[實用新型]一種石墨加熱器

有效

• 申請號: 201720140268.4
• 申請日: 2017-02-16
• 公開（公告）號: CN206433202U
• 公開（公告）日: 2017-08-22
• 發明（設計）人: 徐超
• 申請（專利權）人: 成都阿泰克特種石墨有限公司
• 主分類號: H05B3/14
• 分類號: H05B3/14
• 代理公司: 成都華風專利事務所(普通合伙)51223
• 代理人: 徐豐

技術領域

本實用新型涉及石墨加工設備技術領域，尤其涉及一種石墨加熱器。

背景技術

在硅晶體制備過程中，需要通過加熱實現，現有多采用石墨材料作為加熱器件，由于石墨具有耐高溫、電阻率高、強度隨著溫度提高而增加等特點，石墨加熱器能夠提供所需的熱量。

但是，現有的石墨加熱器由于受熱不均，造成硅晶體報廢。

實用新型內容

本實用新型實施例提供了一種石墨加熱器，解決了現有技術中石墨加熱器由于受熱不均，造成硅晶體報廢的技術問題。

為了解決上述技術問題，本實用新型實施例提供了一種石墨加熱器，包括第一石墨電阻、第二石墨電阻、第三石墨電阻、卡槽固定件、正石墨電極和負石墨電極，所述第一、第二、第三石墨電阻均呈來回盤旋的結構，且每個石墨電阻的形成的來回盤旋的結構均在波峰處間距張開，在波谷處間距收攏，三個石墨電阻首尾通過卡槽固定件連接圍繞形成上寬下窄的漏斗型加熱器，所述正石墨電極和負石墨電極通過螺栓固定于所述漏斗型加熱器相對的兩端。

進一步地，所述卡槽固定件具體為兩端可插接的插槽。

進一步地，所述石墨電阻形成的來回盤旋的結構中相鄰的來回盤旋的結構之間填充有石墨墊塊。

進一步地，還包括底部發熱體，所述底部發熱體與所述漏斗型加熱器底部對接，且所述底部發熱體內填充石墨。

本實用新型實施例至少具有如下技術效果或優點：

由于采用該三個石墨電阻收尾通過卡槽固定件連接圍繞形成上寬下窄的漏斗型加熱器，將正、負石墨電極通過螺栓固定于漏斗型加熱器相對的兩端，從而能夠使得待加熱硅晶體受熱均勻。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例中石墨加熱器的結構示意圖。

具體實施方式

本實用新型實施例通過提供一種石墨加熱器，解決了現有技術中石墨加熱器由于受熱不均，造成硅晶體報廢的技術問題。

為了解決上述技術問題，下面將結合說明書附圖以及具體的實施方式對上述技術方案進行詳細的說明。

本實用新型實施例提供了一種石墨加熱器，如圖1所示，包括第一石墨電阻10、第二石墨電阻20、第三石墨電阻30、卡槽固定件40、正石墨電極50和負石墨電極60，這三個石墨電阻均呈來回盤旋的結構，且每個石墨電阻的形成的來回盤旋的結構均在波峰處間距張開，在波谷處間距收攏，三個石墨電阻首尾通過卡槽固定件40連接圍繞形成上寬下窄的漏斗型加熱器，正石墨電極50和負石墨電極60通過螺栓固定于漏斗型加熱器相對的兩端。

在具體的實施方式中，該卡槽固定件40具體為兩端可插接的插槽，這樣，三個石墨電阻首尾連接時，可以通過該插槽連接，從而形成上寬下窄的漏斗型加熱器。

該每個石墨電阻形成的來回旋轉的結構中相鄰的來回盤旋的結構之間填充有石墨墊塊，防止加熱過程中加熱器變形。

該石墨加熱器底端還設置有底部發熱體，該底部發熱體與漏斗型加熱器底部對接，且底部發熱體內填充石墨，形成有效的加熱環境。

盡管已描述了本實用新型的優選實施例，但本領域內的技術人員一旦得知了基本創造性概念，則可對這些實施例作出另外的變更和修改。所以，所附權利要求意欲解釋為包括優選實施例以及落入本實用新型范圍的所有變更和修改。

顯然，本領域的技術人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權利要求及其等同技術的范圍之內，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內。