[實用新型]薄膜體聲波諧振器及濾波器

有效

• 申請號: 201720139478.1
• 申請日: 2017-02-16
• 公開（公告）號: CN206673927U
• 公開（公告）日: 2017-11-24
• 發明（設計）人: 張樹民;王國浩;陳海龍
• 申請（專利權）人: 杭州左藍微電子技術有限公司
• 主分類號: H03H3/02
• 分類號: H03H3/02;H03H9/02;H03H9/05;H03H9/17;H03H9/58
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司32200
• 代理人: 李明

1.一種薄膜體聲波諧振器，其特征在于：所述諧振器包括帶空氣隙的硅基片和覆蓋在所述空氣隙上的壓電三明治結構；所述壓電三明治結構包括頂電極、壓電材料和底電極，其中頂電極、壓電材料、底電極依次堆疊；所述頂電極、所述壓電材料、所述底電極在各自完整沉積后再逐一圖形化，且圖形化后自上而下頂電極、壓電薄膜層、底電極層面積逐層增大，所述壓電三明治結構的邊緣呈臺階狀；所述壓電三明治結構的其中一側臺階狀邊緣均位于同側空氣隙邊緣的外側。

2.根據權利要求1所述的薄膜體聲波諧振器，其特征在于：還包括鈍化層，所述鈍化層覆蓋位于所述空氣隙邊緣外側的臺階狀邊緣。

3.根據權利要求1所述的薄膜體聲波諧振器，其特征在于：還包括有機薄膜層，所述有機薄膜層覆蓋所述壓電三明治結構位于所述空氣隙邊緣外側的臺階狀邊緣的頂電極邊緣至同側空氣隙邊緣的區域。

4.根據權利要求3所述的薄膜體聲波諧振器，其特征在于：所述有機薄膜層的材質為聚酰亞胺。

5.根據權利要求1所述的薄膜體聲波諧振器，其特征在于：所述壓電材料至少包括氮化鋁、氧化鋅、鈮酸鋰、鉭酸鋰、鋯鈦酸鉛壓電陶瓷之一。

6.根據權利要求1所述的薄膜體聲波諧振器，其特征在于：所述頂電極、所述底電極的材料至少包括鎢、鉬、鉑白金、釕、銥、鈦鎢、鋁、鉻、金之一。

7.一種濾波器，包括權利要求1-6任一項所述的薄膜體聲波諧振器。