[實用新型]玻璃基板傳送設備

有效

• 申請號: 201720152661.5
• 申請日: 2017-02-20
• 公開（公告）號: CN206624414U
• 公開（公告）日: 2017-11-10
• 發明（設計）人: 廖民安;李學鋒;張旭;王新營;朱繼廣;鄭權
• 申請（專利權）人: 東旭科技集團有限公司;東旭集團有限公司
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06
• 代理公司: 北京潤平知識產權代理有限公司11283
• 代理人: 李翔,李雪

1.玻璃基板傳送設備，其特征在于，所述玻璃基板傳送設備包括：

氣浮平臺(100、200、300)，用于平面支撐玻璃基板；

換向裝置(400)，設置在所述氣浮平臺的中心區域，用于帶動玻璃基板原處旋轉；以及

驅動裝置(500)，沿所述氣浮平臺的高度方向可升降地設置在所述氣浮平臺內；

其中，所述驅動裝置設置成能夠在升高時僅與玻璃基板的中心區域接觸且能沿不同的路徑傳送玻璃基板。

2.根據權利要求1所述的玻璃基板傳送設備，其特征在于，所述氣浮平臺包括中間氣浮平臺(200)，所述中間氣浮平臺(200)上形成有用于設置所述換向裝置的中心孔(203)。

3.根據權利要求2所述的玻璃基板傳送設備，其特征在于，所述中間氣浮平臺(200)上形成有與所述中心孔(203)連通且沿第一傳送路徑(X)延伸的用于設置驅動裝置的第二直槽(201)。

4.根據權利要求3所述的玻璃基板傳送設備，其特征在于，所述氣浮平臺還包括組裝在所述中間氣浮平臺(200)相對側的第一氣浮平臺(100)和第二氣浮平臺(300)；所述第一氣浮平臺(100)和第二氣浮平臺(300)上分別形成有沿第一傳送路徑(X)延伸且能與所述第二直槽(201)對齊的第一直槽(101)和第三直槽(301)。

5.根據權利要求4所述的玻璃基板傳送設備，其特征在于，所述中間氣浮平臺(200)上還形成有與所述中心孔(203)連通的沿第二傳送路徑(Y) 延伸的第四直槽(202)。

6.根據權利要求5所述的玻璃基板傳送設備，其特征在于，所述第一傳送路徑(X)與所述第二傳送路徑(Y)相互垂直。

7.根據權利要求5所述的玻璃基板傳送設備，其特征在于，所述中間氣浮平臺(200)的靠近所述中心孔(203)處的所述第二直槽(201)和所述第四直槽(202)上分別形成有與所述中間氣浮平臺(200)共面的第一梁(201’)和第二梁(202’)。

8.根據權利要求5-7中任意一項權利要求所述的玻璃基板傳送設備，其特征在于，所述驅動裝置(500)為多套且分別成對地設置在所述第一直槽(101)、第二直槽(201)、第三直槽(301)以及第四直槽(202)內。

9.根據權利要求8所述的玻璃基板傳送設備，其特征在于，所述驅動裝置(500)包括：動力源和設置在所述動力源上的移動機構，所述移動機構用于吸附并帶動所述玻璃基板移動，所述動力源為所述移動機構提供動力。

10.根據權利要求9所述的玻璃基板傳送設備，其特征在于，所述動力源為直線致動器(501)；

所述移動機構包括升降氣缸(502)和固定連接在所述升降氣缸(502)頂部的真空吸盤(503)。

11.根據權利要求8所述的玻璃基板傳送設備，其特征在于，所述驅動裝置(500)包括：用于接應玻璃基板到所述換向裝置的第一驅動單元(500a) 和用于將所述玻璃基板送走的第二驅動單元(500b)；所述第一驅動單元(500a)和所述第二驅動單元(500b)在所述第一直槽(101)、第二直槽(201)、第三直槽(301)以及第四直槽(202)內分別前后布置且形成有速度相同的重疊區。

12.根據權利要求9或10所述的玻璃基板傳送設備，其特征在于，所述驅動裝置(500)包括：用于接應玻璃基板到所述換向裝置的第一驅動單元(500a)和用于將所述玻璃基板送走的第二驅動單元(500b)；所述第一驅動單元(500a)和所述第二驅動單元(500b)在所述第一直槽(101)、第二直槽(201)、第三直槽(301)以及第四直槽(202)內分別前后布置且形成有速度相同的重疊區。

13.根據權利要求1所述的玻璃基板傳送設備，其特征在于，所述換向裝置(400)包括驅動電機(401)、設置在所述驅動電機(401)上方的升降裝置(402)以及固定連接在所述升降裝置(402)頂部的圓盤狀的旋轉吸附器(403)。

14.根據權利要求13所述的玻璃基板傳送設備，其特征在于，所述驅動電機(401)為直驅電機。

15.根據權利要求1所述的玻璃基板傳送設備，其特征在于，所述氣浮平臺的與玻璃基板相對應的表面由多孔導電材料制成。

16.根據權利要求15所述的玻璃基板傳送設備，其特征在于，所述多孔導電材料為碳石墨。