[實用新型]一種無接觸插片石墨舟

有效

• 申請號: 201720163298.7
• 申請日: 2017-02-22
• 公開（公告）號: CN206505940U
• 公開（公告）日: 2017-09-19
• 發明（設計）人: 何達能;方結彬;陳剛
• 申請（專利權）人: 廣東愛康太陽能科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/673
• 代理公司: 廣州知友專利商標代理有限公司44104
• 代理人: 侯莉

1.一種無接觸插片石墨舟，其特征在于：它主要由絕緣棒和在水平方向上排列的數個單元舟片組成，所述單元舟片為豎向設置的片狀體，相鄰的單元舟片之間具有間隙，所述絕緣棒于各單元舟片的周緣貫穿而將全部的單元舟片連接固定在一起，位于兩外側的單元舟片的內外表面上設有若干與硅片形狀相同且其尺寸小于硅片尺寸的凹槽，位于外側單元舟片內外表面上的凹槽相對應，在凹槽的槽底面上設有貫通該對應凹槽的用于抽真空的細孔，位于中間的單元舟片上設有若干與硅片形狀相同且其尺寸小于硅片尺寸的通孔，在所述凹槽和通孔的外圍設有用于固定硅片的卡點，硅片貼附在凹槽和通孔上由卡點固定且硅片的周緣遮蓋在凹槽和通孔的周邊區域上，在該周邊區域上分布有與氣源相連通的噴氣孔，由噴氣孔噴出的保護氣體對硅片施加推力而使硅片與單元舟片不接觸以便避免插片時硅片與單元舟片發生摩擦。

2.根據權利要求1所述的無接觸插片石墨舟，其特征在于：所述單元舟片的數量為2～50，相鄰單元舟片之間的間距為5～50mm。

3.根據權利要求2所述的無接觸插片石墨舟，其特征在于：位于外側的單元舟片每一面上的凹槽的數量為5～20，位于每個中間的單元舟片上的通孔的數量為5～20，所述凹槽和通孔在單元舟片上呈陣列均勻分布，相鄰凹槽之間、相鄰通孔之間的間距是5～300mm。

4.根據權利要求3所述的無接觸插片石墨舟，其特征在于：所述凹槽和通孔的深度是0.5～10mm。

5.根據權利要求4所述的無接觸插片石墨舟，其特征在于：所述凹槽和通孔的周邊區域的寬度是2～30mm。

6.根據權利要求5所述的無接觸插片石墨舟，其特征在于：所述噴氣孔為圓形孔，所述噴氣孔的直徑是1～5mm。

7.根據權利要求6所述的無接觸插片石墨舟，其特征在于：所述噴氣孔在凹槽和通孔的周邊區域上均勻分布，相鄰噴氣孔之間的間距為1～10mm。

8.根據權利要求7所述的無接觸插片石墨舟，其特征在于：所述絕緣棒采用陶瓷棒。

9.根據權利要求8所述的無接觸插片石墨舟，其特征在于：所述保護氣體采用惰性氣體或者氮氣。