[實用新型]一種多晶硅切割液回收再利用系統

有效

• 申請號: 201720175489.5
• 申請日: 2017-02-27
• 公開（公告）號: CN206624840U
• 公開（公告）日: 2017-11-10
• 發明（設計）人: 劉西欣
• 申請（專利權）人: 江蘇凱米膜科技股份有限公司
• 主分類號: C10M175/00
• 分類號: C10M175/00;B01D61/18;B01D61/16;C01B33/021;C01B33/037
• 代理公司: 常州市權航專利代理有限公司32280
• 代理人: 張麗萍

1.一種多晶硅切割液回收再利用系統，其特征在于包括：

板框壓濾機(1)、物料循環罐(2)，循環泵(3)、管式超濾膜(7)和用于回收冷卻液的清液罐(8)，所述板框壓濾機(1)的板框壓濾液出口與物料循環罐(2)的進料口通過管道相連，所述物料循環罐(2)的出料口與管式超濾膜(7)的原液進口通過管道相連，所述物料循環罐(2)的出料口與管式超濾膜(7)的原液進口的管路上還設有循環泵(3)，所述管式超濾膜(7)的濃縮液出口與物料循環罐(2)的進料口通過管道相連，所述管式超濾膜(7)的透過液出口與清液罐(8)通過管道相連，所述物料循環罐(2)的出料口還通過管道與板框壓濾機(1)的板框壓濾液進口相連。

2.如權利要求1所述的一種多晶硅切割液回收再利用系統，其特征在于：所述物料循環罐(2)的出料口與管式超濾膜(7)的原液進口的管路上依次設有第一壓力表(4)、第一調節閥(5)和溫度表(6)，所述管式超濾膜(7)的濃縮液出口與物料循環罐(2)的進料口的管路上依次設有第二流量計(10)、第二壓力表(11)和第二調節閥(12)，所述管式超濾膜(7)的濃縮液出口與物料循環罐(2)的進料口的管路上設有第一流量計(9)。

3.如權利要求1所述的一種多晶硅切割液回收再利用系統，其特征在于：所述管式超濾膜(7)的直徑為8-12.5mm，長度為1000-3600mm。

4.如權利要求1所述的一種多晶硅切割液回收再利用系統，其特征在于：所述物料循環罐(2)、清液罐(8)的形狀為圓柱體。

5.如權利要求1所述的一種多晶硅切割液回收再利用系統，其特征在于：所述物料循環罐(2)、清液罐(8)的大小為4m³-12m³。

6.如權利要求1所述的一種多晶硅切割液回收再利用系統，其特征在于：所述物料循環罐(2)的進料口設有常開閥(13)。

7.如權利要求1所述的一種多晶硅切割液回收再利用系統，其特征在于：所述物料循環罐(2)的出料口設有換向閥(14)。