[實用新型]一種手機揚聲器網組件精密蝕刻裝置

有效

• 申請號: 201720124135.8
• 申請日: 2017-02-10
• 公開（公告）號: CN206418201U
• 公開（公告）日: 2017-08-18
• 發明（設計）人: 黃純剛
• 申請（專利權）人: 東莞市固昌實業有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08
• 代理公司: 北京權智天下知識產權代理事務所(普通合伙)11638
• 代理人: 王新愛

技術領域

本實用新型涉及精密蝕刻技術領域，具體為一種手機揚聲器網組件精密蝕刻裝置。

背景技術

蝕刻(etching)是將材料使用化學反應或物理撞擊作用而移除的技術。蝕刻技術可以分為濕蝕刻(wet etching)和干蝕刻(dry etching)兩類，通常所指蝕刻也稱光化學蝕刻(photochemical etching)，指通過曝光制版、顯影后，將要蝕刻區域的保護膜去除，在蝕刻時接觸化學溶液，達到溶解腐蝕的作用，形成凹凸或者鏤空成型的效果。

最早可用來制造銅版、鋅版等印刷凹凸版，也廣泛地被使用于減輕重量(Weight Reduction)儀器鑲板，銘牌及傳統加工法難以加工之薄形工件等的加工；經過不斷改良和工藝設備發展，亦可以用于航空、機械、化學工業中電子薄片零件精密蝕刻產品的加工，特別在半導體制程上，蝕刻更是不可或缺的技術。

先前，對于在上層例如形成有鋁(Al)、鈦(Ti)、銅(Cu)或鉬(Mo)等的金屬膜，在下層形成有非晶硅層或氮化硅層等的含硅膜的基板而言，首先，對上述金屬膜進行蝕刻，繼而對含硅膜進行蝕刻，從而形成所期望的結構物。

在該情形時，當對上述金屬膜進行蝕刻時，使用利用有蝕刻液的所謂濕式蝕刻裝置，當對含硅膜進行蝕刻時，使用將反應性氣體電漿化而進行蝕刻的所謂電漿干式蝕刻裝置。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種蝕刻裝置本體的蝕刻精度高，蝕刻工藝好、清洗方便，從而降低工人的工作量，還提高了生產效率的一種手機揚聲器網組件精密蝕刻裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種手機揚聲器網組件精密蝕刻裝置，包括蝕刻裝置本體、蝕刻槽框架、蝕刻放料網，所述蝕刻裝置本體的上方中間設有分液槽，所述分液槽的上方設有安全蓋，安全蓋上設有拉手，所述蝕刻裝置本體的兩側面設有蝕刻槽拆卸窗口，所述蝕刻裝置本體的一側設有入料口，蝕刻裝置本體的另一側設有出料口，出料口的左側設有控制器。

優選的，所述安全蓋、蝕刻槽拆卸窗口均可打開，安全蓋與蝕刻槽拆卸窗口均采用鋼化玻璃。

優選的，所述蝕刻裝置本體的內部、入料口、出料口處均設有送料輥。

優選的，所述分液槽的上方設有蝕刻槽框架，所述蝕刻槽框架內設有蝕刻槽支架，所述蝕刻槽支架之間設有蝕刻液槽，所述蝕刻液槽的底部四周中間設有出液口，蝕刻液槽之間通過連通管相互連通，蝕刻液槽通過卡扣固定在蝕刻槽支架上，所述分液槽的下方設有蝕刻液噴淋針頭，所述蝕刻液噴淋針頭與蝕刻液槽連接，蝕刻液噴淋針頭采用直管式噴淋針頭實現定位噴淋，所述蝕刻液噴淋針頭噴淋的擺動角度范圍為10°。

優選的，所述分液槽的下方設有蝕刻放料網，所述蝕刻放料網的下方設有廢液收納槽。

優選的，所述蝕刻裝置本體在進行蝕刻的時候，蝕刻液槽的上方施加空氣壓力。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

(1)蝕刻裝置本體的內部、出料口、入料口處均設有送料輥，通過送料輥將需要蝕刻的物料送入、送出，無需人工手動接觸蝕刻物料，避免蝕刻液腐蝕工人的皮膚；

(2)安全蓋、蝕刻槽拆卸窗口均可打開，安全蓋與蝕刻槽拆卸窗口均采用鋼化玻璃，作業人員可以觀察蝕刻時的狀況以及蝕刻槽內的蝕刻液的高度；

(3)蝕刻液槽底部四周設有的出液口通過連接管連接，使注入蝕刻液時只需在一端的入口注入蝕刻液，所有的蝕刻液槽中都會有蝕刻液流入，使注入蝕刻液更加方便，無需開設過多的蝕刻液注入孔；

(4)蝕刻裝置本體的蝕刻精度高，蝕刻工藝好、清洗方便，從而降低工人的工作量，還提高了生產效率。

附圖說明

圖1為本實用新型蝕刻裝置本體結構示意圖；

圖2為本實用新型蝕刻槽支架結構示意圖；

圖3為本實用新型蝕刻液槽示意圖；

圖4為本實用新型蝕刻放料網示意圖。

圖中：1、蝕刻裝置本體；2、安全蓋；3、控制器；4、蝕刻槽拆卸窗口；5、拉手；6、出料口；7、送料輥；8、分液槽；9、蝕刻槽支架；10、蝕刻液槽；11、蝕刻槽框架；12、蝕刻液噴淋針頭；13、入料口；14、清洗槽；15、蝕刻放料網；16、廢液收納槽；17、出液口。

具體實施方式