[實用新型]膜厚檢測裝置

有效

• 申請號: 201720187337.7
• 申請日: 2017-02-28
• 公開（公告）號: CN206959773U
• 公開（公告）日: 2018-02-02
• 發明（設計）人: 姜利;張凱;韓曉偉;丁青
• 申請（專利權）人: 威海華菱光電股份有限公司
• 主分類號: G01B7/06
• 分類號: G01B7/06
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司11240
• 代理人: 韓建偉,張永明

技術領域

本實用新型涉及電學領域，具體而言，涉及一種膜厚檢測裝置。

背景技術

薄片狀物品，如紙張、票據、塑料薄膜、紡織物品等的在線連續厚度測量，在其產品的生產、檢測、處理、回收等過程中處于越來越重要的地位。近年來，通過電極間的靜電感應進行薄膜厚度的檢測技術在不斷研究探索之中，例如，公開號 CN210302446Y的專利公開的了一種電容式紙厚傳感器，其主要是將電容器的容量變化轉化成振蕩頻率的變化，再通過頻壓轉換模塊將頻率的變化轉換成電壓的變化，從而實現厚度的測量。再例如，公開號為CN103363887A的專利也公開了一種材料厚度的檢測方法，利用平板電容的極板作為厚度檢測的敏感器件，實測對象的厚度變化引起的電容活動極板產生位移，導致平板電容器的容量發生變化，從而實現厚度的測量。

但這些靜電檢測方式，在溫度、濕度等外界環境變化時，或者受到噪音干擾時，各檢測電極檢出信號易發生變化，影響檢測精度，因此，在相關技術的膜厚檢測方法受環境因素影響大的問題。

實用新型內容

本實用新型實施例提供了一種膜厚檢測裝置，以至少解決相關技術的膜厚檢測方法受環境因素影響大的技術問題。

根據本實用新型實施例的一個方面，提供了一種膜厚檢測方法，公共電極和檢測電極，所述檢測電極包括N個檢測電極芯片，所述N個檢測電極芯片在產品主掃描方向上依次排列，每個檢測電極芯片上有M個檢測電極素子，所述M個檢測電極素子依次排列，各檢測電極素子與所述公共電極在第一方向上相對且間隔設置，公共電極表面與各檢測電極素子表面之間形成待測膜的檢測通道，M，N為自然數，其中，所述裝置還包括：差分放大電路，包括兩個輸入端和一個輸出端，其中一個輸入端與參考素子輸出端相連，另一個輸入端與有效檢測電極素子的輸出端相連，輸出端為膜厚檢測裝置的有效信號輸出，其中，所述參考素子為所述N個檢測電極芯片所包括的一個或多個素子，所述N個檢測電極芯片所包括的素子中除所述參考素子外的其它素子為有效檢測電極素子。

可選地，所述裝置還包括：平均采樣回路，其中，所述平均采樣回路在所述參考素子為多個的情況下，將多個素子的輸出平均值作為參考素子的補正值。

可選地，所述平均采樣回路包括：元件可編程邏輯門陣列PFGA和存儲器，或者，所述平均采樣回路為積分電路。

可選地，所述參考素子包括以下之一：所述產品主掃描方向上第1個檢測電極芯片的第一個檢測電極素子；所述產品主掃描方向上第1個檢測電極芯片上的第1～a 個檢測電極素子；所述產品主掃描方向上第N個檢測電極芯片的第M個檢測電極素子；所述產品主掃描方向上第N個檢測電極芯片上的第b～N個檢測電極素子全部M個檢測電極素子；其中，a,b均為自然數。

可選地，所述M個檢測電極素子按照預定的分辨率密度依次排列。

可選地，所述裝置還包括：第一基板和第二基板，其中，所述公共電極設置在所述第一基板的第一表面上，所述第一基板的第一表面與所述第一方向垂直；所述第二基板與所述第一基板在所述第一方向上間隔設置，所述第二基板的第一表面朝向所述第一基板的第一表面，并且與所述第一基板的第一表面平行，各檢測電極芯片設置在所述第二基板的第一表面上。

可選地，所述裝置還包括：第一框體和第二框體，其中，所述第一基板設置在所述第一框體的第一表面上；所述第二框體與所述第一框體在所述第一方向上間隔設置，所述第二基板設置在所述第二框體的第一表面上。

可選地，所述裝置還包括：第一保護層和第二保護層，其中，所述第一保護層設置在第一公共電極表面上；所述第二保護層設置在各檢測電極芯片的各檢測電極素子的表面上。

可選地，所述裝置還包括：第一導電薄膜和第二導電薄膜，其中，所述第一導電薄膜設置在所述公共電極與所述第一保護層之間；所述第二導電薄膜設置在所有上述檢測電極素子與所述第二保護層之間。

可選地，所述參考素子位于有效掃描長度之外的區域。