[實用新型]一種探針的保護系統有效
| 申請號： | 201720191213.6 | 申請日： | 2017-03-01 |
| 公開（公告）號： | CN206557253U | 公開（公告）日： | 2017-10-13 |
| 發明（設計）人： | 陸海;姜方友;何栩明;陳飛;詹冰冰 | 申請（專利權）人： | 華越微電子有限公司 |
| 主分類號： | G01R1/067 | 分類號： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 紹興市越興專利事務所(普通合伙)33220 | 代理人： | 蔣衛東 |
| 地址： | 312000 浙江*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 探針 保護 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種探針的保護系統，其特征在于：包括探針臺和保護氣體發生裝置，保護氣體發生裝置通過輸送管道將保護氣體輸送至探針臺上的探針測試端，在輸送管道上安裝有電磁閥，電磁閥的電源線連接外部電源，電磁閥的信號線連接探針臺上測試吸盤的真空信號輸出端。
2.根據權利要求1所述的一種探針的保護系統，其特征在于：所述保護氣體發生裝置與電磁閥之間的輸送管道上安裝有流量計。
3.根據權利要求2所述的一種探針的保護系統，其特征在于：所述流量計采用LZB-6WB的玻璃轉子流量計。
4.根據權利要求1所述的一種探針的保護系統，其特征在于：所述電磁閥采用型號為030e1-psl的電磁閥。
5.根據權利要求1所述的一種探針的保護系統，其特征在于：所述保護氣體發生裝置中的保護氣體采用氮氣。
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