[實用新型]一種場致電子發射測試裝置

有效

• 申請號: 201720200647.8
• 申請日: 2017-03-03
• 公開（公告）號: CN206546346U
• 公開（公告）日: 2017-10-10
• 發明（設計）人: 曹國華;張寶慶;劉寶忠;張波;路新行;劉坤
• 申請（專利權）人: 河南理工大學
• 主分類號: G01N27/62
• 分類號: G01N27/62
• 代理公司: 鄭州浩德知識產權代理事務所(普通合伙)41130
• 代理人: 王國旭

1.一種場致電子發射測試裝置，其特征在于：包括真空腔室、真空連接機構、陽極部分和陰極部分；

所述真空腔室為圓筒型，頂部中心設置有法蘭，側壁設置有第一連接口，所述第一連接口與真空連接機構連接，所述真空腔室的側壁靠近底部位置設置有若干觀察窗；

所述陽極部分設置在真空腔室的上部，包括操作桿、控制器和陽極，所述操作桿安裝在真空腔室頂部法蘭中心，所述控制器安裝在操作桿上位于真空腔室的外側，所述陽極連接在操作桿的下端；

所述陰極部分包括繞真空腔室底部中心圓周設置的若干樣品臺、與樣品臺一一對應連接的接線柱，所述樣品臺之間設置有絕緣擋板進行分隔，所述接線柱穿過真空腔室底部并與外部導線連接，所述樣品臺包括固定支座和樣品架，所述樣品臺與真空腔室側壁的觀察窗位置相對應。

2.根據權利要求1所述的一種場致電子發射測試裝置，其特征在于：所述真空連接機構為一個真空四通管，其中一個端口連接所述真空腔室的第一連接口，其余端口分別連接真空閥門，真空計和真空波紋管。

3.根據權利要求1所述的一種場致電子發射測試裝置，其特征在于：所述操作桿包括第一豎桿、第一橫桿和第二豎桿，所述第一豎桿安裝在法蘭中心，所述第二豎桿的軸心在所述樣品臺中心所在圓周的豎直面上，所述陽極固定在第二豎桿的底端。

4.根據權利要求1所述的一種場致電子發射測試裝置，其特征在于：所述樣品臺的固定支座上有兩個定位銷，所述樣品架底面有兩個定位孔，固定支座的定位銷與樣品架的定位孔位置對應并能緊密配合連接，所述樣品架采用絕緣材料，所述樣品架上表面設置有銅片，所述銅片通過緊固螺釘連接在樣品架上。

5.根據權利要求1或3所述的一種場致電子發射測試裝置，其特征在于：所述操作桿末端設有螺紋，所述陽極通過螺紋與操作桿連接，所述陽極的幾何中心與樣品臺中心共軸。

6.根據權利要求1或3所述的一種場致電子發射測試裝置，其特征在于：所述控制器控制操作桿進行旋轉和上下移動。