[實(shí)用新型]一種開方機(jī)張力調(diào)整機(jī)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720154874.1
• 申請日: 2017-02-21
• 公開（公告）號: CN206510235U
• 公開（公告）日: 2017-09-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 崔建榮
• 申請（專利權(quán)）人: 嘉興融茂精密機(jī)械有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種開方機(jī)，更具體地說，它涉及一種開方機(jī)張力調(diào)整機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

線切割技術(shù)是目前世界上比較先進(jìn)的硅片加工技術(shù)，它的原理是通過一根高速運(yùn)動(dòng)的鋼線帶動(dòng)附著在鋼線上的切割刃料對半導(dǎo)體等硬脆材料進(jìn)行摩擦，從而達(dá)到切割目的。線切割技術(shù)與傳統(tǒng)的刀鋸片、砂輪片及內(nèi)圓切割相比有具有效率高，產(chǎn)能高，精度高等優(yōu)點(diǎn)。

在對工件的切割過程中，鋼線通過十幾個(gè)導(dǎo)線輪的引導(dǎo)，在主線輥上形成一張線網(wǎng)，而待加工工件通過工作臺的上升下降實(shí)現(xiàn)工件的進(jìn)給，并在壓力泵在的作用下，裝配在設(shè)備上的研磨劑自動(dòng)噴灑裝置將研磨劑噴灑至鋼線和工件的切削部位，由鋼線帶動(dòng)研磨劑往復(fù)運(yùn)動(dòng)，利用研磨砂對工件產(chǎn)生切削，以將半導(dǎo)體等硬脆材料一次同時(shí)切割為數(shù)百片，在上述的作業(yè)中，鋼線的作用舉足輕重，但即便最好的鋼線，其延伸度及耐磨度也是有限度的，也就是說鋼線在帶動(dòng)研磨劑往復(fù)運(yùn)動(dòng)中會(huì)逐漸變細(xì)，直至最終被拉斷。

目前，公開號為CN201625917U的中國專利公開了一種金剛線開方機(jī)的張力調(diào)整機(jī)構(gòu)，應(yīng)用于具有貯絲筒、單層纏繞在所述貯絲筒上的金剛線、以及對所述金剛線進(jìn)行導(dǎo)向的第一導(dǎo)向輪及第二導(dǎo)向輪的金剛線開方機(jī)上，其特征在于，所述張力調(diào)整機(jī)構(gòu)至少包括：張緊輪，設(shè)置于所述第一導(dǎo)向輪及第二導(dǎo)向輪之間，用于牽引所述第一導(dǎo)向輪及第二導(dǎo)向輪之間的金剛線；張力傳感器，設(shè)置于所述張緊輪上，不斷感測所述張緊輪上金剛線的張力值，并于該張力值小于預(yù)設(shè)值時(shí)發(fā)出驅(qū)動(dòng)信號；伺服電機(jī)，電性連接所述張力傳感器，用于接收到所述張力傳感器發(fā)出的驅(qū)動(dòng)信號后開始工作；以及絲桿，一端連接所述張緊輪，另一端連接所述伺服電機(jī)，并于伺服電機(jī)工作時(shí)牽引所述張緊輪進(jìn)行單向位移，以調(diào)整所述金剛線的張力。

當(dāng)張力傳感器感應(yīng)到的張力值小于預(yù)設(shè)值時(shí)，張力傳感器將發(fā)出驅(qū)動(dòng)信號，伺服電機(jī)作用，帶動(dòng)張緊輪進(jìn)行單向位移，實(shí)現(xiàn)了金剛線張力的改變；當(dāng)張力傳感器感應(yīng)到的張力值大于或等于預(yù)設(shè)值，張力傳感器將不會(huì)發(fā)出驅(qū)動(dòng)信號，張緊輪維持當(dāng)前的位置狀態(tài)；但當(dāng)設(shè)備切割晶硅時(shí)，金剛線不斷拉緊，金剛線的張力過大時(shí)，容易發(fā)生斷裂的可能，使得設(shè)備難以繼續(xù)運(yùn)行。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本實(shí)用新型在于提供一種開方機(jī)張力調(diào)整機(jī)構(gòu)，通過氣彈簧的添加減小了金剛線的張力，減小了金剛線張力過大的可能，使得金剛線不易斷裂。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了如下技術(shù)方案：一種開方機(jī)張力調(diào)整機(jī)構(gòu)，包括支架、轉(zhuǎn)動(dòng)連接在支架上的貯絲筒、單層纏繞在貯絲筒上的金剛線、轉(zhuǎn)動(dòng)連接在支架上對金剛線導(dǎo)向的導(dǎo)向輪，所述支架上設(shè)置有上下滑移的用于調(diào)節(jié)金剛線張力的張緊輪，所述支架上設(shè)置有上下滑移的滑動(dòng)塊，所述支架上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)滑動(dòng)塊上下滑移的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述張緊輪轉(zhuǎn)動(dòng)連接在滑動(dòng)塊上，所述滑動(dòng)塊上還固定連接有用于緩解金剛線張力的氣彈簧，所述氣彈簧的另一端固定連接在支架上。

通過采用上述技術(shù)方案，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠帶動(dòng)滑動(dòng)塊上下滑移，張緊輪轉(zhuǎn)動(dòng)連接在滑動(dòng)塊上，張緊輪能夠跟隨滑動(dòng)塊上下滑動(dòng)，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)滑動(dòng)塊向上滑移，張緊輪跟隨滑動(dòng)塊向上滑動(dòng)，金剛線不斷拉緊，金剛線的張力不斷增大，氣彈簧所受的壓力不斷增大，當(dāng)氣彈簧壓力大于限定值后，氣彈簧壓縮，滑動(dòng)塊向下移動(dòng)，金剛線的拉緊程度減小，滑動(dòng)塊對金剛線進(jìn)行負(fù)反饋調(diào)節(jié)，減小了金剛線張力過大的可能，使得金剛線不易斷裂。

本實(shí)用新型進(jìn)一步設(shè)置為：所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括豎直穿設(shè)在滑動(dòng)塊上的絲杠，所述絲杠螺紋連接在滑動(dòng)塊上，所述支架上固定連接有伺服電機(jī)，所述絲杠一端連接在伺服電機(jī)上。

通過采用上述技術(shù)方案， 驅(qū)動(dòng)伺服電機(jī)啟動(dòng)即可實(shí)現(xiàn)絲杠的轉(zhuǎn)動(dòng)，絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)能夠帶動(dòng)滑動(dòng)塊上下滑移，對張緊輪進(jìn)行粗調(diào)，便于調(diào)整金剛線的拉緊程度。

本實(shí)用新型進(jìn)一步設(shè)置為：所述張緊輪上還固定連接有用于測量金剛線張力的張力傳感器。

通過采用上述技術(shù)方案，張力傳感器能夠?qū)崟r(shí)檢測出金剛線的拉緊程度，伺服電機(jī)能夠根據(jù)張力傳感器輸出的值自動(dòng)調(diào)節(jié)伺服電機(jī)的啟停，實(shí)現(xiàn)了伺服電機(jī)的自動(dòng)啟停，使得設(shè)備能夠根據(jù)金剛線的拉緊力自動(dòng)調(diào)節(jié)伺服電機(jī)的啟停。

本實(shí)用新型進(jìn)一步設(shè)置為：所述滑動(dòng)塊沿絲杠的長度方向單向滑移。

通過采用上述技術(shù)方案，當(dāng)張力傳感器的張力值小于預(yù)設(shè)值時(shí)，伺服電機(jī)啟動(dòng)帶動(dòng)滑動(dòng)塊向上滑移，使得金剛線能夠拉緊，當(dāng)張力傳感器的張力值大于預(yù)設(shè)值時(shí)，滑動(dòng)塊難以反向滑移，滑動(dòng)塊能夠固定在絲杠上，減小了滑動(dòng)塊在絲杠上振動(dòng)的可能。

本實(shí)用新型進(jìn)一步設(shè)置為：所述支架上還固定連接有平行于絲杠的滑軌，所述滑軌穿設(shè)在滑動(dòng)塊上。