[實用新型]一種刻蝕裝置

有效

• 申請號: 201720142030.5
• 申請日: 2017-02-16
• 公開（公告）號: CN206441709U
• 公開（公告）日: 2017-08-25
• 發明（設計）人: 周士杰;陳圣鐵
• 申請（專利權）人: 溫州隆潤科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;C23F1/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種刻蝕裝置,包括刻蝕裝置本體（7）、硅基體（4）和氣壓腔（13），其特征在于：所述刻蝕裝置本體（7）的側面頂部設有報警指示燈（11），所述刻蝕裝置本體（7）的下方設有控制箱（10），控制箱（10）的內部設有內置電路（18），所述控制箱（10）的內部設有刻蝕倉（8），刻蝕倉（8）的頂部設有多個噴嘴（12），所述噴嘴（12）的正下方設有硅基體（4）。

2.根據權利要求1所述的一種刻蝕裝置，其特征在于：所述硅基體（4）上設有刻蝕開口（3），所述刻蝕開口（3）上設有紅外吸收區（1），紅外吸收區（1）四周設有熱電堆（5），所述熱電堆（5）的一側設有支撐臂（6），所述支撐臂（6）垂直于紅外吸收區（1）的四條邊。

3.根據權利要求1所述的一種刻蝕裝置，其特征在于：所述噴嘴（12）的頂部設有氣壓腔（13），所述氣壓腔（13）的下方設有酸液腔（14），所述酸液腔（14）的側壁設有導液管（17），所述導液管（17）焊接在酸液腔（14）的側壁上，所述酸液腔（14）的下方中央設有噴頭（15），所述噴頭（15）為倒置狀，所述噴頭（15）的側面設有定位器。

4.根據權利要求3所述的一種刻蝕裝置，其特征在于：所述氣壓腔（13）與酸液腔（14）之間設有導管連通。

5.根據權利要求1所述的一種刻蝕裝置，其特征在于：所述內置電路（18）上設有電源模塊（19），所述電源模塊（19）的另一端設有主控電路（20），所述主控電路（20）的一側設有無線網模塊（21）、存儲模塊（22），所述無線網模塊（21）、存儲模塊（22）相互并聯，所述主控電路（20）的另一端設有智能控制模塊（23），所述電源模塊（19）、主控電路（20）、智能控制模塊（23）相互串聯。

6.根據權利要求5所述的一種刻蝕裝置，其特征在于：所述智能控制模塊（23）的一端設有報警電路（24），所述報警電路（24）的一側設有氣泵控制模塊（25），所述氣泵控制模塊（25）的一側設有驅動電路（26），所述驅動電路（26）的一端設有檢測電路（27），所述驅動電路（26）的一側設有噴嘴控制模塊（28），所述噴嘴控制模塊（28）的另一端設有定位模塊（29），所述報警電路（24）、氣泵控制模塊（25）與驅動電路（26）、檢測電路（27）相互與噴嘴控制模塊（28）、定位模塊（29）相互并聯。