[實用新型]一種單晶硅棒金剛線開方進刀裝置

有效

• 申請號: 201720120244.2
• 申請日: 2017-02-09
• 公開（公告）號: CN206484748U
• 公開（公告）日: 2017-09-12
• 發明（設計）人: 傅林堅;沈文杰;周建燦;謝龍輝;趙通通;何守龍;胡志偉;王凱;邱敏秀
• 申請（專利權）人: 浙江晶盛機電股份有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D5/00
• 代理公司: 杭州中成專利事務所有限公司33212
• 代理人: 周世駿

1.一種單晶硅棒金剛線開方進刀裝置，包括龍門架豎梁、直線進刀模組、導輪組件、工作臺接近開關組件，其特征在于，所述龍門架豎梁上安裝有導軌安裝條；

所述直線進刀模組豎直安裝在龍門架豎梁的導軌安裝條上；直線進刀模組包括電機、進給電機座、進給單元聯軸器、KK模組、導輪安裝座、護罩安裝頂板、風琴護罩、護罩密封墊、護罩底板、鈑金件；

所述KK模組包括固定平臺、絲桿、螺母、滑塊、導軌，固定平臺安裝在龍門架豎梁的導軌安裝條上；所述導軌設有兩根，水平安裝在固定平臺上；所述滑塊安裝在導軌上，并通過螺母與絲桿相連，使滑塊能沿著導軌上下移動；

所述進給電機座安裝在護罩安裝頂板上，電機安裝在進給電機座上，電機通過進給單元聯軸器與KK模組中的絲桿相連，用于通過絲桿控制滑塊移動；導輪安裝座固定在KK模組上的滑塊上；所述風琴護罩設有兩個，分別安裝在護罩安裝頂板和護罩底板上，并通過護罩密封墊密封，用于防止水和硅粉進入直線進刀模組上；護罩安裝頂板上還安裝有用于防水和硅泥的鈑金件；

所述導輪組件包括導輪、導輪輪蓋、導輪輪套、導輪軸承壓蓋、導輪鎖緊螺釘、深溝球軸承、導輪軸，導輪組件通過螺紋安裝在直線進刀模組的導輪安裝座上；所述導輪軸安裝在導輪安裝座上；所述深溝球軸承設有兩個，成對安裝在導輪軸上，導輪鎖緊螺釘用于對深溝球軸承進行軸向定位；所述導輪輪套安裝在深溝球軸承上，導輪安裝在導輪輪套上，導輪輪蓋用于對導輪進行軸向固定；所述導輪軸承壓蓋安裝在導輪輪套上，用于軸向固定軸承；導輪上開有導輪槽，金剛線能在導輪槽隨深溝球軸承自由旋轉；

導輪組件采用迷宮密封方式和氣密封進行密封，用于防止水和硅泥進入腐蝕零件；

所述工作臺接近開關組件包括接近開關、接近開關安裝座、接近開關安裝墊板、接近開關滑塊、接近開關連接板，接近開關連接板安裝在龍門豎梁龍門架豎梁上，接近開關安裝座安裝在接近開關連接板上，接近開關安裝墊板通過接近開關滑塊安裝在接近開關安裝座上，使接近開關安裝墊板能利用接近開關滑塊在接近開關安裝座上滑動；接近開關安裝在接近開關安裝墊板上；工作臺接近開關組件設有兩個，分別上下安裝在龍門架豎梁的導軌安裝條上，安裝在龍門架豎梁上部分的工作臺接近開關組件中的接近開關為上位接近開關，安裝在龍門架豎梁下部分的工作臺接近開關組件中的接近開關為下位接近開關，用于限制直線進刀模組中的導輪安裝座的上下位移，直線進刀模組從上位接近開關開始切割晶棒，到下位接近開關完成對晶棒的開方。

2.根據權利要求1所述的一種單晶硅棒金剛線開方進刀裝置，其特征在于，所述導軌安裝條和直線進刀模組的安裝面的安裝精度為0.025mm。

3.根據權利要求1所述的一種單晶硅棒金剛線開方進刀裝置，其特征在于，所述電機采用伺服電機。

4.根據權利要求1所述的一種單晶硅棒金剛線開方進刀裝置，其特征在于，所述KK模組中的導軌采用直線導軌。

5.根據權利要求1所述的一種單晶硅棒金剛線開方進刀裝置，其特征在于，所述接近開關采用磁性開關。

6.根據權利要求1至5任意一項所述的一種單晶硅棒金剛線開方進刀裝置，其特征在于，龍門架設有兩個，每個龍門架設有前后兩個安裝有直線進刀模組、導輪組件、工作臺接近開關組件的龍門架豎梁，兩個龍門架呈左右對稱布置，金剛線繞過導輪的方式為：金剛線從收放線輪出來，繞過左側龍門架上的兩個導輪，經過換向導輪繞過右側龍門架上的兩個導輪，最后繞回到收放線輪，并保證繞在導輪上的金剛線保持在同一水平上，兩條金剛線能對水平放置的晶棒實現開方。