[實用新型]一種晶圓級環境可靠性測試載具及測試機臺

有效

• 申請號: 201720171046.9
• 申請日: 2017-02-24
• 公開（公告）號: CN206505156U
• 公開（公告）日: 2017-09-19
• 發明（設計）人: 辛軍啟
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（天津）有限公司;中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)31237
• 代理人: 屈蘅,李時云

1.一種晶圓級環境可靠性測試載具，其特征在于，包括：一底座、及設置于所述底座上的多個吸嘴；其中，所述底座包括真空腔體，當所述吸嘴受到的壓力大于一預定壓力時，所述吸嘴處于導通狀態，所述吸嘴與所述真空腔體連通；當所述吸嘴受到的壓力小于等于所述預定壓力時，所述吸嘴處于關閉狀態。

2.如權利要求1所述的晶圓級環境可靠性測試載具，其特征在于，進行晶圓級環境可靠性測試時，一測試晶圓放置于至少部分所述吸嘴上，至少三個所述吸嘴處于導通狀態構成吸附所述測試晶圓的吸附面。

3.如權利要求1所述的晶圓級環境可靠性測試載具，其特征在于，所述吸嘴包括：外管和活塞，所述外管內設置有用于使氣流進入所述真空腔體的通路；

當所述吸嘴處于關閉狀態時，所述活塞封堵所述通路；

當所述吸嘴處于導通狀態時，所述活塞打開所述通路。

4.如權利要求3所述的晶圓級環境可靠性測試載具，其特征在于，所述吸嘴還包括：設置于所述外管中的第一內管，所述第一內管設置有一開口，所述活塞的一端容置于所述第一內管中，所述活塞的另一端固定于所述外管上；

其中，當所述吸嘴處于關閉狀態時，所述活塞容置于所述第一內管中的一端封堵所述開口；

當所述吸嘴處于導通狀態時，所述第一內管相對于所述外管下移，所述活塞容置于所述第一內管中的一端打開所述開口。

5.如權利要求4所述的晶圓級環境可靠性測試載具，其特征在于，所述吸嘴還包括：設置于所述外管中的第二內管和密封圈，所述第二內管卡接于所述外管的內壁上，所述第一內管與第二內管通過所述密封圈連接。

6.如權利要求5所述的晶圓級環境可靠性測試載具，其特征在于，所述吸嘴還包括設置于所述外管內側的第一卡環，設置于所述第一內管外側的第二卡環，所述第一卡環與所述第二卡環卡接配合時，密封所述外管與所述第一內管之間的間隙。

7.如權利要求6所述的晶圓級環境可靠性測試載具，其特征在于，所述吸嘴還包括用于抵抗外界氣壓的彈性部件，所述第二卡環的數量為兩個，所述彈性部件套接于兩個第二卡環之間的第一內管上。

8.如權利要求7所述的晶圓級環境可靠性測試載具，其特征在于，所述彈性部件為彈簧。

9.如權利要求5所述的晶圓級環境可靠性測試載具，其特征在于，所述吸嘴還包括用于接觸測試晶圓的吸附部件，所述吸附部件與所述第一內管固定連接。

10.如權利要求9所述的晶圓級環境可靠性測試載具，其特征在于，所述吸附部件為軟橡膠吸附部件。

11.如權利要求10所述的晶圓級環境可靠性測試載具，其特征在于，所述吸附部件為喇叭形。

12.如權利要求1所述的晶圓級環境可靠性測試載具，其特征在于，還包括設置于所述底座上的溫度傳感器，所述溫度傳感器的高度小于所述吸嘴的高度。

13.如權利要求12所述的晶圓級環境可靠性測試載具，其特征在于，還包括設置于所述底座上的真空塞、所述溫度傳感器設置于真空塞上。

14.如權利要求12所述的晶圓級環境可靠性測試載具，其特征在于，所述溫度傳感器為熱電偶溫度傳感器。

15.如權利要求1所述的晶圓級環境可靠性測試載具，其特征在于，所述預定壓力小于等于測試晶圓的重力。

16.如權利要求1～15中任一項所述的晶圓級環境可靠性測試載具，其特征在于，所述底座的形狀為圓柱體或長方體。

17.一種測試機臺，其特征在于，包括如權利要求1～16中任一項所述的晶圓級環境可靠性測試載具。