[實用新型]晶體生長用組合式坩堝有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201720180560.9 | 申請日: | 2017-02-27 |
| 公開(公告)號: | CN206502887U | 公開(公告)日: | 2017-09-19 |
| 發(fā)明(設計)人: | 羅愛斌;肖亞東 | 申請(專利權)人: | 廣東先導先進材料股份有限公司 |
| 主分類號: | C30B11/00 | 分類號: | C30B11/00 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 511517 廣東省*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 晶體生長 組合式 坩堝 | ||
1.一種晶體生長用組合式坩堝,其自上向下依次為等徑部分、放肩部分、尾部部分,其特征在于:
所述尾部部分呈一上大下小的截圓錐筒狀;
所述尾部部分設有一籽晶槽體,所述籽晶槽體的外壁緊密嵌合在所述尾部部分的內(nèi)部,所述籽晶槽體設有一籽晶腔。
2.根據(jù)權利要求1所述的晶體生長用組合式坩堝,其特征在于:所述籽晶槽體上端面為曲面,所述曲面與所述籽晶腔的上開口圍成一上大下小的截圓錐筒狀腔體。
3.根據(jù)權利要求1所述的晶體生長用組合式坩堝,其特征在于:所述籽晶槽體呈與所述尾部部分的內(nèi)壁相適應的上大下小的截圓錐筒狀。
4.根據(jù)權利要求3所述的晶體生長用組合式坩堝,其特征在于:所述籽晶腔為圓柱狀。
5.根據(jù)權利要求1至4任一所述的晶體生長用組合式坩堝,其特征在于:所述籽晶槽體的上、下端面與側面均采用圓弧連接。
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