[實(shí)用新型]一種實(shí)現(xiàn)五面鍍膜的蒸發(fā)鍍膜機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720204070.8
• 申請(qǐng)日: 2017-03-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN206599606U
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-10-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉雙良;雷志缽
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 華鑫納米科技（東莞）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/24
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/24;C23C14/50
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，尤指一種實(shí)現(xiàn)五面鍍膜的蒸發(fā)鍍膜機(jī)。

背景技術(shù)

真空蒸發(fā)鍍膜是在真空條件下，用蒸發(fā)器加熱蒸發(fā)物質(zhì)使之汽化，蒸發(fā)粒子流直接射向基片并在基片上沉積形成固態(tài)薄膜的技術(shù)。蒸鍍是物理氣相沉積（PVD）技 術(shù)中發(fā)展最早、應(yīng)用較為廣泛的鍍膜技術(shù)，盡管后來(lái)發(fā)展起來(lái)的濺射鍍和離子鍍?cè)谠S多方面比蒸鍍優(yōu)越，但真空蒸發(fā)鍍膜技術(shù)仍有許多優(yōu)點(diǎn)，如設(shè)備與工藝相對(duì)比較簡(jiǎn)單，即可沉積非常純凈的膜層，又可制備具有特定結(jié)構(gòu)和性質(zhì)的膜層等，仍然是當(dāng)今非常重發(fā)的鍍膜技術(shù)；近年來(lái)，由于電子轟擊蒸發(fā)、高頻感應(yīng)蒸發(fā)以及激光蒸 發(fā)等技術(shù)在蒸發(fā)鍍膜技術(shù)中的廣泛應(yīng)用，使這一技術(shù)更趨完善；目前，除小型鍍膜治具或特殊形狀鍍膜治具外，常用的大型鍍膜治具為傘形，傘形比平面的鍍膜治具面積更大，而分布在治具表面鍍膜產(chǎn)品量相應(yīng)增大，但是，傘形治具由于傘形具有一定傾斜度，鍍膜產(chǎn)品在傘形治具表面的位置各不相同，因此所涂覆的膜層厚度也各不相同，影響膜層的均勻性，同時(shí)還會(huì)導(dǎo)致鍍膜產(chǎn)品的邊緣、棱角處無(wú)法完全沉積膜層，直接影響鍍膜效果，比如一塊面板用于鍍膜，面板固定于傘具上，雖然鍍膜中傘具有在旋轉(zhuǎn)，但因?yàn)檎舭l(fā)源所發(fā)出的材質(zhì)類(lèi)似于投影機(jī)發(fā)出的光，鍍到產(chǎn)品的表面，而產(chǎn)品的邊緣因?yàn)橛行o(wú)法接觸到蒸發(fā)源所發(fā)出的材質(zhì)，所以鍍膜完成后會(huì)出現(xiàn)產(chǎn)品邊緣有些可鍍到膜有些無(wú)法鍍到膜的現(xiàn)象；為解決以上問(wèn)題，中國(guó)專利號(hào)為201410488795.5的一種可自轉(zhuǎn)公轉(zhuǎn)的仿行星式鍍膜治具及其使用方法，公開(kāi)了一種真空鍍膜機(jī)，但是該真空鍍膜機(jī)在批量產(chǎn)品鍍膜上優(yōu)勢(shì)不大，而且不能實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的各個(gè)表面和棱角邊緣也能順利涂覆上膜層。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決批量鍍膜和各個(gè)面均勻鍍膜的問(wèn)題，本實(shí)用新型旨在提供一種蒸發(fā)鍍膜機(jī)，尤指一種實(shí)現(xiàn)五面鍍膜的蒸發(fā)鍍膜機(jī)。

本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：一種實(shí)現(xiàn)五面鍍膜的蒸發(fā)鍍膜機(jī)，所述的鍍膜機(jī)主要包括真空鍍膜機(jī)腔和安裝在鍍膜機(jī)腔內(nèi)的鍍膜治具和導(dǎo)軌，所述的鍍膜治具安裝在導(dǎo)軌上方。

所述的鍍膜機(jī)腔橫截面為橢圓形，頂部設(shè)置有旋轉(zhuǎn)件；所述的導(dǎo)軌為圓周形導(dǎo)軌。

所述的鍍膜治具主要包括六個(gè)治具分體，通過(guò)公轉(zhuǎn)連接件與鍍膜機(jī)腔的旋轉(zhuǎn)件連接后安裝在鍍膜機(jī)腔內(nèi)，公轉(zhuǎn)連接件為圓柱體狀，上部與旋轉(zhuǎn)件連接，下部外側(cè)面開(kāi)設(shè)有六個(gè)均布的通孔，六個(gè)治具分體分別安裝在公轉(zhuǎn)連接件的通孔上；治具分體包括旋轉(zhuǎn)橫桿和產(chǎn)品安裝支架，旋轉(zhuǎn)橫桿一端貫穿公轉(zhuǎn)連接件的通孔安裝在公轉(zhuǎn)連接件上，另外一端安裝有滾輪，滾輪放置在圓周形導(dǎo)軌上表面。

所述的產(chǎn)品安裝支架主要包括旋轉(zhuǎn)連接環(huán)、支桿和產(chǎn)品固定板，旋轉(zhuǎn)連接環(huán)圓周外表面均設(shè)有通孔，旋轉(zhuǎn)橫桿貫穿連旋轉(zhuǎn)接環(huán)后，一端安裝在公轉(zhuǎn)連接件上的通孔里，有滾輪一端放置在導(dǎo)軌上表面，支桿均布安裝在旋轉(zhuǎn)連接環(huán)的圓周外表面，產(chǎn)品固定板安裝在支桿末端。

所述的產(chǎn)品安裝支架分為小號(hào)支架、中號(hào)支架和大號(hào)支架。

所述的小號(hào)支架的連接環(huán)上均布有八個(gè)通孔，分別安裝有八根支桿，八根支桿的末端分別安裝有產(chǎn)品固定板。

所述的中號(hào)支架的連接環(huán)上均布有十二個(gè)通孔，分別安裝有十二根支桿，十二根支桿的末端分別安裝有產(chǎn)品固定板。

所述的大號(hào)支架的連接環(huán)上均布有十六個(gè)通孔，分別安裝有十六根支桿，十六根支桿的末端分別安裝有產(chǎn)品固定板。

所述的治具分體呈圓錐傘形，其中小號(hào)支架安裝在旋轉(zhuǎn)橫桿左側(cè)靠近公轉(zhuǎn)連接件一端，中號(hào)支架安裝在在旋轉(zhuǎn)橫桿中部，大號(hào)支架安裝在旋轉(zhuǎn)橫桿右側(cè)靠近滾輪一端。

所述的產(chǎn)品固定板上可設(shè)置有吸盤(pán)，通過(guò)吸盤(pán)固定安裝待鍍膜產(chǎn)品。

本實(shí)用新型的有益效果是：本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，利用鍍膜治具同時(shí)進(jìn)行公轉(zhuǎn)和自轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)動(dòng)方式，使得待鍍膜產(chǎn)品在鍍膜機(jī)上實(shí)現(xiàn)多方位的旋轉(zhuǎn)，讓待鍍膜產(chǎn)品表面積有效接觸蒸發(fā)源所發(fā)出的材質(zhì)，實(shí)現(xiàn)邊緣五面的鍍膜，并保證鍍膜的均勻性，同時(shí)圓錐傘形的治具分體中的三個(gè)不同數(shù)量和尺寸的產(chǎn)品安裝支架配合設(shè)置增大了傘具的表面積，實(shí)現(xiàn)了待鍍膜產(chǎn)品的靈活放置性， 在一定程度上增加了每爐鍍膜機(jī)產(chǎn)品的放置數(shù)量，提高了產(chǎn)能。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實(shí)用新型的分解結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是本實(shí)用新型中鍍膜治具的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4是本實(shí)用新型在圖3中A的局部放大結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5是本實(shí)用新型中鍍膜治具中的立體結(jié)構(gòu)示意圖。