[實用新型]無掩膜實時微納打碼系統

有效

• 申請號: 201720107682.5
• 申請日: 2017-02-04
• 公開（公告）號: CN206741194U
• 公開（公告）日: 2017-12-12
• 發明（設計）人: 梅文輝;汪孝軍;廖平強
• 申請（專利權）人: 深圳市優盛科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 中山市銘洋專利商標事務所(普通合伙)44286
• 代理人: 馮漢橋

技術領域

本實用新型涉及一種無掩膜直寫數字光刻技術，特別是一種無掩膜實時微納打碼系統。

背景技術

在柔性電路板（FPC）的制造領域 ，傳統的曝光方式是需要先將工程文件制作在一塊掩膜板上，然后將涂有感光膠的FPC基材附在掩膜板上，使用紫外光進行一定時間的照射進行曝光，將工程文件的圖形顯示在FPC上，這種曝光方式耗時、工序復雜，而且在現有FPC制造的過程中，有些需要對整卷FPC基材上每個陳列排布的工程圖形進行打碼編號，每個編號均不能重復，但是每塊掩膜板圖形是固定，因此按照傳統的曝光方式就很難實現。

發明內容

為了克服現有技術的不足，本實用新型提供一種連續對FPC基材進行激光微納打碼的激光直寫曝光裝置。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：

一種無掩膜實時微納打碼系統，其特征在于：包括:

打碼數據生成服務器，按照固定的編碼規則，對FPC基材上不同位置的工程圖形來實時進行編碼，并生成若干具體的不相重復的編碼圖形；

光學引擎機構，用于將實時生成的編碼圖形實時光刻在FPC基材上；

對位機構，用于識別FPC基材上用于確定編碼圖形位置的標記點，從而使光學引擎機構能夠將編碼圖形光刻在FPC基材上的標記點處，且所述對位機構識別一組標記點，打碼數據生成服務器即生成一組相應的編碼圖形，光學引擎機構即刻將該編碼圖形光刻在FPC基材上；

卷到卷上下料機構，用于實現FPC基材的輸送及收集，其包括用于將FPC基材送入光學引擎機構進行打碼的卷進上料機構及將打碼完成的FPC基材回收的卷出卸料機構，

自監測反饋機構，用于檢測FPC基材上的編碼圖形是否準確，

精密運動平臺，用于控制光學引擎機構和對位機構的精準移動。

所述自監測系統裝置包括第一視覺裝置、第二視覺裝置及分光鏡，所述第一視覺裝置及第二視覺裝置分別設置于分光鏡兩側，所述分光鏡位于光學引擎機構的光學鏡頭的光軸上,且通過第一視覺裝置識別從數據服務器生成的編碼圖形；通過第二視覺裝置識別光刻在FPC基材上的編碼圖形。

所述卷到卷上下料機構帶有保證整卷的FPC基材在上下料過程中不發生側向的偏移糾偏裝置。

所述卷進上料機構包括卷有FPC基材的上料輥輪、及用于張緊FPC基材的上料張緊力調節輥輪和壓緊FPC基材的上料壓緊輥輪；卷出卸料機構包括有用于收卷打好碼的FPC基材的卸料輥輪、及用于張緊FPC基材的卸料張緊力調節輥輪和壓緊FPC基材的卸料壓緊輥輪。

所述對位機構包括兩套安裝于精密運動平臺的Y軸移動機構上的對位CCD組件及運動控制裝置，且對位CCD組件分別位于光學引擎機構的兩側，所述對位CCD組件均通過對應的運動控制裝置控制其在垂直于FPC基材運動方向的移動。

所述第一視覺裝置及第二視覺裝置均包括工業CCD、光學放大鏡頭和照明光源，其中第一視覺裝置的焦面位于分光鏡的鏡面，第二視覺裝置的焦面與光學鏡頭的焦面一致。

本實用新型的有益效果是：本系統包括一連續對FPC基材進行激光微納打碼的激光直寫曝光裝置，卷對卷上下料裝置和實時打碼監測反饋系統 ，通過上述結構不需要掩膜板即可以在整卷的FPC基材上任意指定位置進行微納打碼，并且可以對每個打碼圖形進行實時監測，提高系統的可靠性，本系統不需要掩膜板，也不需要與FPC基材有接觸，就可以很快的完成對FPC基材上每個陣列圖形的編碼，基材不會有刮傷等二次破壞的可能，提高產品的質量，大大提高了產品生產的效率，降低了生產的成本。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

圖1是本系統的正面示意圖；

圖2是精密運動平臺及通過精密運動平臺移動的機構的俯視示意圖；

圖3是光學引擎機構的立體示意圖；

圖4是FPC基材的俯視示意圖；

圖5為本發明無掩膜光刻實時打碼控制系統示意圖；

圖6為本發明為無掩膜光刻實時打碼操作流程圖。

具體實施方式