[實用新型]一種晶體生長過程高精度溫度控制系統

有效

• 申請號: 201720117600.5
• 申請日: 2017-02-08
• 公開（公告）號: CN206486619U
• 公開（公告）日: 2017-09-12
• 發明（設計）人: 潘豐;沈正陽;鄒金鵬
• 申請（專利權）人: 江南大學
• 主分類號: C30B7/08
• 分類號: C30B7/08;C30B29/14
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶體生長過程高精度溫度控制系統，其特征在于，系統包括生長裝置、過濾裝置和控制裝置；生長裝置由帶夾套的育晶罐、安裝在育晶罐上部的測量育晶罐中生長溶液溫度的熱電阻、安裝在育晶罐內的載晶架、安裝在育晶罐頂部的帶動載晶架正反旋轉的直流電機、安裝在育晶罐夾套內的電加熱器、安裝在育晶罐夾套外側用于循環夾套水的循環泵、安裝在育晶罐夾套上部側面的出水口、夾套下部側面的冷卻水進口和安裝在冷卻水進水管道上的控制進夾套冷卻水的電磁閥組成；過濾裝置由熱水浴槽和平衡水浴槽組成；熱水浴槽由熱水槽、安裝在熱水槽上方的測量熱水槽中水溫度的熱電阻、測量熱水槽中水位的三點式液位傳感器、連接來自育晶罐的輸送生長溶液的管路、安裝在熱水槽中加熱熱水槽中水的電加熱器、用于與熱水槽中的水進行熱交換的輸送生長溶液的蛇形管、生長溶液輸送泵、生長溶液過濾器、安裝在熱水槽外側用于循環熱水槽中的水的循環泵、熱水槽上部側面的出水口、熱水槽下部側面的冷卻水進口和安裝在冷卻水進水管道上的控制進熱水槽冷卻水的電磁閥組成；平衡水浴槽由平衡水槽、安裝在平衡水槽上方的測量平衡水槽中水溫度的熱電阻、測量平衡水槽中水位的三點式液位傳感器、安裝在平衡水槽中的加熱平衡水槽中水的電加熱器、用于與平衡水槽中的水進行熱交換的輸送生長溶液的蛇形管、生長溶液過濾器、連接返回到育晶罐的輸送生長溶液的管路、安裝在平衡水槽外側用于循環平衡水槽中的水的循環泵、平衡水槽上部側面的出水口、平衡水槽下部側面的冷卻水進口和安裝在冷卻水進水管道上的控制進平衡水槽冷卻水的電磁閥組成；控制裝置由PLC、觸摸屏、輸入接口、輸出接口、固態繼電器和高精度智能溫度控制表組成，PLC由臺達的DVP20ES200T型主機和DVP04PT-E2型熱電阻輸入模塊組成，PLC通過主機串口與臺達DOP-W127B型液晶觸摸屏相連；PLC通過輸入接口與過濾裝置中的二個三點式液位開關及二個測溫熱電阻相連，PLC通過輸出接口與過濾裝置中的二個電加熱器、二個電磁閥、二個循環泵及一個輸送泵相連，PLC通過輸出接口與生長裝置中的一個電磁閥、一個循環泵、一個直流電機相連；PLC主機通過RS485接口與高精度智能溫度控制表相連，高精度智能溫度控制表為宇電公司的AIJ-5.0A-N-GA-N-N-SA型表；智能溫度控制表的輸入直接與生長裝置中測溫熱電阻相連，獲得生長液溫度，智能溫度控制表的輸出通過固態繼電器控制育晶罐夾套內的電加熱器從而控制生長液溫度。