[實(shí)用新型]靜電放電機(jī)臺(tái)溫控裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720139847.7
• 申請(qǐng)日: 2017-02-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN206479592U
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-09-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 宋建波
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 宜特（上海）檢測(cè)技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01R31/00
• 分類(lèi)號(hào): G01R31/00;G05D23/20
• 代理公司: 上海唯源專(zhuān)利代理有限公司31229
• 代理人: 曾耀先

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及集成電路測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及集成電路正常工作時(shí)的抗靜電能力測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域，具體是指一種靜電放電機(jī)臺(tái)溫控裝置。

背景技術(shù)

集成電路正常工作時(shí)，由于功耗的原因，會(huì)造成電路發(fā)熱，從而半導(dǎo)體的結(jié)溫上升。半導(dǎo)體的特性與溫度密切相關(guān)，如果器件工作溫度超過(guò)最高結(jié)溫，器件中的晶體管就可能會(huì)被破壞，器件也隨即失效。

但是，現(xiàn)有的靜電放電機(jī)臺(tái)即靜電測(cè)試機(jī)臺(tái)，由于設(shè)計(jì)原因，沒(méi)有升溫/降溫能力，僅能模擬集成電路生產(chǎn)、運(yùn)輸和儲(chǔ)存過(guò)程中所經(jīng)受的靜電影響。請(qǐng)參見(jiàn)圖1所示，靜電放電機(jī)臺(tái)通常包括機(jī)臺(tái)主體1、測(cè)試平臺(tái)2和測(cè)試夾具3，測(cè)試平臺(tái)2設(shè)置在機(jī)臺(tái)主體1上，測(cè)試夾具3設(shè)置在測(cè)試平臺(tái)2上，測(cè)試時(shí)，測(cè)試樣品4例如被測(cè)集成電路夾在測(cè)試夾具3中，構(gòu)成如圖2所示的電路，其中，電源連接高壓電源，高壓電源一端分別連接放電電容5(電容為100pF)和測(cè)試樣品4，測(cè)試樣品4連接放電電阻(電阻值為1500Ω)，高壓電源另一端通過(guò)充電電阻連接通斷開(kāi)關(guān)6，放電電容5通過(guò)選擇開(kāi)關(guān)7選擇性連接放電電阻和通斷開(kāi)關(guān)6，因測(cè)試均在常溫下執(zhí)行，設(shè)備本身也沒(méi)有加熱測(cè)試平臺(tái)2或測(cè)試夾具3的功能。

從而，正常工作狀態(tài)下的抗靜電能力通常需要定制專(zhuān)用測(cè)試電路，并對(duì)測(cè)試樣品進(jìn)行焊接，耗時(shí)時(shí)間長(zhǎng)(通常需要4-6周時(shí)間)、成本高、且極易在焊接過(guò)程中造成測(cè)試樣品失效，從而對(duì)測(cè)試結(jié)果造成不確定影響。

因此，希望提供一種靜電放電機(jī)臺(tái)溫控裝置，其能夠模擬測(cè)試樣品正常工作時(shí)的溫度狀況，能夠結(jié)合靜電放電機(jī)臺(tái)模擬測(cè)試測(cè)試樣品正常工作時(shí)的抗靜電能力，且測(cè)試簡(jiǎn)單快速，成本低，測(cè)試結(jié)果準(zhǔn)確穩(wěn)定。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)中的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的一個(gè)目的在于提供一種靜電放電機(jī)臺(tái)溫控裝置，其能夠模擬測(cè)試樣品正常工作時(shí)的溫度狀況，能夠結(jié)合靜電放電機(jī)臺(tái)模擬測(cè)試測(cè)試樣品正常工作時(shí)的抗靜電能力，且測(cè)試簡(jiǎn)單快速，成本低，測(cè)試結(jié)果準(zhǔn)確穩(wěn)定，適于大規(guī)模推廣應(yīng)用。

本實(shí)用新型的另一目的在于提供一種靜電放電機(jī)臺(tái)溫控裝置，其設(shè)計(jì)巧妙，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔，制造簡(jiǎn)單，成本低，適于大規(guī)模推廣應(yīng)用。

為達(dá)到以上目的，本實(shí)用新型的靜電放電機(jī)臺(tái)溫控裝置，其特點(diǎn)是，包括控制部件、加熱部件、制冷部件、溫度檢測(cè)部件和罩體，所述罩體的底部具有開(kāi)口，所述溫度檢測(cè)部件設(shè)置在所述罩體的內(nèi)部，所述加熱部件和所述制冷部件均連接所述罩體用于分別加熱和冷卻所述的罩體的內(nèi)部，所述控制部件分別信號(hào)連接所述加熱部件、所述制冷部件和所述溫度檢測(cè)部件。

較佳地，所述控制部件是溫控開(kāi)關(guān)。

較佳地，所述加熱部件包括熱風(fēng)槍和熱風(fēng)管，所述熱風(fēng)管插設(shè)在所述罩體中，所述熱風(fēng)槍通過(guò)所述熱風(fēng)管管路連通所述的罩體的內(nèi)部，所述控制部件信號(hào)連接所述熱風(fēng)槍。

較佳地，所述制冷部件包括冷風(fēng)搶和冷風(fēng)管，所述冷風(fēng)管插設(shè)在所述罩體中，所述冷風(fēng)槍通過(guò)所述冷風(fēng)管管路連通所述的罩體的內(nèi)部，所述控制部件信號(hào)連接所述冷風(fēng)槍。

較佳地，所述溫度檢測(cè)部件是溫度傳感器。

較佳地，所述罩體是熱屏蔽罩體。

較佳地，所述靜電放電機(jī)臺(tái)溫控裝置還包括供電電源，所述供電電源通過(guò)所述控制部件分別電路連接所述加熱部件、所述制冷部件和所述溫度檢測(cè)部件。

更佳地，所述供電電源是靜電放電機(jī)臺(tái)的電源。

本實(shí)用新型的有益效果主要在于：

1、本實(shí)用新型的靜電放電機(jī)臺(tái)溫控裝置包括控制部件、加熱部件、制冷部件、溫度檢測(cè)部件和罩體，罩體的底部具有開(kāi)口，溫度檢測(cè)部件設(shè)置在罩體的內(nèi)部，加熱部件和制冷部件均連接罩體用于分別加熱和冷卻罩體的內(nèi)部，控制部件分別信號(hào)連接加熱部件、制冷部件和溫度檢測(cè)部件，使用時(shí)罩體罩住測(cè)試樣品，通過(guò)溫度檢測(cè)部件檢測(cè)測(cè)試樣品溫度，控制部件根據(jù)測(cè)試樣品溫度控制加熱部件和制冷部件實(shí)現(xiàn)升溫或降溫操作，因此，其能夠模擬測(cè)試樣品例如測(cè)試樣品正常工作時(shí)的溫度狀況，能夠結(jié)合靜電放電機(jī)臺(tái)模擬測(cè)試測(cè)試樣品正常工作時(shí)的抗靜電能力，且測(cè)試簡(jiǎn)單快速，成本低，測(cè)試結(jié)果準(zhǔn)確穩(wěn)定，適于大規(guī)模推廣應(yīng)用。

2、本實(shí)用新型的靜電放電機(jī)臺(tái)溫控裝置包括控制部件、加熱部件、制冷部件、溫度檢測(cè)部件和罩體，罩體的底部具有開(kāi)口，溫度檢測(cè)部件設(shè)置在罩體的內(nèi)部，加熱部件和制冷部件均連接罩體用于分別加熱和冷卻罩體的內(nèi)部，控制部件分別信號(hào)連接加熱部件、制冷部件和溫度檢測(cè)部件，因此，其設(shè)計(jì)巧妙，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔，制造簡(jiǎn)單，成本低，適于大規(guī)模推廣應(yīng)用。