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[實用新型]一種貼片機有效

專利信息
申請號: 201720141354.7 申請日: 2017-02-16
公開(公告)號: CN207052933U 公開(公告)日: 2018-02-27
發明(設計)人: 胡海;何晉國;趙楚中;何黎明;王泰山 申請(專利權)人: 深圳瑞波光電子有限公司;深圳清華大學研究院
主分類號: H01S5/02 分類號: H01S5/02
代理公司: 深圳市威世博知識產權代理事務所(普通合伙)44280 代理人: 鐘子敏
地址: 518052 廣東省深圳市南山區西麗*** 國省代碼: 廣東;44
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 貼片機
【說明書】:

技術領域

實用新型涉及半導體激光器技術領域,特別是涉及一種貼片機。

背景技術

半導體激光器(LD,Laser Diode)由于體積小、光電轉化效率高、可直接調制、可選擇波長范圍廣等特點,其應用領域越來越廣泛。一般我們經常接觸到大功率單管半導體激光器芯片封裝形式包括COS(Chip On Submount),C-mount,F-mount,TO-CAN等,其中COS是最常見的。COS的制作過程主要分為兩步,先是進行貼片(die bond),然后進行金線鍵合(wire bond)。

貼片是通過貼片機完成的,貼片質量的關鍵取決于芯片與熱沉是否對齊和平行,若芯片上的電極不能與焊料和熱沉間完全接觸并產生共晶反應,對大功率半導體激光芯片的特性影響甚大。

實用新型內容

本實用新型主要解決的技術問題是提供一種貼片機及貼片方法,能夠提高芯片與熱沉對齊的精度,進而提高貼片質量。

為解決上述技術問題,本實用新型采用的一個技術方案是:提供一種貼片機,用以將芯片貼附至熱沉上,包括:

物料臺,用以放置所述芯片;

吸嘴,用以吸取所述物料臺上的所述芯片,以及將所述芯片貼附在所述熱沉上;

加熱臺,用以放置及加熱所述熱沉和熱沉上的焊料;

移動臺,設置在所述加熱臺下方,用以支撐所述加熱臺,并使所述加熱臺在一平面內前后左右移動;

角位移臺,設置于所述移動臺和所述加熱臺之間,用以使所述加熱臺相對于所述平面傾斜轉動,進而調整所述芯片的前出光面與所述熱沉表面的平行度;以及

手動滑軌式轉位臺,設置于所述角位移臺與所述移動臺之間,所述物料臺放置于所述手動滑軌式轉位臺上,所述手動滑軌式轉位臺用以將所述物料臺或所述加熱臺移動至所述吸嘴的下方,使所述吸嘴吸取所述芯片及將所述芯片放置于所述熱沉上。

其中,所述貼片機進一步包括用于觀察所述芯片與熱沉邊緣是否對齊的顯微鏡。

其中,所述貼片機進一步包括用于安裝所述顯微鏡的移動滑軌,所述顯微鏡可沿著所述移動滑軌移動。

其中,所述移動臺為手動旋轉式的X、Y平臺結構。

其中,所述移動臺為電機驅動式的X、Y平臺結構,所述貼片機進一步包括移動手柄,所述移動手柄與所述移動臺電連接,用于操控所述移動臺移動,且移動手柄與移動臺的移動比例為6:1。

其中,所述貼片機進一步包括用以采集芯片與熱沉的平行度的圖像的CCD,以及用以呈現所述CCD采集到的圖像的顯示器。

其中,所述貼片機還包括旋轉臺,所述旋轉臺設置在所述加熱臺和所述角位移臺之間,用以支撐及使所述加熱臺在一平面內旋轉。

其中,所述貼片機進一步包括一懸臂,所述懸臂的一端以所述懸臂的另一端為軸進行上下擺動,所述吸嘴安裝于所述懸臂的上下擺動的一端。

其中,所述貼片機進一步包括手桿以及設置于所述懸臂上的重錘,所述吸嘴對所述熱沉的壓力大小取決于所述重錘在所述懸臂上的位置;所述手桿與所述懸臂電連接,用以操作所述懸臂上下擺動,所述手桿完全下壓時,吸嘴真空關閉,所述芯片脫離所述吸嘴的吸附。

其中,所述吸嘴由金屬制成,所述吸嘴具有加熱功能,其上設置有電阻絲。

本實用新型的有益效果是:區別于現有技術的情況,本實用新型通過在加熱臺和移動臺之間設置角位移臺,角位移臺可相對于加熱臺前后左右移動所在的平面進行轉動,當吸嘴將芯片從物料臺吸起,并將芯片帶至熱沉上方靠近熱沉時,如果芯片的前出光面與熱沉表面不平行,這時可通過調整角位移臺轉動,使角位移臺帶動加熱臺上的熱沉轉動,從而使得熱沉表面與芯片的前出光面平行,另外,還在角位移臺與移動臺之間設置手動滑軌式轉位臺,可以方便快速的切換加熱臺和物料臺的位置;上述各功能臺結構可以提高芯片與熱沉對齊的精度,進而提高貼片質量。

附圖說明

圖1是本實用新型實施方式的一種貼片機的結構示意圖;

圖2是本實用新型實施方式的一種貼片機的結構示意圖側視圖;

圖3是本實用新型另一實施方式的一種貼片機的結構示意圖;

圖4是本實用新型實施方式的一種貼片機的結構示意圖側視圖;以及

圖5是本實用新型實施方式的一種貼片機的角位移臺的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖和實施方式對本實用新型進行詳細說明。

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