[實用新型]一種X射線光譜檢測裝置

有效

• 申請號: 201720179246.9
• 申請日: 2017-02-27
• 公開（公告）號: CN206656976U
• 公開（公告）日: 2017-11-21
• 發明（設計）人: 周孫武
• 申請（專利權）人: 福州金彼岸電力設備有限公司
• 主分類號: G01N23/18
• 分類號: G01N23/18
• 代理公司: 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙)11411
• 代理人: 張清彥

技術領域

本實用新型涉及光電檢測儀技術領域，尤其是一種X射線光譜檢測裝置。

背景技術

在光電產業中，晶片制作鍍膜后，為了檢測晶片鍍膜的均勻度，通常會通過X射線光譜檢測裝置對鍍膜晶片進行檢測，而近年來由于科技進步，晶片的尺寸越做越大，然而一般用于檢測晶片的光譜裝置多為小型設備，受困于設備本身的大小，所以在檢測前需要先將晶片切割為較小的樣品，使樣品的大小能放入設備中進行檢測，所以現有設備只能檢測較小尺寸的樣品，使用不方便。并且檢測到的小樣品結構視為整個晶片的平均結構，存在一定的誤差，無法準確判定產品的質量，增加生產時間，進而相對增加制造成本。

實用新型內容

本實用新型提供一種X射線光譜檢測裝置，可檢測各種尺寸的晶片，提供裝置的實用性。

本實用新型具體采用如下技術方案實現：

一種X射線光譜檢測裝置，包括：

本體，包含底座，所述底座的底面設有多個支撐腳，所示底座上設有結合柱，所示結合柱上設有懸于所示底座上方的發射臂，其中所述發射臂上設有于所示底座相對的發射頭；

晶片框架可移動的設置于所示底座上，所述晶片框架上設有貫穿所示晶片框架的中空部，所述中空部內面設有托片框，在所述中空部上還設置有多個與所述中空部連通的凹槽；

X射線裝置一端通過光纖與所述發射臂上的發射頭相接，而另一端與電源相接；

接收裝置一端為接收所述發射頭射出X射線的接收器，所述接收器穿設在所述底座相對應于所述發射頭的位置上，而所述接收裝置的另一端與電腦主機相接。

作為優選，所述底座的另一端面還設有刻度尺。

作為優選，所述結合柱的頂端設有結合柱固定孔，所述發射臂上設有與所述結合柱固定孔相對應的發射臂固定孔，并設有穿過所述發射臂固定孔而與所述結合柱固定孔相結合的固定元件。

作為優選，所述固定元件為螺栓。

作為優選，所述中空部位于所述晶片框架的中心。

本實用新型提供的X射線光譜檢測裝置，其有益效果在于：可對較大尺寸的晶片進行檢測，因此受檢測的晶片不需再通過切割的程序，并不受限于現有光譜檢測裝置設備的大小，可直接對晶片進行檢測，可提高整個晶片檢測結果的準確性，加上可根據待檢測的晶片尺寸更換與其相符的晶片框架，因此可針對不同的晶片的尺寸配合與其相符的晶片框架以進行檢測，可以有效提供光譜檢測裝置的檢測及使用范圍。

附圖說明

圖1為本實用新型X射線光譜檢測裝置的立體圖；

圖2為本實用新型X射線光譜檢測裝置的立體分解圖；

圖3為本實用新型X射線光譜檢測裝置的使用狀態圖。

具體實施方式

為進一步說明各實施例，本實用新型提供有附圖。這些附圖為本實用新型揭露內容的一部分，其主要用以說明實施例，并可配合說明書的相關描述來解釋實施例的運作原理。配合參考這些內容，本領域普通技術人員應能理解其他可能的實施方式以及本實用新型的優點。圖中的組件并未按比例繪制，而類似的組件符號通常用來表示類似的組件。

現結合附圖和具體實施方式對本實用新型進一步說明。

如圖1-3所示，本實施例提供的一種X射線光譜檢測裝置10，其中，

本體20包含方形底座21，底座21的四角下方設有支撐腳22，而經由支撐腳22的支撐，可使底座21距離底面或桌面間有一定的高度，其中各支撐腳22的高度相同，所以底座21水平地放置在地面或桌面上，而在底座21的一端面上設有刻度尺23，作為檢測的參考點，而底座21頂面上位于設置刻度尺23的另一端設有方形的結合柱24，結合柱24的頂部端面上設有兩結合柱固定孔241，而通過結合設置長條形的發射臂25，其中發射臂25的頂面一端設有X射線發射頭251，而發射臂25的另一端設有兩個發射臂固定孔252，其中，兩個發射臂固定孔252與兩個結合柱固定孔241相對應，通過兩個固定元件26可將發射臂25于結合柱24相結合，并使發射臂25設置發射頭251的一端懸接于底座21的上方，其中兩個固定元件26伸于兩個發射臂固定孔252而與兩結合柱固定孔241相結合，固定元件26可為螺栓。