

激光作為近代科學技術中的重大實用新型之一，廣泛應用于冷加工領域。特別是在非金屬以及精密加工中，激光的應用價值尤其突出?，F(xiàn)有激光技術基本是通過808nm或880nm半導體泵浦激光晶體或利用線偏振發(fā)生器產生 1064nm的激光束。

而隨著全球對精細加工的需求日益增加，使得532nm綠光激光及355nm紫外激光的應用領域不斷擴大。因此，需要對產生的基頻1064nm激光束進行變頻，以得到兩倍頻的532nm綠光激光及三倍頻的355nm紫外激光。目前，市面上的綠光激光器多采用固體倍頻的方案。即在激光器的腔內或者腔外設置倍頻晶體，使激光束通過倍頻晶體來實現(xiàn)激光由1064nm到532nm、355nm的轉換。

然而，目前的激光器只能分別輸出經過變頻后的532nm、355nm激光束或者基頻的1064nm激光。但有些場景則需要1064nm、532nm、355nm三種頻率的激光同時使用。這樣，就需要準備三個激光器分別輸出不同頻率的激光束才能滿足需求，這將會使得成本升高，也使得操作不方便。

實用新型內容

基于此，有必要針對現(xiàn)有激光器只能輸出一種頻率激光的問題，提供一種能輸出三種不同頻率激光的激光器及其倍頻模組。

一種倍頻模組，包括：

二倍頻晶體，包括第一入射端及第一出射端，基頻激光可經所述第一入射端進入所述二倍頻晶體，并從所述第一出射端輸出頻率加倍的二倍頻激光與所述基頻激光的第一混合光束；

分色鏡，所述第一混合光束出射至所述分色鏡表面時，所述基頻激光發(fā)生透射且所述二倍頻激光發(fā)生反射；

活動設置的第一全反射鏡，可設置于第一位置及第二位置，所述第一全反射鏡位于所述第一位置時，所述基頻激光直接輸出，所述第一全反射鏡位于所述第二位置時，所述基頻激光進入所述二倍頻晶體；

三倍頻晶體，包括第二入射端及第二出射端，所述第一混合光束可經所述第二入射端進入所述三倍頻晶體，并從所述第二出射端輸出頻率加三倍的三倍頻激光與所述二倍頻激光、所述基頻激光的第二混合光束；

活動設置的第二全反射鏡，可設置于第三位置及第四位置，所述第二全反射鏡位于第三位置時，所述第一混合光束出射至所述分色鏡的表面，所述第二全反射鏡位于所述第四位置時，所述第一混合光束進入所述二倍頻晶體；及

濾光組件，與所述第二出射端耦合，接收所述第二混合光束并出射所述三倍頻激光。

在其中一個實施例中，還包括光束整形組件，所述光束整形組件與所述第一入射端相對設置并耦合，所述基頻激光經所述光束整形組件輸出后，進入所述二倍頻晶體。

在其中一個實施例中，所述光束整形組件包括相對且平行設置的凸透鏡及凹透鏡，且所述凸透鏡與所述凹透鏡的相對位置可調。

在其中一個實施例中，所述第一全反射鏡位于所述第一位置時，遮擋所述第一入射端，以使所述基頻光發(fā)生反射，所述第一全反射鏡位于所述第二位置時，避位所述第一入射端。

在其中一個實施例中，還包括第一輸出反射鏡及第二輸出反射鏡，所述第一全反射鏡位于所述第一位置時，與所述第一輸出反射鏡相對設置，所述基頻光經所述第一全反射鏡反射至所述第一輸出反射鏡；

所述第二輸出反射鏡與所述第一出射端相對設置并相對于所述二倍頻晶體的軸線傾斜，所述分色鏡與所述第二輸出反射鏡相對設置，所述第一混合光束經所述第二輸出反射鏡反射至所述分色鏡；

其中，所述第一全反射鏡位于所述第一位置時，所述第一全反射鏡、所述第一輸出反射鏡、所述分色鏡平行及所述第二輸出反射鏡相互平行。

在其中一個實施例中，所述第一全反射鏡、所述分色鏡、所述第一輸出反射鏡及所述第二輸出反射鏡均與所述二倍頻晶體的軸線呈45度夾角。

在其中一個實施例中，所述第二全反射鏡位于所述第四位置時，設置于所述分色鏡與所述第二輸出反射鏡之間，所述第一混合光束經所述第二全反射鏡反射進入所述三倍頻晶體中。

在其中一個實施例中，所述第二出射端的表面為相對于所述三倍頻晶體的軸線傾斜的斜面，且所述濾光組件為小孔光闌。

在其中一個實施例中，所述三倍頻晶體相對于所述二倍頻晶體的軸線傾斜預設角度，以使所述濾光組件輸出的三倍頻激光相對于所述二倍頻晶體的軸線平行。

一種激光器，包括：

殼體；

安裝于所述殼體內的激光發(fā)生裝置，用于產生基頻激光；及