[實(shí)用新型]一種砷化鎵廢料分離回收裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720118052.8
• 申請日: 2017-02-08
• 公開（公告）號: CN206418173U
• 公開（公告）日: 2017-08-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 魏守沖;郭志強(qiáng);王新峰
• 申請（專利權(quán)）人: 磐石創(chuàng)新（北京）電子裝備有限公司
• 主分類號: C22B30/04
• 分類號: C22B30/04;C22B58/00;C22B7/00
• 代理公司: 北京東方昭陽知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11599
• 代理人: 黃素云

1.一種砷化鎵廢料分離回收裝置，其特征在于，包括上料機(jī)構(gòu)、加熱爐、真空泵組和冷凝器；其中，

所述上料機(jī)構(gòu)包括支撐臂、上料托臂和導(dǎo)軌，所述支撐臂與所述導(dǎo)軌滑動連接，用于支撐所述上料托臂；所述支撐臂側(cè)面設(shè)有滑軌，所述上料托臂通過所述滑軌與所述支撐臂滑動連接，用于放置和運(yùn)送裝有砷化鎵廢料的石英料盒；

所述加熱爐包括前門法蘭組件、爐腔，所述爐腔包括依次相連的加熱區(qū)域內(nèi)石英管腔、冷卻區(qū)域內(nèi)的冷卻腔以及取料腔，所述前門法蘭組件固定于所述石英管腔的一端；

所述真空泵組與所述爐腔連通；

所述冷凝器包括纏繞于冷卻腔外的冷凝管，用于冷卻冷卻腔，使反應(yīng)中分離的砷蒸汽經(jīng)過冷凝，沉積在冷卻腔。

2.如權(quán)利要求1所述砷化鎵廢料分離回收裝置，其特征在于，所述砷化鎵廢料分離回收裝置還包括密封件，所述密封件包括所述前門法蘭組件與石英管腔連接處的第一密封件、所述石英管腔與所述冷卻腔連接處的第二密封件以及所述冷卻腔與所述真空泵組連接處的第三密封件。

3.如權(quán)利要求2所述砷化鎵廢料分離回收裝置，其特征在于，所述密封件為耐熱氟膠圈。

4.如權(quán)利要求3所述砷化鎵廢料分離回收裝置，其特征在于，所述砷化鎵廢料分離回收裝置還包括連通所述爐腔的壓力檢測單元以及連通所述冷卻腔的砷含量自動檢測單元。

5.如權(quán)利要求4所述砷化鎵廢料分離回收裝置，其特征在于，所述砷化鎵廢料分離回收裝置還包括控制單元與執(zhí)行單元，所述控制單元分別與所述壓力檢測單元、所述砷含量自動檢測單元、所述執(zhí)行單元電連接；所述執(zhí)行單元包括設(shè)置于爐腔內(nèi)的機(jī)械臂、溫度傳感器、加熱爐開關(guān)控制器和設(shè)于取料腔開口處的電磁門鎖。