[實用新型]一種磁場可調的磁控濺射涂層系統

有效

• 申請號: 201720140439.3
• 申請日: 2017-02-16
• 公開（公告）號: CN206428321U
• 公開（公告）日: 2017-08-22
• 發明（設計）人: 張建明;金章斌;鄧曉良
• 申請（專利權）人: 蘇州吉恒納米科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/54
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種磁場可調的磁控濺射涂層系統，其特征在于：包括真空腔室、靶材、磁鐵、步進電機、直流脈沖電源和PLC單元，靶材設置于真空腔室中，磁鐵設置于靶材的后方，步進電機連接有齒輪傳動機構，該齒輪傳動機構連接有連桿機構，連桿機構又與磁鐵連接，步進電機通過齒輪傳動機構和連桿機構的配合帶動磁鐵前后移動，該直流脈沖電源具有負極、正極、電源控制端口和電源通信端口，真空腔室上設有陰極和陽極，直流脈沖電源的負極與陰極連接，直流脈沖電源的正極與陽極連接，該PLC單元包括CPU、通信模塊、輸入模塊和輸出模塊，直流脈沖電源的電源通信端口通過profibus總線與PLC單元的通信模塊連接，直流脈沖電源的電源控制端口通過profibus總線與PLC單元的輸出模塊連接，所述步進電機具有電機控制端口和電機通信端口，PLC單元的通信模塊通過profibus總線與步進電機的電機通信端口連接，PLC單元的輸出模塊通過profibus總線與步進電機的電機控制端口連接。

2.根據權利要求1所述的一種磁場可調的磁控濺射涂層系統，其特征在于：該真空腔室連接有冷卻水進水管和冷卻水出水管。

3.根據權利要求1所述的一種磁場可調的磁控濺射涂層系統，其特征在于：所述齒輪傳動機構包括主動齒輪、從動齒輪和傳動帶，該主動齒輪與步進電機連接，傳動帶連接于主動齒輪和從動齒輪之間。

4.根據權利要求1所述的一種磁場可調的磁控濺射涂層系統，其特征在于：所述CPU與PC連接。