[實用新型]一種電容式壓力傳感器

有效

• 申請號: 201720185063.8
• 申請日: 2017-02-28
• 公開（公告）號: CN206556801U
• 公開（公告）日: 2017-10-13
• 發明（設計）人: 付俊;戴煊龍;籍慶校;常偉;任萬偉
• 申請（專利權）人: 寶力馬（蘇州）傳感技術有限公司
• 主分類號: G01L9/12
• 分類號: G01L9/12
• 代理公司: 蘇州市中南偉業知識產權代理事務所(普通合伙)32257
• 代理人: 李廣

1.一種電容式壓力傳感器，包括基座和敏感片，其特征在于，所述基座包括兩對稱設置的半基座，以基座的軸向中心平面為基礎，定義基座的左半邊為左半基座，基座右半邊為右半基座，所述左半基座和右半基座的結構、形狀以及尺寸均相同，所述左半基座和右半基座均分為上下兩段，其上段為內孔半圓柱結構，其下段為平板結構，平板結構上開設有壓力介質通孔，所述敏感片包括兩個面積相同的基板，分別為左基板和右基板，所述左基板和右基板的內側面上分別設有電極及電極引線，左基板和右基板上的兩個電極為相對電極；在裝配狀態下，左基板和右基板正對裝配，左基板和右基板上的電極通過支撐墻隔開一間距，從而組成所述敏感片，所述左半基座和右半基座對合裝配形成上段呈中空圓柱體、下段呈立方體的所述基座，所述敏感片夾設于左半基座和右半基座的平板結構處，此時，所述敏感片的基板上的電極所在的位置正對基座的平板結構上的壓力介質通孔位置。

2.根據權利要求1所述的電容式壓力傳感器，其特征在于，所述壓力介質通孔采用單開孔或雙開孔，即左基板和/或右基板的平板結構上開設有所述壓力介質通孔。

3.根據權利要求1或2所述的電容式壓力傳感器，其特征在于，當所述敏感片為單極板形變電容敏感片時，所述左半基座或右半基座上開設有壓力介質通孔，同時所述敏感片的基板上的電極所在的位置正對基座上的該壓力介質通孔；當所述敏感片為雙極板形變電容敏感片時，所述左半基座和右半基座上均開設有一壓力介質通孔，此時，所述敏感片的左基板上的電極所在的位置正對左半基座上的壓力介質通孔，同時，所述敏感片的右基板上的電極所在的位置正對右半基座上的壓力介質通孔。

4.根據權利要求1所述的電容式壓力傳感器，其特征在于，所述內孔半圓柱結構的上開設有加工通孔。

5.根據權利要求4所述的電容式壓力傳感器，其特征在于，所述敏感片與基座燒一體結成連接。

6.根據權利要求1所述的電容式壓力傳感器，其特征在于，在所述左基板和/或右基板上的電極及電極引線周邊設有金屬支撐墻，所述金屬支撐墻厚度高于電極及電極引線厚度。

7.根據權利要求1所述的電容式壓力傳感器，其特征在于，所述電極形狀為圓形或者方形。

8.根據權利要求1所述的電容式壓力傳感器，其特征在于，所述敏感片的基板采用陶瓷板。

9.根據權利要求1或8所述的電容式壓力傳感器，其特征在于，所述基座為陶瓷基座。

10.根據權利要求1所述的電容式壓力傳感器，其特征在于，還包括外殼，所述外殼與基座上部的中空圓柱體通過燒結連接而成。