[實用新型]一種音圈電機驅動二維超精密定位平臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720177333.0
• 申請日: 2017-02-27
• 公開（公告）號: CN206504070U
• 公開（公告）日: 2017-09-19
• 發(fā)明（設計）人: 李震;雷志斌;尹遠飛;劉玉縣;林曉明
• 申請（專利權）人: 華南農業(yè)大學
• 主分類號: F16M11/04
• 分類號: F16M11/04
• 代理公司: 廣東廣信君達律師事務所44329
• 代理人: 楊曉松

1.一種音圈電機驅動二維超精密定位平臺，其特征在于：包括平臺底座(1)、移動平臺(2)、第一、二導軌(3、4)、第一、二電機(5、6)以及第一、二光柵尺(9、10)，其中，平臺底座(1)由橫底座(101)和豎底座(102)組成，第一電機(5)安裝于橫底座(101)上；移動平臺(2)包括上下移動平臺(7)和前后移動平臺(8)，上下移動平臺(7)固連在第一電機(5)上方由第一電機(5)驅動沿著鋪設于豎底座(102)的第一導軌(3)上下移動，并由分別安裝在豎底座(102)側面的第一光柵尺(9)讀數尺和上下移動平臺(7)側面的第一光柵尺(9)讀數頭配合測量上下位移量；前后移動平臺(8)位于上下移動平臺(7)上方，由安裝在上下移動平臺(7)上的第二電機(6)驅動沿著鋪設于上下移動平臺(7)上的第二導軌(4)前后移動，并由分別安裝在上下移動平臺(7)側面的第二光柵尺(10)讀數頭和前后移動平臺(8)側面的第二光柵尺(10)讀數尺配合測量前后位移量。

2.根據權利要求1所述的一種音圈電機驅動二維超精密定位平臺，其特征在于：所述第一、二電機(5、6)均為音圈電機。

3.根據權利要求1所述的一種音圈電機驅動二維超精密定位平臺，其特征在于：所述第一、二光柵尺(9、10)均為增量式光柵尺。

4.根據權利要求1所述的一種音圈電機驅動二維超精密定位平臺，其特征在于：所述第一、二電機(5、6)由安裝在豎底座(102)另一面的DC驅動器(11)驅動，而該DC驅動器(11)接收到的控制命令由設于其上方的控制器(12)發(fā)出。

5.根據權利要求4所述的一種音圈電機驅動二維超精密定位平臺，其特征在于：所述控制器(12)包括控制模式選擇模塊(1101)、限定增益設定模塊(1102)、控制參數設定模塊(1103)、移動距離和移動速度設定模塊(1104)以及顯示模塊(1105)；

其中，控制模式選擇模塊(1101)，包括電流控制模式、速度控制模式、位置控制模式；

限定增益設定模塊(1102)，設定DC驅動器的限制和增益，減少定位平臺的震動，提高平臺的響應性能；

控制參數設定模塊(1103)，設定移動平臺移動時的最高速度、加速度和減速度、回零方式；

移動距離和移動速度設定模塊(1104)，設定移動平臺的移動距離和移動速度；

顯示模塊(1105)，顯示當前各種操作數據。

6.根據權利要求4所述的一種音圈電機驅動二維超精密定位平臺，其特征在于：所述控制器(12)和DC驅動器(11)之間通過串口通訊傳輸數據。