[實用新型]單晶爐加熱器及單晶爐加熱系統

有效

• 申請號: 201720150898.X
• 申請日: 2017-02-20
• 公開（公告）號: CN207062418U
• 公開（公告）日: 2018-03-02
• 發明（設計）人: 王會敏;張浩強;曹祥瑞;顏超;陳二星;王東;孔哲;何志國
• 申請（專利權）人: 邢臺晶龍電子材料有限公司
• 主分類號: C30B15/14
• 分類號: C30B15/14;C30B29/06
• 代理公司: 石家莊國為知識產權事務所13120
• 代理人: 米文智

技術領域

本實用新型屬于直拉型單晶硅制備裝置技術領域，更具體地說，是涉及一種單晶爐加熱器及單晶爐加熱系統。

背景技術

直拉單晶爐是在惰性氣體環境中，使用加熱器將多晶硅等多晶材料融化，并采用直拉法生長無位錯單晶的設備。加熱器是單晶爐熱場的核心部件，提供多晶融化長晶的熱能。

目前，單晶硅價格逐漸減小，如何降低成本是各公司的亟待解決的問題。目前單晶爐大都采用加熱器對石英坩堝內的多晶原料進行加熱熔化。目前國內小尺寸的熱場都采用單加熱器單電源系統結構，大尺寸的熱場都采用雙加熱器雙電源系統結構。雙加熱器雙電源系統結構增加了設備投入，且操作復雜化。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種單晶爐加熱器及單晶爐加熱系統，旨在提供一種能夠應用在大尺寸熱場的使用單電源的單晶爐加熱器及單晶爐加熱系統。

為實現上述目的，本實用新型采用的技術方案是：提供一種單晶爐加熱器，包括下發熱體、與所述下發熱體相連的加熱器腳和上發熱體，所述上發熱體與所述下發熱體可拆卸地連接。

進一步地，所述上發熱體與所述下發熱體的外徑相等，所述下發熱體的葉片較所述上發熱體的葉片小且數量多。

進一步地，還包括用于連接所述上發熱體和所述下發熱體的連接件，所述連接件為導電體材質，所述連接件與所述上發熱體、所述下發熱體螺紋連接。

進一步地，所述連接件的橫截面為“幾”形，所述連接件、所述上發熱體和所述下發熱體都設有通孔，所述連接件與所述上發熱體、所述下發熱體通過螺栓、螺母連接。

進一步地，所述連接件的數量為兩個，兩個所述的連接件分設在所述上發熱體和所述下發熱體的兩側。

進一步地，所述上發熱體和所述下發熱體均為筒型結構。

進一步地，所述上發熱體的軸向長度范圍為10至400mm，所述下發熱體的軸向長度范圍為100至500mm。

進一步地，所述加熱器腳的數量為兩個，所述加熱器腳分設于所述下發熱體的底部兩側。

本實用新型的另一目的是提供一種單晶爐加熱系統，包括坩堝坩堝、保溫套、單晶爐加熱器和一個電源系統。

本實用新型提供的單晶爐加熱系統，僅使用一個單晶爐加熱器和一個電源系統，就可以應用在大尺寸的熱場，較普通的單電源加熱系統產量高、品質高，較普通的雙電源加熱系統功率小，結構簡單，操作簡便。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例中單晶爐加熱器的結構示意圖；

圖2為圖1中A部的放大圖；

圖3為圖1中連接件的結構示意圖；

圖4為本實用新型實施例中單晶爐加熱系統的結構示意圖；

圖中：1、單晶爐加熱器；11、下發熱體；12、加熱器腳；13、上發熱體；14、連接件；15、螺栓；2、坩堝；3、保溫套；4、電源系統。

具體實施方式

為了使本實用新型所要解決的技術問題、技術方案及有益效果更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。

需要說明的是，術語“長度”、“寬度”、“高度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內”、“外”、“頭”、“尾”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。

以下結合具體實施例對本實用新型的實現進行詳細的描述。

請參見圖1，現對本實用新型提供的單晶爐加熱器進行說明。單晶爐加熱器1，包括下發熱體11、上發熱體13和與下發熱體11相連的加熱器腳12，上發熱體13與下發熱體11可拆卸地連接，此可拆卸地連接可以是在上發熱體13和下發熱體11直接螺紋連接、過盈連接、或者通過連接件14連接等可拆卸形式的連接。此外，上發熱體13與下發熱體11的橫截面可以是三角形、方形、筒形等各種外形，上發熱體13與下發熱體11的葉片和開槽形狀可以相同，也可以不相同。

本實用新型實施例提供的單晶爐加熱器包括可拆卸的上發熱體13與下發熱體11，更換簡便，成本低廉，輔以坩堝坩堝、保溫套、一個電源系統組成的單電源式單晶爐加熱系統，可應用在大尺寸的熱場，較普通的單電源加熱系統產量高，較普通的雙電源加熱系統功率小，結構簡單，操作簡便。