[實用新型]一種液晶顯示模塊制造用光刻機

有效

• 申請號: 201720168287.8
• 申請日: 2017-02-24
• 公開（公告）號: CN206805138U
• 公開（公告）日: 2017-12-26
• 發明（設計）人: 彭國友
• 申請（專利權）人: 湖北麥斯電子有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02F1/13
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型屬于光刻機設備技術領域，具體涉及一種液晶顯示模塊制造用光刻機。

背景技術

光刻機/紫外曝光機(Mask Aligner)又名，掩模對準曝光機，曝光系統，光刻系統等，常用的光刻機是掩膜對準光刻，一般的光刻工藝要經歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕等工序，光刻意思是用光來制作一個圖形(工藝)，在硅片表面勻膠，然后將掩模版上的圖形轉移光刻膠上的過程將器件或電路結構臨時"復制"到硅片上的過程，這種用于液晶顯示模塊制造用光刻機，精準度要求特別高，少許的灰塵機都會影響機器的工作精度，另外這種光刻機大多采用激光技術，在生產過程中也會帶來輻射，對操作者的生理狀況產生影響。

目前市場上的液晶顯示模塊制造用光刻機不僅結構復雜，而且確保精度的措施不夠完善，沒有設置風機，不能將工作臺上的雜物徹底清理干凈和不能起到降低工作臺溫度不能提高工件的質量，沒有防塵盒，不能保障工作臺的衛生。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種液晶顯示模塊制造用光刻機，以解決上述背景技術中提出不能將工作臺上的雜物徹底清理干凈和不能起到降低工作臺溫度不能提高工件的質量的問題，解決了不能保障工作臺的衛生的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種液晶顯示模塊制造用光刻機，包括電控設備、銘牌、第一轉軸、風機、風機固定底座、第二轉軸、風管、出風口、投影物鏡、工作臺底座、防塵盒、設備底座、儀表、計算機、掩模、物鏡連接桿、防塵盒接合口，進風口、防塵盒拉把手和工作臺，所述電控設備中部設置有所述銘牌，所述電控設備端部一側設置有所述風機，所述風機底端設置有所述風機固定底座，所述風機一側設置有所述第一轉軸，所述第一轉軸一端設置有所述第二轉軸，所述第二轉軸一端設置有所述風管，所述風管一端設置有所述出風口，所述電控設備一側設置有所述掩模，所述掩模一側設置有所述物鏡連接桿，所述物鏡連接桿底端設置有所述投影物鏡，所述投影物鏡下端設置有所述防塵盒，所述防塵盒內側設置有所述工作臺底座，所述工作臺底座上端設置有所述工作臺，所述防塵盒底端設置有所述設備底座，所述設備底座上端設置有所述儀表，所述儀表上端設置有所述計算機，所述防塵盒中部設置有所述防塵盒接合口，所述防塵盒一端設置有所述進風口，所述防塵盒一端設置有所述防塵盒拉把手。

優選的，所述風機固定底座通過螺栓固定連接在電控設備一側。

優選的，所述防塵盒與設備底座通過螺栓固定連接。

優選的，所述防塵盒接合口是承插式構件。

優選的，所述防塵盒頂部蓋板設置有滑槽。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：本實用新型結構科學合理，使用安全方便，設置了風機，能夠將工作臺上的雜物徹底清理干凈和能夠起到降低工作臺溫度同時提高工件的質量，設置了防塵盒，能夠保障工作臺的衛生，減少了資源浪費，提高了生產工件的質量。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為本實用新型的防塵盒結構示意圖；

圖中：1-電控設備、2-銘牌、3-第一轉軸、4-風機、5-風機固定底座、6-第二轉軸、7-風管、8-出風口、9-投影物鏡、10-工作臺底座、11-防塵盒、12-設備底座、13-儀表、14-計算機、15-掩模、16-物鏡連接桿、17-防塵盒接合口，18-進風口、19-防塵盒拉把手、20-工作臺。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。