[實(shí)用新型]一種多晶硅鑄錠爐加熱器有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201720148334.2 | 申請(qǐng)日: | 2017-02-20 |
| 公開(公告)號(hào): | CN206580913U | 公開(公告)日: | 2017-10-24 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 傅林堅(jiān);曹建偉;葉欣;胡建榮;俞安洲;張興隆 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 浙江晶盛機(jī)電股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | C30B28/06 | 分類號(hào): | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司: | 杭州中成專利事務(wù)所有限公司33212 | 代理人: | 周世駿 |
| 地址: | 312300 浙江*** | 國(guó)省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 多晶 鑄錠 加熱器 | ||
1.一種多晶硅鑄錠爐加熱器,包括頂部加熱器和側(cè)部加熱器,其特征在于,所述側(cè)部加熱器由至少四塊在豎直方向上呈波浪形的石墨加熱器組成,各石墨加熱器通過側(cè)部加熱器連接板實(shí)現(xiàn)首尾連接并圍成矩形;在位于該矩形四角位置的側(cè)部加熱器連接板上,通過電極連接板與石墨電極相接;其中,處于對(duì)角的兩個(gè)石墨電極作為一組分別通過水冷銅電極接至第一直流電源的正極,另一組處于對(duì)角的兩個(gè)石墨電極分別通過水冷銅電極接至第一直流電源的負(fù)極;
所述頂部加熱器由兩塊在水平方向上呈蛇形的石墨加熱器組成,兩石墨加熱器對(duì)稱布置且在首尾兩端分別以頂部加熱器連接板連接;在兩石墨加熱器的首尾兩端各設(shè)有石墨電極,其中一個(gè)石墨電極通過水冷銅電極接至第二直流電源的正極,另一個(gè)石墨電極通過水冷銅電極接至第二直流電源的負(fù)極。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅鑄錠爐加熱器,其特征在于,所述頂部加熱器位于側(cè)部加熱器圍成的矩形空間的上方,頂部加熱器中的石墨加熱器具有與該矩形相配合的彎折形狀。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅鑄錠爐加熱器,其特征在于,所述側(cè)部加熱器上等距間隔設(shè)置有吊臂。
4.一種多晶硅鑄錠爐加熱器,包括頂部加熱器和側(cè)部加熱器,其特征在于,所述側(cè)部加熱器由至少兩塊在豎直方向上呈波浪形的石墨加熱器組成,各石墨加熱器通過側(cè)部加熱器連接板實(shí)現(xiàn)首尾連接并圍成圓形;在圍成圓形的石墨加熱器上等距間隔設(shè)置至少4個(gè)電極連接板,每個(gè)電極連接板均接有一個(gè)石墨電極;其中,間隔不相鄰的石墨電極作為一組,分別通過水冷銅電極接至第一直流電源的正極;剩余間隔不相鄰的石墨電極作為另一組,分別通過水冷銅電極接至第一直流電源的負(fù)極;
所述頂部加熱器由兩塊在水平方向上呈蛇形的石墨加熱器組成,兩石墨加熱器對(duì)稱布置且在首尾兩端分別以頂部加熱器連接板連接;在兩石墨加熱器的首尾兩端各設(shè)有石墨電極,其中一個(gè)石墨電極通過水冷銅電極接至第二直流電源的正極,另一個(gè)石墨電極通過水冷銅電極接至第二直流電源的負(fù)極。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的多晶硅鑄錠爐加熱器,其特征在于,所述頂部加熱器位于側(cè)部加熱器圍成的圓形空間的上方,頂部加熱器中的石墨加熱器具有與該圓形相配合的彎折形狀。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的多晶硅鑄錠爐加熱器,其特征在于,所述側(cè)部加熱器上等距間隔設(shè)置有吊臂。
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