[實用新型]磁偏轉(zhuǎn)電子束蒸發(fā)源

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720144590.4
• 申請日: 2017-02-17
• 公開（公告）號: CN206553621U
• 公開（公告）日: 2017-10-13
• 發(fā)明（設計）人: 郭方準;陳欣
• 申請（專利權）人: 大連交通大學
• 主分類號: C23C14/30
• 分類號: C23C14/30
• 代理公司: 大連東方專利代理有限責任公司21212
• 代理人: 高永德,李洪福

1.磁偏轉(zhuǎn)電子束蒸發(fā)源，其特征在于，包括：電子束發(fā)生機構、磁偏轉(zhuǎn)組件、水冷坩堝機構、直線換位機構和工作電路；

所述的電子束發(fā)生機構包括：燈絲、燈絲座A、燈絲座B、陶瓷片、陶瓷座、陶瓷座套筒、支撐塊、陶瓷柱、陶瓷柱保護罩、陰極屏蔽罩、磁鐵套；

所述的燈絲以螺釘連接的方式固定在燈絲座A和燈絲座B上；兩陶瓷片以螺釘連接的方式固定在燈絲座A的上下兩定位孔內(nèi)，兩陶瓷座位于燈絲座A和燈絲座B正下方，以同軸心的形式分別和兩燈絲座裝配；所述的兩陶瓷座套筒與陶瓷座間隙配合并以螺釘?shù)倪B接的形式與陶瓷座一起固定在所述支撐塊上；所述支撐塊以螺釘?shù)倪B接方式固定在磁鐵套上，且支撐塊設置有具有放氣的作用前后兩通孔；其中，燈絲座、陶瓷座套筒和陶瓷座縱向同軸均預設有螺釘裝配通孔，通過同一根螺釘連接在一起，磁鐵套、支撐塊和陶瓷座縱向同軸預設有螺釘裝配通孔，通過另一根螺釘連接在一起；

所述的陰極屏蔽罩位于兩燈絲座和兩陶瓷座套筒之間；所述的陶瓷柱以螺釘連接的方式固定在燈絲座A和燈絲座B之間，用以固定并絕緣兩燈絲座；

所述的陶瓷柱保護罩以螺釘連接的方式固定在陶瓷柱一側(cè)用來保護陶瓷柱；

所述的磁偏轉(zhuǎn)組件包括：永久磁鐵、軛鐵、磁偏轉(zhuǎn)擋片、磁鐵固定墊片和非磁性擋片；

所述的永久磁鐵嵌于上述磁鐵套內(nèi)，并由磁鐵固定墊片通過螺釘連接固定在所述的磁鐵套上；所述的軛鐵本身無磁性，共有四塊，分別焊接在水冷坩堝機構的無氧銅坩堝上，經(jīng)對應位置的永久磁鐵磁化后具備磁性兩軛鐵在電子束發(fā)生機構區(qū)域構成均勻磁場，對電子起到了偏轉(zhuǎn)270°的作用；

所述的磁偏轉(zhuǎn)擋片以螺釘連接的形式固定在所述燈絲座B上方；所述的非磁性擋片受永久磁鐵磁力吸附在磁鐵外側(cè)；

所述的水冷坩堝機構包括：無氧銅坩堝、坩堝后蓋、坩堝內(nèi)襯、水冷內(nèi)筒、水冷外筒、冷卻筒滑塊和連接接口管；

所述的坩堝后蓋通過釬焊的方式焊接在所述無氧銅坩堝上；所述的坩堝內(nèi)襯形狀、大小與無氧銅坩堝槽相近；坩堝內(nèi)襯的材料為石墨，Mo或Ta；所述水冷內(nèi)筒一端焊接在無氧銅坩堝上作為進水口，另一端通過螺紋連接的形式和連接接口連接；所述的水冷外筒一端焊接在無氧銅坩堝上作為出水口；所述的冷卻筒滑塊與水冷外筒焊接在一起，水冷內(nèi)筒位于水冷外筒內(nèi)，冷卻水由水冷內(nèi)筒流入，從水冷外筒流出；

所述的直線換位機構包括：無氧銅坩堝、冷卻筒滑塊、壓板A、壓板B、坩堝底座壓板、焊接波紋管、滑軌嵌套、追加工法蘭、銅螺母、塑料片、擰把手、銅片、螺紋絲杠、滑軌和滑軌滑塊；所述的坩堝底座壓板通過螺釘與上述的無氧銅坩堝連接；所述的冷卻筒滑塊與所述的坩堝底座以螺釘連接的形式固定，并且其上端面和前端面分別與裝有滑軌嵌套的壓板A和壓板B通過螺釘連接，可以實現(xiàn)在壓板A的軸向方向的滑動，從而帶動無氧銅坩堝一起滑動；所述壓板A和壓板B通過焊接的方式固定，并且與所述追加工法蘭焊接成一體；所述的焊接波紋管一端與冷卻筒滑塊焊接固定，另一端與追加工法蘭焊接固定；以上各部件位于真空內(nèi)部；所述的銅片與追加工法蘭焊接固定；所述的螺紋絲杠一端與上述冷卻筒滑塊焊接固定，另一端與水冷外筒連接接口連接，螺紋絲杠實際也作為水冷外筒往外排出冷卻水；所述銅螺母與螺紋絲杠進行螺紋連接，所述的擰把手套在銅螺母上，并且通過一根細小的螺釘與銅螺母夾緊；所述的塑料片套在擰把手上；所述的滑軌焊接在追加工法蘭上；所述的滑軌滑塊與滑軌間隙配合，滑軌滑塊便可以在滑軌上滑動；即，擰動擰把手帶動銅螺母與螺桿轉(zhuǎn)動變旋轉(zhuǎn)運動為直線運動，原本壓縮后的波紋管慢慢復原，冷卻筒滑塊帶動著固定的無氧銅坩堝向前移動，達到換位的目的；

所述的工作電路由：銅棒、電極法蘭、燈絲、燈絲座A、燈絲座B、無氧銅坩堝組成；其中，兩銅棒一端分別與燈絲座A和燈絲座B相連，另一端分別與電極法蘭預設接口相連；所述燈絲兩端分別固定在燈絲座A和燈絲座B的插口處，由外接電源經(jīng)銅棒、燈絲座給燈絲作為陰極，且通負高壓U＝3.5kV，無氧銅坩堝作為陽極接地。