[實用新型]用于掃描電子顯微鏡的預傾角樣品座

有效

• 申請號: 201720143755.6
• 申請日: 2017-02-16
• 公開（公告）號: CN206947293U
• 公開（公告）日: 2018-01-30
• 發明（設計）人: 朱曉紅
• 申請（專利權）人: 無錫市產品質量監督檢驗院
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所(普通合伙)32104
• 代理人: 曹祖良,劉海

技術領域

本實用新型涉及一種用于掃描電子顯微鏡的預傾角樣品座，尤其是一種用于金屬材料及光伏材料斷口失效分析的樣品座，屬于金屬材料及光伏材料測試設備技術領域。

背景技術

掃描電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope，簡稱SEM）是一種主要應用于材料表面形貌觀察成像的材料表征技術設備。SEM的工作原理是用一束極細的電子束掃描樣品，在樣品表面激發出次級電子，次級電子的多少與電子束入射角有關，也就是說與樣品表面結構有關。次級電子由探測器收集，并在那里被閃爍器轉變為光信號，再經光電倍增管和放大器轉變為電信號來控制熒光屏上電子束的強度，顯示出與電子束同步的掃描圖像。

目前，用于金屬材料及光伏材料斷口分析的SEM樣品座材質為金屬，結構大致相同，由金屬平臺B和底座A兩部分組成，如圖1所示，底座A用來與設備樣品臺（Stage）連接固定，底座A頂部的金屬平臺B用于放置樣品D。金屬平臺B是一個圓形平臺，用于放置樣品；金屬平臺B底部是一個燕尾插槽，正好匹配及固定在SEM樣品臺上。被觀測的斷口樣品D是通過雙面導電膠C粘貼在樣品座上，如圖1所示，從而使樣品D與樣品座及樣品臺導通。

上述操作方式有2個不足：

（1）在觀察測試不規則斷面時，需要對樣品臺進行大角度傾斜，并反復調整，直至被觀測區域與電子束光源垂直，使光源均勻地投射在觀測面上，這種操作相當地費時費力，延緩了檢測速度，工作效率低；

（2）對樣品臺進行大角度傾斜調整時，樣品臺容易撞擊到樣品倉內的接收探頭，影響了設備的安全使用及服役壽命。

因此，如何避免樣品臺在真空倉內進行繁瑣的大角度傾斜調整，并避免樣品臺撞擊接收探頭的問題，成為該技術領域亟待解決的課題。

發明內容

本實用新型的目的是克服現有技術中存在的不足，提供一種用于掃描電子顯微鏡的預傾角樣品座，避免樣品臺在真空倉內進行繁瑣的大角度傾斜調整，簡化了操作，提高了工作效率；也避免了設備的樣品臺撞擊接收探頭，保證設備的安全使用，并提高了設備的服役壽命。

按照本實用新型提供的技術方案，所述用于掃描電子顯微鏡的預傾角樣品座，包括樣品基座，樣品基座的底部設置用于連接SEM樣品臺的插槽座；其特征是：所述樣品基座的邊緣分布多個預傾角支撐柱，預傾角支撐柱朝向樣品基座中心的一側為用于放置斷口樣品的傾斜面；所述預傾角支撐柱的傾斜面的傾角分別與不同斷口樣品的斷面的傾斜度相一致，從而將設置在傾斜面上的斷口樣品的斷面呈水平狀態放置。

進一步的，所述插槽座上設有插槽。

進一步的，所述插槽采用燕尾形插槽。

進一步的，所述樣品基座為圓形。

進一步的，所述預傾角支撐柱為三個，等距離分布在樣品基座的邊緣。

進一步的，所述三個預傾角支撐柱的傾斜面的傾角分別設置為15°、45°、60°。

進一步的，所述樣品基座和預傾角支撐柱均采用金屬材料制作。

進一步的，所述預傾角支撐柱的高度不超過20mm。

進一步的，所述斷口樣品通過雙面導電膠固定在預傾角支撐柱的傾斜面上。

本實用新型與已有技術相比具有以下優點：

本實用新型結構合理、緊湊、簡單，將樣品的斷面調至水平狀態，并用雙面導電膠粘貼至預傾角支撐柱的傾斜面上，樣品放置穩定可靠，避免了將設備的樣品臺進行大角度傾斜的繁瑣操作，使用便捷，提高了工作效率；避免了設備的樣品臺撞擊接收探頭，保證了掃描電子顯微鏡的安全使用，并提高了設備的服役壽命。

附圖說明

圖1為現有技術中用于掃描電子顯微鏡的樣品座的結構示意圖。

圖2為本實用新型所述用于掃描電子顯微鏡的預傾角樣品座的立體圖。

圖3為本實用新型所述用于掃描電子顯微鏡的預傾角樣品座的主視圖。

附圖標記說明：1-插槽座、2-插槽、3-樣品基座、4-雙面導電膠、5-斷口樣品、6-預傾角支撐柱、A-底座、B-金屬平臺、C-雙面導電膠、D-樣品。

具體實施方式

下面結合具體附圖對本實用新型作進一步說明。